晶圆匣升降台快速卡接机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆匣升降台快速卡接机构，属于晶圆检测技术领域，其包括升降台，升降台位于用于对晶圆检测的中测台内，还包括设置在中测台一侧的升降台内的卡接机构，升降台中开设有安置腔，卡接机构位于安置腔内，升降台上还承放有晶圆匣，升降台上还可设有对卡接机构进行导向的导向槽，导向槽与安置腔连通，卡接机构包括多个定位杆、连接杆和定位气缸，安置腔内设置有隔板，定位气缸分别位于隔板的两侧，定位气缸的活塞缸端部与连接杆连接，连接杆远离定位气缸的一端连接定位杆，定位杆的轴线与定位气缸的活塞杆轴线垂直。本实用新型专利技术具有对装有晶圆的晶圆匣进行定位，使晶圆匣不易出现晃动和倾倒的效果。

【技术实现步骤摘要】
晶圆匣升降台快速卡接机构
本技术涉及晶圆检测
，尤其是涉及一种晶圆匣升降台快速卡接机构。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆在经过生产后需要经过检测才可以投入市场中进行应用，现有对晶圆的检测方式通常为采用中测台对晶圆进行检测，在进行检测时，目前通常将装有晶圆的晶圆匣放置在升降平台上，并通过输送装置将晶圆匣内的晶圆输送进检测部位进行检测。由于晶圆匣是承放在升降平台上，未对晶圆匣进行定位，导致在对晶圆进行输送时，晶圆匣容易出现晃动和倾倒，使晶圆出现从晶圆匣中滑出损坏。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种晶圆匣升降台快速卡接机构，其具有对装有晶圆的晶圆匣进行定位，使晶圆匣不易出现晃动和倾倒的效果。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆匣升降台快速卡接机构，包括升降台，升降台位于用于对晶圆检测的中测台内，还包括设置在中测台一侧的升降台内的卡接机构，所述升降台中开设有安置腔，所述卡接机构位于安置腔内，所述升降台上还承放有晶圆匣，所述升降台上还可设有对卡接机构进行导向的导向槽，所述导向槽与安置腔连通。通过采用上述技术方案，升降台上开设的导向槽与安置槽连通，使得在将卡接机构安设在安置槽内后，卡接机构能够从导向槽中穿出，实现在卡接机构作用下对晶圆匣进行定位夹紧，以至于晶圆匣不易出现晃动和倾倒，使得位于晶圆匣内的晶圆不易出现损坏。本技术进一步设置为：所述卡接机构包括多个定位杆、连接杆和定位气缸，所述安置腔内设置有隔板，所述定位气缸分别位于隔板的两侧，所述定位气缸的活塞缸端部与连接杆连接，所述连接杆远离定位气缸的一端连接定位杆，所述定位杆的轴线与定位气缸的活塞杆轴线垂直，所述定位杆从导向槽中穿出。通过采用上述技术方案，位于隔板两侧的两侧定位气缸分别控制位于导向槽内的定位杆移动，以至于在将晶圆匣放置在升降台上后，隔板两侧定位气缸带动定位杆沿导向槽相背离移动，从而实现与晶圆匣内壁的抵触，达到对晶圆匣撑紧，实现撑紧定位的效果。本技术进一步设置为：所述定位杆远离与连接杆连接的一端连接有定位块，所述晶圆匣的内壁开设有供定位块卡合的定位槽。通过采用上述技术方案，在定位气缸推动定位杆对晶圆匣内壁撑紧定位时，定位杆一端连接的定位块卡合进定位槽内，使得晶圆匣不易被拉动和移动，从而进一步的提高对晶圆匣的定位稳定性。本技术进一步设置为：所述升降台上还设置有限位块，所述限位块背离升降台的一侧开设有限位槽，所述晶圆匣对应限位槽的位置设有与限位槽适配的承托杆。通过采用上述技术方案，晶圆匣放置在升降台上时，承托干卡合进限位槽内，以至于晶圆匣不易出现沿隔板长度方向移动。本技术进一步设置为：所述安置槽内还设置有调节定位气缸位置的调节装置。通过采用上述技术方案，由于晶圆的尺寸存在差异，承放晶圆的晶圆匣尺寸随之会存在差异，在需要对不同尺寸晶圆匣进行定位时，定位气缸的行程不变，通过调节装置调节定位气缸的位置，实现对位气缸能够推动定位杆对晶圆匣进行夹持定位。本技术进一步设置为：所述调节装置包括调节电机、传动杆、双向丝杠和两个移动板，两个所述移动板分设在隔板的两侧，所述安置槽底壁开设有滑道，所述移动板一侧固设有与滑道滑移的滑块，所述定位气缸与移动板背离滑块的一侧连接，所述调节电机位于隔板的一端，所述调节电机同轴连接传动杆，所述传动杆远离调节电机的一端连接有主动锥齿，所述双向丝杠穿设在隔板中，所述双向丝杠中间位置连接有与主动锥齿啮合的从动锥齿，所述传动杆轴线与双向丝杠轴线垂直，所述双向丝杠两端分别与隔板两侧的移动板螺纹连接。通过采用上述技术方案，由于主动锥齿与从动锥齿啮合，并且传动杆和双向丝杠轴线垂直，以至于在调节电机带动传动杆的转动时带动双向丝杠进行转动，由于双向丝杠与隔板两侧的移动板螺纹连接，实现对定位气缸位置的调节，从而实现定位杆能够对不同尺寸的晶圆匣进行定位的效果。本技术进一步设置为：所述定位杆和定位块朝向晶圆匣的一侧均粘附有缓冲垫。通过采用上述技术方案，定位杆和定位块上的缓冲垫，不易出现在对晶圆匣进行定位时造成晶圆匣受压变形损坏。本技术进一步设置为：所述晶圆匣沿高度方向开设有若干承放晶圆的托槽。通过采用上述技术方案，晶圆匣上开设有若干个托槽，实现在同一个晶圆匣内能够承放多个晶圆，提高了对晶圆进行检测的效率。综上所述，本技术的有益技术效果为：1.通过位于升降台内的卡接机构实现对承放在升降台上的晶圆匣进行定位，并且在导向槽的作用下进行导向，以至于晶圆匣不易出现晃动和倾倒，从而减小晶圆出现损坏的可能；2.通过调节装置来调节调节定位气缸的位置，以至于能够实现对不同尺寸的晶圆匣进行定位。附图说明图1是体现整体的结构示意图。图2是体现卡接机构和调节装置的示意图。图3是体现调节装置的局部结构示意图。图4是体现晶圆匣的整体结构示意图。图中，1、中测台；11、控制开关；12、启动开关；2、升降台；21、安置腔；211、滑道；22、升降气缸；23、导向槽；24、限位块；25、限位槽；3、晶圆匣；31、定位槽；32、承托杆；33、托槽；4、卡接机构；41、定位杆；42、连接杆；43、定位气缸；44、定位块；45、缓冲垫；5、隔板；6、调节装置；61、调节电机；62、传动杆；63、双向丝杠；64、移动板；65、滑块；66、主动锥齿；67、从动锥齿；7、控制器；8、晶圆。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。参考图1和图2，为本技术公开的一种晶圆匣升降台快速卡接机构，包括升降台2和设置在升降台2内的卡接机构4，升降台2上开设有安置腔21，卡接机构4位于安置腔21内，升降台2位于用于对晶圆8检测的中测台1一侧，中测台1上还设置有用于控制卡接机构4工作的控制开关11，升降台2底部连接有控制升降台2升降的升降气缸22，中测台1设置控制开关11的一侧还设置有控制升降气缸22的启动开关12，升降台2上背离升降气缸22的一侧承放有用于放置晶圆8的晶圆匣3，晶圆匣3沿高度方向开设有若干承放晶圆8的托槽33，以至于能够一次承放多个晶圆8。参考图2，升降台2朝向晶圆8匣3的一侧开设有若干导向槽23，导向槽23一共设置为四个并对称设置，导向槽23与安置腔21连通，卡接机构4包括多个定位杆41、连接杆42和定位气缸43，安置腔21的中间位置设置有隔板5，定位气缸43有两个并分设在隔板5的两侧，定位气缸43的活塞杆端部连接连接杆42，连接杆42呈平置的匚形，连接杆42远离定位气缸43的一侧连接定位杆41，同一个连接杆42上连接两个定位杆41，定位杆41的位置与导向槽23位置对应，并且定位杆41远离与连接杆42连接的一端从导向槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆匣升降台快速卡接机构，包括升降台(2)，所述升降台(2)位于用于对晶圆(8)检测的中测台(1)内，其特征在于：还包括设置在中测台(1)一侧的升降台(2)内的卡接机构(4)，所述升降台(2)中开设有安置腔(21)，所述卡接机构(4)位于安置腔(21)内，所述升降台(2)上还承放有晶圆匣(3)，所述升降台(2)上还可设有对卡接机构(4)进行导向的若干导向槽(23)，所述导向槽(23)与安置腔(21)连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆匣升降台快速卡接机构，包括升降台(2)，所述升降台(2)位于用于对晶圆(8)检测的中测台(1)内，其特征在于：还包括设置在中测台(1)一侧的升降台(2)内的卡接机构(4)，所述升降台(2)中开设有安置腔(21)，所述卡接机构(4)位于安置腔(21)内，所述升降台(2)上还承放有晶圆匣(3)，所述升降台(2)上还可设有对卡接机构(4)进行导向的若干导向槽(23)，所述导向槽(23)与安置腔(21)连通。


2.根据权利要求1所述的晶圆匣升降台快速卡接机构，其特征在于：所述卡接机构(4)包括多个定位杆(41)、连接杆(42)和定位气缸(43)，所述安置腔(21)内设置有隔板(5)，所述定位气缸(43)分别位于隔板(5)的两侧，所述定位气缸(43)的活塞缸端部与连接杆(42)连接，所述连接杆(42)远离定位气缸(43)的一端连接定位杆(41)，所述定位杆(41)与定位气缸(43)的活塞杆轴线垂直，所述定位杆(41)从导向槽(23)中穿出。


3.根据权利要求2所述的晶圆匣升降台快速卡接机构，其特征在于：所述定位杆(41)远离与连接杆(42)连接的一端连接有定位块(44)，所述晶圆匣(3)的内壁开设有供定位块(44)和定位杆(41)卡合的定位槽(31)。


4.根据权利要求2所述的晶圆匣升降台快速卡接机构，其特征在于：所述升降台(2)上还设置有限位块(24)，所述限位块(24)背离升降台(2)的一侧开设有限位槽(25)，所述晶圆匣(3)对应限位槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，袁国松，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32