在半导体测试系统中利用通用操作系统生成具有高时间精度的序列技术方案

一种半导体测试系统，可以使用通用操作系统产生时间临界顺序，包括一个用于将电源和测试图提供给被测器件的测试仪硬件，一个由通用操作系统操纵的主机计算机，一个用于根据一个测试程序计算配置数据和定时数据的配置软件，一个用于给测试硬件提供电源触发器和信号触发器的的装置驱动器，以及一个用于产生中断信号的硬件定时器。装置驱动器启动测试图并在接收到中断信号时去激活电源。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测试半导体装置，例如IC和LSI，的半导体测试系统，更具体的说，涉及一种可以使用通用操作系统生成时间临界顺序的半导体测试系统。
技术介绍
在利用半导体测试系统，例如IC测试仪，测试半导体装置，例如IC和LSI，时，要为待测试的半导体IC装置提供由IC测试仪按照预先确定的定时时间在它的测试仪电极上产生的测试信号(测试图形)。IC测试仪响应该测试信号接收从处在测试状态下的IC装置输出的输出信号。输出信号按照预先确定的定时时间被选通信号选通，与预期的输出数据比较，以确定IC装置的功能是否正常。在这样的一种半导体测试环境下，作为试验的一部分，该系统必须控制该测试仪上的操作顺序、被测器件(DUT)和相关的设备。例如，作为一个逻辑被测器件(DUT)的功能测试的一部分而出现的一个操作顺序以图1A-1D的定时图的形式被示出。在这个例子中，测试系统为DUT提供了一个或多个电源。例如，双电源启动事件要求在图1A-1D中所示的时刻S1和S2。该DUT的信号线必须在图1C中的时刻S1初始化。将数字测试图加到DUT上，测试图的起点在图1D上表示为时刻St。实际上，数字测试图可以是长达几本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试半导体装置的半导体测试系统，该系统包括：一个用于将电源提供给一个半导体被测器件（ＤＵＴ）的电源引线和将一个测试图提供给该ＤＵＴ的输入引线并评估该ＤＵＴ的输出信号的测试仪硬件；一台由通用操作系统操纵的用于根据测试程序控制该 半导体测试系统的全部操作的主机计算机；一个配置软件，用于计算指示该测试图的参考电压和电源的配置的配置数据以及指示电源、参考电压和测试图的激活和去激活的定时的定时数据，其中该配置软件在测试该ＤＵＴ之前根据测试程序计算配置数据和定时数据； 装置驱动器，用于向测试仪硬件提供一个功率触发器和一个信号触发器以便触发激活和去激活硬件测试仪中的电源和...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：利昂李申，詹姆斯艾伦特恩奎斯特，
申请(专利权)人：株式会社鼎新，
类型：发明
国别省市：JP[日本]