晶圆测量系统技术方案

一种晶圆测量系统，提供一种改善的承载装置、而且能减少测量机台占用的空间。该晶圆测量系统包括一探针机台、一承载装置、及一高频测量设备。该探针机台包括有一基座、一探针平台、一对分别放置于探针平台两侧的探针支架、一置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一显微观测装置；该承载装置包括有一位于该探针支架的上方的刚性平板，及多个支柱，该刚性平板设有一凹口供该显微观测装置观测；该高频测量设备至少包括一放置于该刚性平板上的自动调整器，及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种晶圆测量系统，特别是指一种利用高频测量技术的测量系统以检测晶圆中的高频组件、电路组件及系统功能。
技术介绍
由于通信产品及通信系统的发展愈来愈迅速，不管是在无线通信、有线通信或光电方面都蓬勃发展。其中相关的半导体集成电路更是目前相关领域的研发重点项目，尤其是朝高频通信快速地发展，而且积极的投入大量资源开发及设计相关的电路、制程、组件等。然而，这些相关的开发与设计最终都需要高频测量，利用高频的测量技术，可以来验证通信系统中关乎发展成败关键的高频组件、电路组件及系统功能是否正常，进而去发现并改善问题。基于上述的广大需求，一套全面完整的高频测量系统显得愈发重要。完整且准确的高频测量能力，是最重要的成功关键之一。如果有一套完整且准确的测量系统，不但可使研究竞争力大大提升，甚且对业界研发的方向也有相当的影响。目前高频测量需要的设备大略如图1所示，包括有一探测机台(Probestation)100、及一高频测量设备(high frequency measurement equipment)200。该探针机台100包括有一基座110、一设于该基座110上的略呈U型的探针平台1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆测量系统，包括：一探针机台，包括有一基座、一置于该基座上的探针平台、一对分别放置于该探针平台的两侧探针支架、一设置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一放置于该晶片夹座上方的显微观测装置；一承载装置，包括有一个位于该探针 支架的上方的刚性平板、及设于该刚性平板下方的多个支柱，该刚性平板设有一凹口供显微观测装置观测；及一高频测量设备，至少包括一自动调整器，该自动调整器放置于该刚性平板上的，及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测量系统，包括一探针机台，包括有一基座、一置于该基座上的探针平台、一对分别放置于该探针平台的两侧探针支架、一设置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一放置于该晶片夹座上方的显微观测装置；一承载装置，包括有一个位于该探针支架的上方的刚性平板、及设于该刚性平板下方的多个支柱，该刚性平板设有一凹口供显微观测装置观测；及一高频测量设备，至少包括一自动调整器，该自动调整器放置于该刚性平板上的，及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。2.如权利要求1所述的晶圆测量系统，其特征是，所述的高频测量设备包括有二个各自放置于刚性平板两侧的自动调整器、及二个各自连接自动调整器到探针支架的信号连接线。3.如权利要求1所述的晶圆测量系统，其特征是，还包括一防震桌，其中探针机台的基座及该承载装置的支柱是放置在防震桌上的。4.如权利要求1所述的晶圆测量系统，其特征是，所述的刚性平板的表面经过防锈及绝缘处理，并且该刚性平板具有一设置于其底面的加强梁，及多个固定孔。5.如权利要求1所述的晶圆测量系统，其特征是，所述的承载装置具有一对可折叠地设置于刚性平板两侧的翼板、及多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴经国，王是琦，
申请(专利权)人：立积电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]