【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于测试半导体器件的半导体测试系统，具体地说，涉及一种包括方法和结构的半导体测试系统，该方法和结构以能够基本上减少数据失效(failure)存储器容量同时不减少测试结果中任何信息的方式，在数据失效存储器中存储测试结果。在用半导体测试系统，如集成电路(IC)测试器，测试诸如集成电路(IC)和大规模集成电路(LSI)之类的半导体器件时，以预定的测试时间给被测半导体IC器件提供由IC测试器在其适当的针上产生的测试信号或测试模式(pattem)。响应测试信号，IC测试器接收来自被测IC器件的输出信号。利用具有预定计时的选通信号来选通或采集输出信号，以与预定的门限电压相比较，并进一步与希望的数据比较，以确定IC器件是否具有正常的功能。传统地，相对于半导体测试系统的测试器速度(rate)或测试器周期来确定测试信号和选通信号的计时。有时将这样的测试系统称为基于周期的测试系统，其中用于产生测试信号和选通信号的测试数据包括波形数据、计时数据和向量，相对于每个测试周期确定这些数据。尽管基于周期的测试系统能够节省测试系统中的存储容量，但是测试针的测试数据的描述和...
【技术保护点】
一种用于测试被测半导体器件（ＤＵＴ）的半导体测试系统，包括：模式存储器，用于存储模式数据，以产生测试模式，该测试模式供给ＤＵＴ，以便测试ＤＵＴ；评估ＤＵＴ输出信号的装置，将输出信号与所希望的信号相比较，当两者不匹配时产生失效数据，由 此评估ＤＵＴ输出信号；数据失效存储器，用于存储由输出信号和希望信号之间的不匹配引起的失效数据；和压缩装置，用于在第一次测试操作中将模式存储器的多个地址分配给数据失效存储器的一个地址，以便以预定的压缩比将对模式存储器的每组多个地址发生 的失效数据存储在数据失效存储器的相应地址中，并用于仅对在数据失效存储器中检测到失效数...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安东尼勒，罗基特拉尤斯曼，詹姆斯阿兰特恩奎斯特，菅森茂，
申请(专利权)人：株式会社鼎新，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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