【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于测试半导体集成电路，比如大规模集成电路(LSI)的半导体测试系统，更具体地说，涉及一种半导体测试系统上的电源电流测量单元，它能够快速、准确地测量被测器件的电源电流。本专利技术的电源电流测量单元更有利地适用于测量一个CMOS集成电路的电源电流IDD。本专利技术的电源电流测量单元，在半导体测试系统中被用来测试半导体集成电路比如LSI(此后也称之为“被测器件”)。这样的一个半导体测试系统主要对被测器件进行功能测试，它也有测试DC参数的功能，在这种测试中，评估器件的电压和电流。本专利技术是一种用于测量被测器件的电源电流的电源电流测量单元(DC测试单元)，它是DC参数测试的一部分。本专利技术的专利技术者提出了一种基于事件的半导体测试系统(基于事件的测试系统)，它与当今广泛使用的基于周期的半导体测试系统(基于周期的测试系统)有不同的结构。本专利技术的电源电流测量单元可以更有利地应用于基于事件的测试系统，然而，当它用于基于周期的测试系统时，它也可以产生显著的作用。因此，下面对基于周期的测试系统和基于事件的测试系统，做简短的说明。附图说明图1A是一个方...
【技术保护点】
一种设置在一个半导体测试系统中的电源电流测量单元，用于测量流过被测器件的电源电流，包括：一个Ｄ／Ａ（数字到模拟）转换器，基于接收到的数字信号，产生电源电压供给被测器件；一个运算放大器，用于形成负反馈回路，并且把电源电压从Ｄ／Ａ转换器提供给被测器件的电源引线，由此通过一个已知电阻值的电流测量电阻器，把电源电流提供给电源引线。一个电压放大器，把代表提供给被测器件的电源电流量的电压进行放大；一个积分电路，在预定的积分时间内，将电压放大器的输出信号进行积分；和一个Ａ／Ｄ（模拟到数字）转换器，用来在积分时间之后，对积分电路的输出信号进行转换。
【技术特征摘要】
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