盘涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术的盘涂敷装置（１０）具备以水平的旋转轴线（Ｏ）为中心旋转的旋转滚筒（１），在旋转滚筒的前面开口部（７）的前段设置具有截面面积比开口部（７）大的供气腔（１３）。供气腔（１３）形成在安装于框体（２）的正面的腔门（１１）内，一端侧与开口部（７）连通，另一端侧经由供气孔（１８）与供气通道（１９）连接。由供气通道（１９）流入到供气腔（１３）内的空气在供气腔（１３）降低流速，在气流稳定的状态下从开口部（７）供给到旋转滚筒（１）内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
１．一种盘涂敷装置，该盘涂敷装置具备旋转滚筒和收纳所述旋转滚筒的框体，该旋转滚筒设置成以大体水平的旋转轴线为中心自由旋转，并且经由形成于轴向端部的开口部流入空气，其特征在于，所述盘涂敷装置具有：供气腔，该供气腔设于所述旋转滚筒的所述开口部前段，其一端侧与所述开口部连通，并且具有比该开口部大的截面面积，和供气通道，该供气通道与形成于所述供气腔的另一端侧的供气孔连接，向该供气腔内供给空气；所述供气腔使由所述供气通道流入到该供气腔内的空气的流速降低，将该空气供给到所述开口部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：伏岛靖丰，
申请(专利权)人：友谊产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP