晶圆测试用探针台制造技术

本申请涉及半导体测试装置的技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试用探针台，其包括机架，机架上设有测试装置和转料装置，转料装置包括机械手，还包括转动架设在机架上的旋转支架，机架上设有用于驱使旋转支架转动的旋转电机，旋转支架的旋转轴心水平，旋转支架位于测试装置下方，旋转支架上滑动设有底座，旋转支架上设有用于驱使底座滑移的驱动机构，底座成对设置，两个底座的滑移方向相反，底座背向旋转支架中心一侧的面上设有吸附板，底座通过横移组件和纵移组件与吸附板相连，吸附板背向底座一侧开设有气孔，气孔朝向底座的一端接有气泵。本申请具有提高测试效率的效果。本申请具有提高测试效率的效果。本申请具有提高测试效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
晶圆测试用探针台


[0001]本申请涉及半导体测试装置的
，尤其是涉及一种晶圆测试用探针台。

技术介绍

[0002]集成电路的制造过程通常可分为晶圆制程、晶圆测试、封装及最后测试几个阶段。在封装之前，需要对晶圆上的集成电路进行电学性能测试（即晶圆测试），以此来判断集成电路是否良好。目前，晶圆测试通常是利用测试探针台进行测试：利用一个具有若干探针的探针卡，将探针与固定在承载台上的晶圆的集成电路进行接触，向集成电路施加测试信号，进而判断其电学性能是否良好。
[0003]公告号为CN207181558U的中国专利公开了一种全自动探针台，包括机架；设于机架上的，用于承载并调整待测件相对于机架的位置的工作台；设于机架上的，用于对待测件上的元器件进行导通测试的测试装置；设于机架上的，用于拍摄待测件的实时图片信息的摄像装置；设于机架上的，通过蘸有墨水的墨线以在不合格的元器件上打标识点的标识装置；电连接于工作台、测试装置、摄像装置及标识装置的、根据导通测试的结果判断元器件是否合格的，根据实时图片信息生成不合格的元器件的位置坐标信息的，根据位置坐标信息控制工作台动作以调整不合格的元器件的位置直至与标识装置对应的，控制标识装置进行打标识点动作的控制处理器；两组分设于机架两侧的、用于逐个输送待测件的上下料装置；以及，设于两组上下料装置之间的、输送待测件至工作台上以进行导通测试处理及打标识点处理的、将工作台上的待测件输出以收集待测件的转料装置。
[0004]其中，转料装置包括固定于机架上的转料导轨；滑动式装配于转料导轨的、往返于全自动探针台的各工位之间以转移待测件的机械手；以及，设于机架上的、驱使机械手相对于转料导轨往复运动的动力组。机械手包括若干用于承托待测件的承托板，以及，若干凸出设置于承托板上的、当待测件放置于承托板上时以限制待测件相对于承托板移动的限位销组。
[0005]这种全自动探针台工作时，先利用机械手将待测件转移到工作台上，控制处理器控制工作台移动至与测试装置对应的位置，并通过测试装置对工作台上的待测件进行检测。在控制处理器判断该待测件是否合格之后，摄像装置拍摄待测件的实时图片信息以供控制处理器生成与不合格待测件对应的坐标信息，然后控制处理器根据该坐标信息控制工作台移动。在不合格待测件与标识装置对应时，标识装置通过蘸有墨水的墨线以在不合格的所述元器件上打标识点，进而可以实现自动在不合格的元器件上打标识点的目的，无需人工操作，提升了工作效率。
[0006]针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有如下缺陷：测试装置测试完晶圆片之后，需要暂时停止工作，等待机械手将晶圆片放回原位，然后抓取新的晶圆片至工作台上，期间耗费时间较长，测试效率较低。

技术实现思路

[0007]为了提高测试效率，本申请提供一种晶圆测试用探针台。
[0008]本申请提供的一种晶圆测试用探针台采用如下的技术方案：一种晶圆测试用探针台，包括机架，所述机架上设有测试装置和转料装置，所述转料装置包括机械手，还包括转动架设在机架上的旋转支架，所述机架上设有用于驱使旋转支架转动的旋转电机，所述旋转支架的旋转轴心水平，旋转支架位于测试装置下方，旋转支架上滑动设有底座，旋转支架上设有用于驱使底座滑移的驱动机构，所述底座成对设置，两个底座的滑移方向相反，底座背向旋转支架中心一侧的面上设有吸附板，底座通过横移组件和纵移组件与吸附板相连，所述吸附板背向底座一侧开设有气孔，所述气孔朝向底座的一端接有气泵。
[0009]通过采用上述技术方案，气泵抽气后，在气孔处形成负压，吸附板能够将晶圆吸附住，并带动晶圆随底座移动；在驱动机构的驱使下，位于旋转支架上部的底座将未测晶圆输送至测试装置处，进行测试，位于旋转支架下部的底座将已测晶圆输送至机械手处，并关闭气泵，不再吸附晶圆，使机械手得以将已测晶圆转移走；测试过程中，机械手将新的未测晶圆转移至旋转支架下方，未测晶圆被空置的吸附板吸附；测试结束后，驱动机构驱使两个底座靠拢，避开测试装置和机械手，然后由旋转电机驱使旋转支架旋转，使新的未测晶圆转移至旋转支架上部，进行新一轮的测试，已测晶圆则转移至旋转支架下部，重复上述过程；由于机械手放回已测晶圆和抓取未测晶圆的过程发生在测试期间，每轮测试结束后只需等待旋转支架旋转即可，等待时间大大减少，从而能够提高测试效率。
[0010]优选的，所述驱动机构包括转动架设在旋转支架上的驱动齿轮，所述旋转支架上设有第一驱动电机，所述第一驱动电机的机轴与驱动齿轮相连，两个所述底座上均设有驱动齿条，两个所述驱动齿条分别位于驱动齿轮的两侧，驱动齿条与驱动齿轮啮合，驱动齿条沿底座的滑移方向设置。
[0011]通过采用上述技术方案，第一驱动电机驱使驱动齿轮旋转，进而带动驱动齿条移动，由于驱动齿条分别位于驱动齿轮的两侧，故两个驱动齿条的移动方向相反，使两个底座相互靠拢或者相互远离。
[0012]优选的，两个所述驱动齿条背向驱动齿轮的一侧均设有限位块，所述限位块与对应的驱动齿条相抵，限位块与旋转支架相连。
[0013]通过采用上述技术方案，限位块与驱动齿条背向驱动齿轮的一侧相抵，使驱动齿条与驱动齿轮稳定啮合，不易出现跳齿的情况。
[0014]优选的，所述驱动机构包括转动架设在旋转支架上的螺杆，所述螺杆沿底座的滑移方向设置，螺杆一端设有左旋螺纹，螺杆另一端设有右旋螺纹，螺杆两端分别套设有两个螺母座，所述螺母座与螺杆螺纹配合，两个螺母座分别与两个底座相连，所述旋转支架上设有第二驱动电机，所述第二驱动电机的机轴与螺杆相连。
[0015]通过采用上述技术方案，第二驱动电机驱使螺杆旋转，进而驱使螺母座平移，由于螺杆两端的螺纹相反，故两个螺母座的移动方向相反，带动两个底座相互靠拢或者远离。
[0016]优选的，所述旋转支架通过转轴与机架相连，所述转轴上套设有正齿轮和反齿轮，所述机架上转动架设有第一传动轴和第二传动轴，所述第一传动轴和第二传动轴均与转轴平行，所述第一传动轴与旋转电机的机轴相连，第一传动轴上键连接有第一齿轮，所述第二
传动轴上键连接有第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮与第一传动轴滑动配合，第一齿轮在滑移至与正齿轮齐平时啮合于正齿轮上，第一齿轮在滑移至与第二齿轮齐平时啮合于第二齿轮上，所述第三齿轮与反齿轮啮合，所述机架上还架设有气缸，所述气缸与第一传动轴平行，气缸的活塞杆上连接有推块和勾块，所述推块和勾块分别与第一齿轮的两端面相抵。
[0017]通过采用上述技术方案，第一齿轮与第一传动轴滑动配合，在气缸的驱使下沿第一传动轴滑移；当第一齿轮滑移至与正齿轮齐平时，第一齿轮与正齿轮啮合，此时旋转电机驱使第一传动轴转动，带动转轴正向转动，使两个底座互换位置；当第一齿轮滑移至与第二齿轮齐平时，第一齿轮与第二齿轮啮合，此时旋转电机驱使第一传动轴转动，带动第二传动轴旋转，进而带动转轴反向转动，使两个底座再次互换位置；在旋转电机的机轴的旋转方向保持不变的情况下，旋转支架交替正反转，各种管线不易打结。
[0018]优选的，所述推块朝向第一齿轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试用探针台，包括机架(1)，所述机架(1)上设有测试装置(2)和转料装置(3)，所述转料装置(3)包括机械手(31)，其特征在于：还包括转动架设在机架(1)上的旋转支架(8)，所述机架(1)上设有用于驱使旋转支架(8)转动的旋转电机(11)，所述旋转支架(8)的旋转轴心水平，旋转支架(8)位于测试装置(2)下方，旋转支架(8)上滑动设有底座(81)，旋转支架(8)上设有用于驱使底座(81)滑移的驱动机构(82)，所述底座(81)成对设置，两个底座(81)的滑移方向相反，底座(81)背向旋转支架(8)中心一侧的面上设有吸附板(83)，底座(81)通过横移组件(84)和纵移组件(85)与吸附板(83)相连，所述吸附板(83)背向底座(81)一侧开设有气孔(831)，所述气孔(831)朝向底座(81)的一端接有气泵(833)。2.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述驱动机构(82)包括转动架设在旋转支架(8)上的驱动齿轮(821)，所述旋转支架(8)上设有第一驱动电机(822)，所述第一驱动电机(822)的机轴与驱动齿轮(821)相连，两个所述底座(81)上均设有驱动齿条(823)，两个所述驱动齿条(823)分别位于驱动齿轮(821)的两侧，驱动齿条(823)与驱动齿轮(821)啮合，驱动齿条(823)沿底座(81)的滑移方向设置。3.根据权利要求2所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：两个所述驱动齿条(823)背向驱动齿轮(821)的一侧均设有限位块(824)，所述限位块(824)与对应的驱动齿条(823)相抵，限位块(824)与旋转支架(8)相连。4.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述驱动机构(82)包括转动架设在旋转支架(8)上的螺杆(825)，所述螺杆(825)沿底座(81)的滑移方向设置，螺杆(825)一端设有左旋螺纹，螺杆(825)另一端设有右旋螺纹，螺杆(825)两端分别套设有两个螺母座(826)，所述螺母座(826)与螺杆(825)螺纹配合，两个螺母座(826)分别与两个底座(81)相连，所述旋转支架(8)上设有第二驱动电机(827)，所述第二驱动电机(827)的机轴与螺杆(825)相连。5.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述旋转支架(8)通过转轴(86)与机架(1)相...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，潘亮良，徐志源，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：