本发明专利技术提供切削装置，其在确保形成于切削刀具中心部的被插入孔的内周面与安装切削刀具的插入轴的外周面之间的游隙的同时，抑制切削刀具的旋转中心与插入轴的旋转中心之间的偏心，从而能够进行精密的切削。在形成于切削刀具（３２）的圆形基座（３２０）的被插入孔（３２２）的、与凸缘（３０１ｂ）抵接的一侧的开口部设置有倒角部（３２３ｃ），在插入到被插入孔中的插入轴（３０１ａ）与凸缘的结合部处形成有带锥度部分（３０１ｄ），该带锥度部分与倒角部抵接，从而使圆形基座的旋转中心与插入轴的旋转中心一致，使切削刀具（３２）的旋转轴心与主轴的旋转轴心一致，即使具有插入轴（３０１ａ）的主轴高速旋转，也不会发生偏心，抑制了切削刀具的振动，能够进行精密的切削。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有对各种被加工物进行切削的切削刀具的切削装置。
技术介绍
关于由间隔道划分开来地形成有多个集成电路等器件的半导体晶 片，通过利用切削装置切削间隔道，来分割成一个个器件，并应用于各 种电子设备等中。此外，除半导体晶片以外的各种被加工物也通过利用 切削装置切削应切削位置来进行分割。切削装置具有例如如图7所示的切削构件7。切削构件7具有以能 够旋转的方式被壳体70支承的旋转轴71 ，在旋转轴71上安装刀具座72， 并通过螺母73进行固定。在刀具座72上安装切削刀具74。关于切削刀具74，从由铝等形成 的基座74a的外周凸出形成有具有金刚石等磨粒的切削刃74b，在基座 74a的中心部形成有贯穿表面和背面的被插入孔74c。在刀具座72上具 有插入到切削刀具74的被插入孔74c中的插入轴72a、对插在插入轴 72a上的切削刀具74进行支承的凸缘72b、以及形成在插入轴72a的前 端的外螺纹72c，在将插入轴72a插入到了切削刀具74的被插入孔74c 中之后，通过使螺母75与外螺纹72c螺合拧紧，来将切削刀具74固定 在刀具座72上，从而利用凸缘72b和螺母75夹持切削刀具74。关于这 样构成的切削构件7，其与被加工物相关联地进行相对移动的同时，使旋 转的切削刀具74的切削刃74b切入被加工物中，由此对晶片等各种被加 工物进行切削。这样，在将切削刀具74安装到刀具座72上时，需要使插入轴72a 贯穿插入到切削刀具74的被插入孔74c中。因此，被插入孔74c的内径 形成得比插入轴72a的外径要大出大约5 10)am(例如参照专利文献1)。专利文献l:日本特开2006—212748号公报但是，在切削被加工物时，由于切削刀具74在安装于插入轴72a的 状态下高速旋转，所以，当形成于切削刀具74的被插入孔74c的内周面 与插入轴72a的外周面之间存在间隙(游隙)时，伴随切削刀具74以例 如40000rpm、 60000rpm那样的速度高速旋转，因切削刀具74的旋转中 心与插入轴72a的旋转中心之间的偏心而引起的振动变大，存在切削精 度降低的问题。另一方面，为了将切削刀具74安装到刀具座72上，需 要在被插入孔74c的内周面与插入轴72a的外周面之间留有一定程度的 游隙。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的课题在于在确保切削刀具的被插入孔的内 周面与插入轴的外周面之间的游隙的同时，抑制切削刀具的旋转中心与 插入轴的旋转中心之间的偏心，从而能够进行精密的切削。本专利技术是一种切削装置，其至少包括保持被加工物的卡盘工作台、 和对保持在卡盘工作台上的被加工物进行切削的切削构件，其特征在于， 切削构件具有切削刀具，其具有在中心部形成有被插入孔的圆形基座、 和紧固在圆形基座的背面并从圆形基座的外周凸出的切削刃；主轴，其 上安装有刀具座和螺母，其中，上述刀具座是将插入到切削刀具的上述 被插入孔中的插入轴、与支承圆形基座的表面或背面的凸缘结合起来而 形成的，上述螺母与形成于插入轴的前端的外螺纹螺合，并按压圆形基 座的背面或表面，从而利用该螺母和凸缘夹持圆形基座；以及主轴壳体， 其将主轴支承成能够旋转，并且该主轴壳体具有驱动源，形成于圆形基 座上的被插入孔的内周面具有圆筒内周面；和倒角部，其与圆筒内周 面相连，并形成于表面侧或背面侧的开口部，在插入轴与凸缘的结合部 处形成有带锥度部分，该带锥度部分与倒角部抵接从而使圆形基座的旋 转中心与插入轴的旋转中心一致。在本专利技术中，由于在形成于切削刀具的圆形基座的被插入孔的、与 凸缘抵接的一侧的开口部设置有倒角部，在插入到被插入孔中的插入轴与凸缘的结合部处形成有带锥度部分，该带锥度部分与倒角部抵接，从 而使圆形基座的旋转中心与插入轴的旋转中心一致，所以，切削刀具的旋转轴心与主轴的旋转轴心一致。因此，即使主轴以例如40000rpm、 60000rpm那样的速度高速旋转，也不会发生偏心，所以抑制了切削刀具 的振动，能够进行精密的切削。附图说明图1是表示切削装置的一个示例的立体图。图2是表示构成切削构件的主轴的一个示例的分解立体图。图3是表示切削构件的一个示例的分解立体图。图4是表示切削刀具的一个示例的局部放大剖视图。图5是表示切削刀具安装在刀具座上的第一状态的局部放大剖视图。图6是表示切削刀具安装在刀具座上的第二状态的局部放大剖视图。图7是表示现有的切削构件的分解立体图。标号说明1:切削装置；2:卡盘工作台；3:切削构件；30:主轴；30a:外 螺纹；30b:带锥度面；301:刀具座；301a:插入轴；301b:凸缘；301c: 结合部；301d:带锥度部分；301e:外螺纹；302:螺母；31:主轴壳体； 32:切削刀具；320:圆形基座；320a:表面；320b:背面；321:切削 刃；322:被插入孔；323:内周面；323a:圆筒内周面；323b、 323c: 倒角部；33:螺母；34:校准构件；340:摄像部；35:刀具罩；350: 切削液喷嘴；4: X轴进给构件；40:滚珠丝杠；41:导轨；42:电动机； 43:滑动部；44:旋转驱动部；5: Y轴进给构件；50:滚珠丝杠；51: 导轨；52:脉冲电动机；53:滑动部；6: Z轴进给构件；60:滚珠丝杠； 61:导轨；62:脉冲电动机；63:支承部。具体实施例方式图1所示的切削装置1包括卡盘工作台2，其保持被加工物并能 够在X轴方向上移动；切削构件3，其对保持在卡盘工作台2上的被加工物进行切削；X轴进给构件4，其在X轴方向上驱动卡盘工作台2; Y 轴进给构件5，其在Y轴方向上驱动切削构件3;以及Z轴进给构件6， 其在Z轴方向上驱动切削构件3。切削构件3具有图2所示的主轴30。主轴30以能够旋转的方式被 主轴壳体31支承，该主轴壳体31在后部侧具有驱动源310。主轴30的 露出部分的一部分形成为带锥度面30b，在比带锥度面30b靠前端的部分 形成有外螺纹30a。在主轴30上安装刀具座301 、和与形成在主轴30的 前端部上的外螺纹30a螺合的螺母302。如图3所示，在刀具座301上安装切削刀具32。切削刀具32具有 圆形基座320，其在中心部形成有被插入孔322;和切削刃321，其紧固 在圆形基座320的背面侧，并向圆形基座320的外周侧凸出。另一方面， 如图2和图3所示，刀具座301具有插入轴301a，其插入到切削刀具 32的被插入孔322中；凸缘301b，其对插入在插入轴301a上的切削刀 具32的表面或背面进行支承；和结合部301c，其将插入轴301a与凸缘 301b结合起来。在结合部301c处，具有从凸缘301b侧向插入轴301a侧 直径逐渐縮小的带锥度部分301d。此外，在插入轴301a的前端部形成有 外螺纹301e，用于紧固切削刀具32的螺母33螺合在该外螺纹301e上。如图4所示，形成在切削刀具32上的被插入孔322从圆形基座320 的表面320a沿旋转轴心方向贯穿背面320b，被插入孔322的内周面323 具有与旋转时的轴心平行的圆筒内周面323a;和倒角部323b、 323c， 其形成于表面320a侧或背面320b侧的幵口部，并以与圆筒内周面323a 相连的状态与该圆筒内周面323a结合。在图示的示例中，在本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种切削装置，其至少包括保持被加工物的卡盘工作台、和对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行切削的切削构件，其特征在于， 上述切削构件具有： 切削刀具，其具有在中心部形成有被插入孔的圆形基座、和紧固在该圆形基座的背面并从该圆形基座的 外周凸出的切削刃； 主轴，其上安装有刀具座和螺母，其中，上述刀具座是将插入到上述切削刀具的上述被插入孔中的插入轴、与支承上述圆形基座的表面或上述背面的凸缘结合起来而形成的，上述螺母与形成于上述插入轴的前端的外螺纹螺合，并按压上述圆形基 座的上述背面或上述表面，从而利用该螺母和上述凸缘夹持上述圆形基座；以及 主轴壳体，其将上述主轴支承成能够旋转，并且该主轴壳体具有驱动源， 形成于上述圆形基座上的上述被插入孔的内周面具有：圆筒内周面；和倒角部，其与上述圆筒内周面相 连，并形成于上述表面侧或上述背面侧的开口部， 在上述插入轴与上述凸缘的结合部处形成有带锥度部分，该带锥度部分与上述倒角部抵接从而使上述圆形基座的旋转中心与上述插入轴的旋转中心一致。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤正视，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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