一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备制造技术

本发明专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。本发明专利技术的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种能够成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气 体抽出来的设备，具体涉及一种柔性带材真空溅射预抽真空处理设 备。(二)
技术介绍
一般的真空溅射设备由于没有经过预抽真空设备(或装置)进行 预抽真空处理，对于柔性带材内的空气和挥发性气体都不能提前抽出 来。在真空溅射主体设备进行一次性抽真空，时间长、能耗高，且溅 射到基体上的靶材微粒附着力小，成品浸润性差，易造成后道工序出 现质量问题。(三)
技术实现思路
本专利技术为了弥补现有技术的不足，提供了一种柔性带材真空溅射 预抽空处理设备，克服原有在真空溅射主体设备进行一次性抽真空的 不足之处，将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，提高真空溅 射的抽真空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸 润性，实现提高真空溅射产品质量之目的。本专利技术是通过如下技术方案实现的本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特殊之处在于 包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真 空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀 设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材巻的芯轴， 每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，每个预抽真空罐内 的芯轴上都带有分散孔。本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，真空泵与预抽真空 罐之间连接有缓冲罐。本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，进气管的进气端设3有空气滤清器。本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，缓冲罐与预抽真空 罐之间安装有真空传感器。利用真空计实现自动控制真空度。本专利技术的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发 性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能 耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射 的产品质量。(四) 附图说明图l为本专利技术的结构示意图。图2为电路示意图。图中，l真空泵，2预抽真空罐，3充气阀，4分抽空阀，5真空 计，6主抽空阀，7缓冲罐，8空气滤清器，9真空传感器，IO抽气管， ll进气管。具体实施方式 附图为本专利技术的一种具体实施例。本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵l和通 过抽气管10与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空 罐2，预抽真空罐通过分抽空阀4连接抽气管、通过充气阀3设有进 气管ll，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材巻的芯轴，每个 预抽真空罐上还安装有真空计5;真空泵安装有主抽空阀6。每个预 抽真空罐内的芯轴上都带有分散孔。真空泵与预抽真空罐之间连接有 缓冲罐。进气管的进气端设有空气滤清器8。缓冲罐7与预抽真空罐 2之间安装有真空传感器9。利用真空计实现自动控制真空度。本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，通过双位开关控制 充气阀3、分抽空阀4。利用每个预抽真空罐2内装有带分散孔的芯 轴提高抽真空速度和均匀性。各个预抽真空罐2可以单独开闭取放巻 及预抽真空。该设备利用真空计5实现自动控制真空度，真空范围1 X10—' 500Pa连续可调。缓冲罐7有效避免某一预抽真空罐开闭时设 备真空度波动过大。预抽真空工作原理滑阀真空泵工作，将预抽真空罐内的空气挥发性气体经芯轴分散孔、分抽空阀4、抽气管10、缓冲罐7、主抽空 阀6到滑阀真空泵1，然后排到大气中。该实施例的预抽工艺(以生产泡沬镍的基体——泡绵为例)如下所示打开预抽罐一放置柔性带材巻一关闭预抽罐一设置真空度 —抽空一充气一开罐取巻。1. 打开预抽空罐观察罐体真空表是否处于真空状态，若罐内是真空状态，将双位 开关从抽空位置拨到充气位置，这时抽空阀关闭，充气阀打开，空气 进入罐内，真空解除即可开门。2. 放置柔性带材巻将预抽真空关擦拭干净，然后把柔性带材巻(例如泡绵)装在 罐内心轴上。3. 关闭预抽空罐关闭预抽空罐，紧固手轮，确保密封良好。4. 设置真空度将最低真空度设置为500Pa，最高真空度设置为1X10—卞a，启动 滑阀真空泵。5. 抽空将双位开关从充气位置拨到抽空位置，充气阀关闭，这时抽空阀 打开，预抽罐进入抽空状态。柔性带材巻的材质和长短不同，真空度 和保持时间也不相同。以泡绵为例，其保持时间应为12 24小时。6. 充气在设定的真空度下，保持到规定时间后，将双位开关从抽空位置 拨到充气位置，这时抽空阀关闭，充气阀打开，空气进入罐内，真空 解除即可开门。7. 开罐取巻将预抽空处理后的巻取出，交下道工序。再次放巻进入下一循环。权利要求1、一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于包括真空泵(1)和通过抽气管(10)与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐(2)，预抽真空罐通过分抽空阀(4)连接抽气管、通过充气阀(3)设有进气管(11)，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计(5)；真空泵安装有主抽空阀(6)。2、 根据权利要求1所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于每个预抽真空罐(2)内的芯轴上都带有分散孔。3、 根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于真空泵(1)与预抽真空罐(2)之间连接有缓冲罐(7)。4、 根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于进气管的进气端设有空气滤清器(8)。5、 根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于缓冲罐(7)与预抽真空罐(2)之间安装有真空传感器(9)。全文摘要本专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。本专利技术的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。文档编号C23C14/56GK101660135SQ200910018970公开日2010年3月3日 申请日期2009年9月22日 优先权日2009年9月22日专利技术者刘俊林, 孟国强, 宋小斌, 强 张, 李常兴, 毕研文, 江衍勤, 王乃用, 罗衍涛, 苏衍宪 申请人:菏泽天宇科技开发有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：包括真空泵（１）和通过抽气管（１０）与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐（２），预抽真空罐通过分抽空阀（４）连接抽气管、通过充气阀（３）设有进气管（１１），每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计（５）；真空泵安装有主抽空阀（６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毕研文，宋小斌，王乃用，刘俊林，江衍勤，罗衍涛，张强，孟国强，李常兴，苏衍宪，
申请(专利权)人：菏泽天宇科技开发有限责任公司，
类型：发明
国别省市：37[中国|山东]