温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置，其制造薄膜型太阳电池时能够防止微粒带来的污染，从而防止太阳电池的性能下降并减少维修费用。本发明的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置包括：腔室，具有可让被沉积物流入流出的入口及出口；气体供应部，向...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。