涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种涂敷装置，在将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上的涂敷装置（１００）中，具有基板保持移动机构（３０），其保持基板（Ｋ）并使该基板（Ｋ）循环移动，以使其依次位于基于涂敷头（７）的溶液的喷出作业位置、基于照相机（２３）的拍摄作业位置、以及基于洗涤装置（２６）的洗涤作业位置中的各位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上的涂敷装置。
技术介绍
通常，在液晶显示装置、半导体装置的制造工序中，有用于在玻璃基板、半导体晶片等的基板上形成电路图案的成膜过程。在该成膜过程中，在基板的板面上形成例如取向膜、抗蚀剂等功能性薄膜。在基板上形成功能性薄膜的情况下，有采用喷射(inkjet)方式的涂敷装置的情况，该喷射方式是将形成该功能性薄膜的溶液从喷嘴喷出并涂敷到基板上的方式。关于该涂敷装置，如专利文献1的记载，具有输送基板的输送台，在该输送台的上方，沿着与基板输送方向正交的方向排列设置有多个穿设有上述喷嘴的涂敷头。溶液从经由供给管与各涂敷头连接的溶液罐供给到各涂敷头。由此，从多个喷嘴以规定量、规定间距向所输送的基板的上表面喷出溶液的液滴。在这样的现有技术中，为防止基板的不良品的发生，通过照相机对涂敷于基板的溶液的液滴进行拍摄，通过图像处理装置对基于照相机的拍摄结果的该液滴的喷出状态进行测定并检查。此外，用于检查的基板被洗涤并反复使用。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2004-223356号公报在现有技术中，在涂敷装置内，向由基板保持装置保持的基板涂敷从涂敷头的各喷嘴所喷出的液滴，通过照相机对涂敷于该基板的液滴进行拍摄之后，将基板从基板保持装置取出并投放到涂敷装置外的洗涤机构。但是，在将用于检查的基板投放到洗涤机构中时，必须将该基板从基板保持装置拆下，在进行检查时需要向基板保持装置安装新的基板，因此，需要花费精力进行基板的安装、拆下，从而生产效率差。
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题本专利技术的课题在于，生产效率良好地对从涂敷头的喷嘴所喷出的液滴的喷出状态进行检查。解决技术问题所采用的手段本专利技术为解决上述技术问题，提供一种涂敷装置，将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上，其特征在于，具备检测机构，根据涂敷到基板上的溶液的液滴的涂敷状态，检测该液滴的喷出状态；洗涤机构，对涂敷有上述溶液的液滴的基板进行洗涤；以及基板保持移动机构，保持上述基板，并使该基板循环移动，以使该基板依次位于基于上述涂敷头的溶液的喷出作业位置、基于检测机构的检测作业位置、基于洗涤机构的洗涤作业位置中的各个位置。专利技术效果根据本专利技术，能够保持将基板保持于基板保持移动机构的状态而按顺序地对该基板实施如下各作业，即喷嘴进行的溶液的喷出，检测机构进行的检测，洗涤机构进行的洗涤，从而提高生产效率。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的涂敷装置的示意主视图。图2是表示涂敷装置的示意侧视图。图3是表示涂敷头的剖视图。图4是表示涂敷头的仰视图。具体实施例方式图1和图2所示的本专利技术的溶液的涂敷装置100具有基座(base) 1。在基座1的上表面，沿基座1的长度方向铺设有以规定间隔而分开的一对轨道2。台3可行走地设置于上述轨道2，通过未图示的驱动源而被行走驱动。在台3的上表面设有多个支撑销4，例如用于液晶显示装置的玻璃制的制品用基板W被供给并支撑于这些支撑销4。在与上述台3 —起移动的基板W的上方，多个涂敷头、在本实施方式中为3个涂敷头7沿着与基板W的移动方向交叉的方向、例如正交的方向而配设为一列，该多个涂敷头7 以喷射方式将用于形成功能性薄膜的溶液喷出并涂敷到上述基板W上。上述涂敷头7如图3所示地具备涂敷头主体8。涂敷头主体8形成为筒状，其下面开口被可挠板9所封闭。该可挠板9被喷嘴板材11覆盖，在该喷嘴板材11与上述可挠板 9之间间隔形成有多个液室12。在上述涂敷头主体8的长度方向一端部，形成有与上述液室12连通的供液孔13。 从该供液孔13向上述液室12供给例如形成取向膜、抗蚀剂等功能性薄膜的溶液。由此，使得上述液室12内被溶液充满。如图4所示，在上述喷嘴板材11，沿着与基板W的输送方向正交的方向而交错地穿设有多个喷嘴14。在上述可挠板9的上表面，如图3所示地分别与上述各喷嘴14对置而设置有多个压电元件15。各压电元件15通过在上述涂敷头主体8内设置的驱动部16而被供给驱动电压。 由此，压电元件15伸缩，使可挠板9的一部分变形而对与该部分对置的液室12内的溶液进行加压，之后溶液从与该压电元件15对置配置的喷嘴14喷出并涂敷到所输送的基板W的上表面。如图3所示，在上述涂敷头主体8的长度方向的另一端部，形成有与上述液室12 连通的回收孔17。从上述供液孔13供给到液室12的溶液能够从上述回收孔17回收。艮口， 上述涂敷头7，不仅能使被供给到上述液室12的溶液从喷嘴14喷出，还能使其经过上述液室12而从上述回收孔17回收。因此，当基板W通过台3而被输送到了涂敷头7的下方，若通过驱动部16对压电元件15通电，则被供给到涂敷头7的液室12的溶液L从喷嘴14向基板W喷出，从而能够向基板W喷出并涂敷溶液。当基板W未被输送到涂敷头7的下方时，能够从上述回收孔17 回收被供给到上述液室12的溶液。在上述涂敷装置100的上述台3上，一体地设置有对从涂敷头7的各喷嘴14喷出的液滴的喷出状态进行检查的检查装置20。即，上述检查装置20如图1、图2所示，具有L字状的安装部件21，该安装部件21 被固定于台3的沿着移动方向的一个侧面。在该安装部件21的水平部分的上表面，固定地配置有洗涤槽22。洗涤槽22配置在成为一列的各涂敷头7的下方。该洗涤槽22的平面尺寸比同时面临所有涂敷头7的范围要大。上述检查装置20具备基板保持移动机构30。该基板保持移动机构30具有在洗涤槽22的沿着各涂敷头7成为一列的方向的一个端面处所设置的马达等间歇旋转装置31。 该间歇旋转装置31的旋转轴32在洗涤槽22的内部沿着各涂敷头7成为一列的方向(与喷嘴14的液滴的喷出方向正交的方向)而延伸。在该旋转轴32，固定有与各涂敷头7的每个对应的多个基板保持体，在本实施方式中固定有3个基板保持体33。各基板保持体33 具备通过真空吸附机构、机械式保持机构等对检查用基板K进行保持的基板保持部34。另外，检查用基板K的尺寸形成为，比保持在上述台3的上表面的制品用基板W小的尺寸。上述基板保持移动机构30具备4个基板保持部34，该4个基板保持部34，将多个检查用基板(在本实施方式中为4个检查用基板K)的每个，在沿着被间歇旋转装置31驱动的旋转轴32的旋转方向即基板K的移动方向的多个位置(在本实施方式中为4个位置) 中的每个位置，进行排列保持。即，基板保持体33如图1所示，从主视图观察而成为正方形，4个侧壁面分别作为基板保持部34而构成，从而能够将4张基板K以旋转轴32为中心以90°间隔进行保持。 另外，基板保持部34不限于4个，可以是4个以下，也可以是4个以上，只要至少有1个即可。关于上述检查装置20，通过台3的移动而将洗涤槽22、基板保持移动机构30向涂敷头7的下方输送，涂敷头7的各喷嘴14喷出的溶液的液滴能够涂敷到检查用的基板K上。 此时，基板保持移动机构30的间歇旋转装置31将旋转轴32以90度间隔间歇旋转，以使4 个基板保持部34中的2个基板保持部34位于沿由涂敷头7的各喷嘴14所喷出溶液的铅垂方向的上下2个位置，使其他2个基板保持部34位于沿水平方向的左右2个位置。上述检查装置20具备作为对涂敷到了基板K上的溶液的液滴E (在图2中假定涂敷头7具备5个喷嘴14而本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种涂敷装置，将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上，其特征在于，具备：检测机构，根据涂敷到基板上的溶液的液滴的涂敷状态，检测该液滴的喷出状态；洗涤机构，对涂敷有上述溶液的液滴的基板进行洗涤；以及基板保持移动机构，保持上述基板，并使该基板循环移动，以使该基板依次位于基于上述涂敷头的溶液的喷出作业位置、基于检测机构的检测作业位置、基于洗涤机构的洗涤作业位置中的各个位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊原一彦，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP