半导体测试装置制造方法及图纸

一种半导体测试装置，包含：一主机；一机械手臂；一传动变向单元，具有不同方向的一第一传动轴及一第二传动轴；一驱动单元，与第一传动轴相互连接；一传动单元，设有一第一旋转元件、一第二旋转元件及一连动元件，该第一旋转元件轴设于该连结板上，该第二旋转元件连结于第二传动轴，该连动元件用以连结该第一旋转元件及该第二旋转元件；一控制单元，用以控制该驱动单元的转动方向与转动速度；以及一测试头，电性连接至该主机；当该驱动单元被启动时，该驱动单元的动力经由第一传动轴传至该第二传动轴，该第二传动轴上的第二旋转元件乃因而旋转，再经由该连动元件的作动而使该第一旋转元件旋转，进而使该测试头转动；本发明专利技术通过一控制单元来控制驱动单元使测试头作动，并使测试头转向，符合自动化及省时的要求，并且使测试人员避免职业伤害。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体
，特别一种用于测试半导体元件的半导体测试装置。
技术介绍
随着半导体测试设备的自动化、快速化以及人性化，使得半导体设计的考量条件越来越多，因此也需要各种不同的测试装置。习知的一种半导体测试装置1，如图1所示，其包含一主机11、一机械手臂12、一传动变向单元13、一手动致动单元14、一传动单元15、及一测试头16。该主机11用以收集、处理测试资料；该机械手臂12的一端部枢设于该主机11，其另一端部的前端设有一连结板121，且其另一端部的下方设有一承载元件122，该承载元件122的一端垂直延设有一固定元件123。该传动变向单元13设置于该承载元件122上，且该传动变向单元13设有不同方向的一第一传动轴及一第二传动轴(未示于图中)。该手动致动单元14设置于该固定元件123上，且与该传动变向单元13的第一传动轴相互连接，并用以致动该第一传动轴。该传动单元15设有一第一旋转元件151、一第二旋转元件152、及一连动元件153，该第一旋转元件151轴设于该连结板121上，该第二旋转元件152连结于该传动变向单元13的第二传动轴，该连动元件153用以连结该第一旋转元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体测试装置，其特征是：包含：一主机，用以收集、处理测试资料；一机械手臂，其一端部枢设于该主机，其另一端部的前端设有一连结板，且该另一端部的下方设有一承载元件，该承载元件的一端垂直延设有一固定元件；一传动变向单 元，设置于该承载元件上，且该传动变向单元具有不同方向的一第一传动轴及一第二传动轴；一驱动单元，设置于该固定元件上，且与该传动变向单元的第一传动轴相互连接，用以驱动该第一传动轴；一传动单元，设有一第一旋转元件、一第二旋转元件、 及一连动元件，该第一旋转元件轴设于该连结板上，该第二旋转元件连结于该传动变向单元...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体测试装置，其特征是包含一主机，用以收集、处理测试资料；一机械手臂，其一端部枢设于该主机，其另一端部的前端设有一连结板，且该另一端部的下方设有一承载元件，该承载元件的一端垂直延设有一固定元件；一传动变向单元，设置于该承载元件上，且该传动变向单元具有不同方向的一第一传动轴及一第二传动轴；一驱动单元，设置于该固定元件上，且与该传动变向单元的第一传动轴相互连接，用以驱动该第一传动轴；一传动单元，设有一第一旋转元件、一第二旋转元件、及一连动元件，该第一旋转元件轴设于该连结板上，该第二旋转元件连结于该传动变向单元的第二传动轴，该连动元件用以连结该第一旋转元件及该第二旋转元件；一控制单元，与该驱动单元电连接，用以控制该驱动单元的转动方向与转动速度，其设置于该固定元件上；以及一测试头，电性连接至该主机，设置于该机械手臂的前端的连结板，且随第一旋转元件转动而转动；当该驱动单元被启动时，该驱动单...

【专利技术属性】
技术研发人员：余正吉，蔡寿南，张卿裕，
申请(专利权)人：矽统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]