糊料涂敷装置以及糊料涂敷方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及糊料涂敷装置及糊料涂敷方法，抑制糊料涂敷量的不均的发生并且缩短糊料涂敷时间。控制部（９）在图形的描绘中对调整部（８）及移动机构（３、５）在下述场合进行如下控制：在喷嘴（４ｂ）相对于载物台（２）上的涂敷对象物（Ｋ）的相对位置从第一直线部进入拐角部的场合使载物台（２）和喷嘴（４ｂ）在面方向的相对速度下降，降低排出压力，并且使载物台（２）上的涂敷对象物（Ｋ）和喷嘴（４ｂ）的分离距离变窄，在喷嘴（４ｂ）相对于载物台（２）上的涂敷对象物（Ｋ）的相对位置从拐角部向第二直线部出发的场合使载物台（２）和喷嘴（４ｂ）在面方向的相对速度上升，提高排出压力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷嘴的分离距离扩大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在涂敷对象物上涂敷糊料的。
技术介绍
糊料涂敷装置用于制造液晶显示面板等各种装置。该糊料涂敷装置具备对涂敷对 象物排出糊料的涂敷头，使该涂敷头和涂敷对象物相对移动的同时，在涂敷对象物上涂敷 糊料，描绘规定的涂敷图形(糊料图形)。此时，就糊料涂敷装置而言，为了得到均勻的糊料涂敷量，测定作为涂敷对象物的 基板的表面高度，基于该测定值使涂敷头的喷嘴上下移动，将描绘中的涂敷头的喷嘴前端 与基板的表面的距离维持为一定(例如，参照专利文献1 日本特开2007-152261号公报)。这里，在涂敷图形具有拐角部(弯曲部)的场合，有使在该拐角部的涂敷速度相比 直线部的涂敷速度为低速的情况。此时，为了将糊料涂敷量保持为一定，进行如下控制与 在向拐角部进入时使涂敷速度降低(减速)相符地使涂敷头的排出压力下降，然后，与从拐 角离开部时使涂敷速度上升(加速)相符地进行使涂敷头的排出压力上升，调整涂敷头的 糊料排出量。此外，涂敷头由于利用供给气体的压力从喷嘴排出糊料，因此为了使排出压力变 化，利用电-气调压阀调整该供给气体的流量。涂敷头的糊料排出量与之相应地会发生变 化。然而，如上所述，在与拐角部的涂敷速度的变化相符地进行变更涂敷头的排出压 力即供给气体的流量的控制的场合，由于气体的压缩性，由电-气调压阀进行的调整压力 作为排出压力直到作用于糊料为止的应答性较低，因此难以高精度地控制糊料涂敷量，导 致发生糊料涂敷量的不均。另外，在使涂敷速度的减速、加速与排出压力的应答性低相符的场合，在拐角部的 入口前和出口后额外地需要加减速距离，由于该加减速距离由电-气调压阀的应答性或排 出压力的应答性来决定，因此，若涂敷速度上升，则加减速距离变长，其结果，导致糊料涂敷 时间变长。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的方案，其目的在于提供一种能够抑制糊料涂敷量 的不均的发生并且能够缩短糊料涂敷时间的糊料涂敷装置及糊料涂敷方法。本专利技术的实施方式的第一特征是在糊料涂敷装置中，具备放置涂敷对象物的载 物台；排出糊料的喷嘴；对使糊料从喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部；使载物台和 喷嘴在载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构；以及控制部，控制 调整部及移动机构，以使载物台和喷嘴在面方向相对移动，对载物台上的涂敷对象物将糊 料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部 连续的第二直线部，控制部在图形的描绘中对调整部及移动机构在下述场合进行如下控4制在喷嘴相对于载物台上的涂敷对象物的相对位置从第一直线部进入拐角部的场合使载 物台和喷嘴在面方向的相对速度下降，降低排出压力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷 嘴的分离距离变窄，在喷嘴相对于载物台上的涂敷对象物的相对位置从拐角部向第二直线 部出发的场合使载物台和喷嘴在面方向的相对速度上升，提高排出压力，并且使载物台上 的涂敷对象物和喷嘴的分离距离扩大。本专利技术的实施方式的第二特征是糊料涂敷方法，使用放置涂敷对象物的载物台、 排出糊料的喷嘴、对使糊料从喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部、以及使载物台和喷 嘴在载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构，使载物台和喷嘴在面 方向相对移动，对载物台上的涂敷对象物将糊料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、 与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，在图形的描绘中对调整 部及移动机构在下述场合进行如下控制在喷嘴相对于载物台上的涂敷对象物的相对位 置从第一直线部进入拐角部的场合使载物台和喷嘴在面方向的相对速度下降，降低排出压 力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷嘴的分离距离变窄，在喷嘴相对于载物台上的涂敷 对象物的相对位置从拐角部向第二直线部出发的场合使载物台和喷嘴在面方向的相对速 度上升，提高排出压力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷嘴的分离距离扩大。本专利技术的效果如下。根据本专利技术，能够抑制糊料涂敷量的不均的发生并且能够缩短糊料涂敷时间。 附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式的糊料涂敷装置的概略结构的模式图。图2是用于说明图1所示的糊料涂敷装置所涂敷的糊料的涂敷图形的一个例子的 说明图。图3是用于说明涂敷图2所示的涂敷图形的场合的涂敷处理的说明图。图4是用于说明涂敷图2所示的涂敷图形的场合的涂敷路径的说明图。图中1-糊料涂敷装置，2-载物台，3、5_移动机构(载物台移动机构、头移动机构)， 4b-喷嘴，8-调整部，9-控制部，K-涂敷对象物(基板)。具体实施例方式参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。如图1所示，本专利技术的实施方式的糊料涂敷装置1具备以水平状态(图1中沿着 X轴方向和与之正交的Y轴方向的状态)放置作为涂敷对象物的基板K的载物台2 ；保持该 载物台2并使其在X轴方向及Y轴方向移动的载物台移动机构3 ；对载物台2上的基板K涂 敷密封剂等糊料(例如具有密封性及粘接性的糊料)的涂敷头4 ；使该涂敷头4在Z轴方 向移动的头移动机构5 ；测定与载物台2上的基板K的距离的测距仪6 ；对涂敷头4供给气 体的气体供给部7 ；调整气体的供给压力(气体的流量)的调整部8 ；以及控制各部的控制 部9。载物台2是放置玻璃基板等基板K的工作台，设置在载物台移动机构3的上面。该 载物台2具备例如吸附基板K的吸附机构，由该吸附机构将基板K固定在载物台2的放置面上进行保持。而且，作为吸附机构，使用例如空气吸附机构等。载物台移动机构3具有X轴移动机构及Y轴移动机构等，是在X轴方向及Y轴方 向上引导载物台2使其移动的移动机构。而且，作为X轴移动机构或Y轴移动机构，例如使 用以电动机为驱动源的进给丝杠移动机构或以直线电动机为驱动源的直线电动机移动机 构等。涂敷头4具有作为容纳糊料的容器的注射器4a、和排出容纳在该注射器4a中的糊 料的喷嘴4b。该涂敷头4通过气体供给管等的配管7a与气体供给部7连接。利用供给到 注射器4a内的气体将该注射器4a内的糊料从喷嘴4b排出。头移动机构5具有Z轴移动机构，是在Z轴方向引导涂敷头4使其移动的移动机 构。该头移动机构5由支撑部件(未图示)支撑，在与基板K的涂敷面正交的Z轴方向可 移动地支撑涂敷头4，使其在Z轴方向相对于载物台2上的基板K接近或离开。还有，作为 头移动机构5，例如使用以伺服电动机为驱动源的进给丝杆机构或以直线电动机为驱动源 的移动机构等。测距仪6与涂敷头4 一体地设置，是测定从自身至载物台2上的基板K的表面的 距离的测定器。由该测距仪6测定的测定值用于控制部9，求出涂敷头4的喷嘴4b的前端 与基板2上的基板K的分离距离(间隙)。还有，作为测距仪6，例如使用激光位移计等。气体供给部7是贮存洁净干燥空气(CDA)或氮气(N2)等气体(例如压缩气体) 的贮存部。该气体供给部7通过气体供给管等的配管7a与涂敷头4的注射器4a连接，对 该注射器4a内供给气体。调整部8设于配管7a的路径中途，是按照控制部9的控制变更在该配管7a内流 动的气体的流量，调整涂敷头4的排出压力的调整部。作为该调整部8例如使用电_气调 压阀等。还有，所谓涂敷头4的排出压力是用于从涂敷头4的喷嘴4b排出糊料的压力。控制部9具备集中控制各部的微机、存储各种程序和各种信息等的存储部、以及 接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种糊料涂敷装置，其特征在于，具备：放置涂敷对象物的载物台；排出糊料的喷嘴；对使上述糊料从上述喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部；使上述载物台和上述喷嘴在上述载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构；以及控制部，控制上述调整部及上述移动机构，以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向相对移动，对上述载物台上的上述涂敷对象物将上述糊料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，上述控制部在上述图形的描绘中对上述调整部及上述移动机构在下述场合进行如下控制：在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述第一直线部进入上述拐角部的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度下降，降低上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离变窄，在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述拐角部向上述第二直线部出发的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度上升，提高上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离扩大。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈部由孝，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]