用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置，其制造薄膜型太阳电池时能够防止微粒带来的污染，从而防止太阳电池的性能下降并减少维修费用。本发明专利技术的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置包括：腔室，具有可让被沉积物流入流出的入口及出口；气体供应部，向所述腔室内供给气体；加热组件，配置在所述腔室内；导轨，配置在所述腔室内部；被沉积物固定盘，沿着所述导轨滑行移动；输送部，用于输送所述被沉积物固定盘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于制造薄膜型太阳电池的薄膜沉积装置。特别 涉及一种在制造薄膜型太阳电池时能够防止微粒带来的污染，从而防 止太阳电池的性能下降并减少维修费的用于制造薄膜型太阳电池的 沉积装置。
技术介绍
通常，薄膜型太阳电池经过分解原料气体、硅沉积、形成PN接合及形成抗反射膜及电极的过程制造。原料气体的分解过程是，向真 空内注入含有硅元素的单硅烷等原料气体后，利用等离子体或加热丝施加高能量而完成的。通常在加热后温度为200° C-300° C的带透明 电极(IT0)的玻璃基板上混合注入含有原料气体和硼的气体(B晶)，以 形成P型薄膜，然后投入单硅烷使其堆积在沉积有硅的被处理物之 上。接着注入含有原料气体和磷的气体(Ph3)以形成N型薄膜，从而 完成薄膜型太阳电池。在上述制造薄膜型太阳电池的一般过程中所使 用的薄膜沉积装置形成水平设置结构，其中被沉积物(玻璃基板等) 被设置在下方，所述被沉积物的上方设置由气体供给装置及等离子源 或加热丝等构成的加热部。因此，以往的薄膜沉积装置在沉积过程中存在贴附于气体供给装 置等上的微粒掉落在被沉积物上的问题，而这将成为导致太阳电池缺 陷的因素，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置，其特征在于，包括：　腔室，具有供被沉积物出入的入口及出口；　气体供应部，向所述腔室内供给气体；　加热组件，配置在所述腔室内，并具有多个加热丝；　导轨，配置在所述腔室内部；　 被沉积物固定盘，沿着所述导轨滑行移动；　输送部，用于输送所述被沉积物固定盘。

【技术特征摘要】
KR 2008-3-7 10-2008-00212291.一种用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置，其特征在于，包括腔室，具有供被沉积物出入的入口及出口；气体供应部，向所述腔室内供给气体；加热组件，配置在所述腔室内，并具有多个加热丝；导轨，配置在所述腔室内部；被沉积物固定盘，沿着所述导轨滑行移动；输送部，用于输送所述被沉积物固定盘。2. 根据权利要求1所述的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置， 其特征在于所述腔室由本体及盖体组成，所述盖体的一侧枢接在所述本体 上，另一侧与连结件相结合。3. 根据权利要求1所述的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置， 其特征在于所述腔室内设置有散气板，所述散气板向所述加热组件方向扩散 通过所述气体供应部进入腔室内的气体。4. 根据权利要求1所述的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置， 其特征在于-所述导轨由上下相隔预定距离的两个导轨成对配置。5. 根据权利要求1所述的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置， 其特征在于所述被沉积物以垂直固定于所述被沉积物固定盘的状态下输送。6. 根据权利要求1所述的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置， 其特征在于所述加热组件在垂直设置有所述多个加热丝的状态下固定在所 述腔室内。7. 根据权利要求1所述的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置， 其特征在于，所述加热组件包括固定框；多个加热丝，固定在所述固定框上并相互隔开预定间距；第一固定部，用于将所述多个加热丝的一端固定在所述固定框上；第二固定部，用于将所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴胜一，许闰成，
申请(专利权)人：显示器生产服务株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]