可安装多种探针卡的测试探针台制造技术

本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种可安装多种探针卡的测试探针台，其包括探针台本体，探针台本体上开有安装槽，安装槽内设有升降台，升降台与安装槽的底壁之间设有升降组件，升降组件用于控制升降台上升或下降，升降台上开有容纳槽，容纳槽的底壁和探针台本体共同开通有用于检测晶圆的通孔，容纳槽内设有两个抵紧组件，两个抵紧组件关于容纳槽的长度方向对称，抵紧组件包括抵紧板和抵紧压簧，抵紧板垂直于容纳槽的底壁，抵紧板沿容纳槽的长度方向滑动连接在容纳槽的底壁上，抵紧压簧挤压在抵紧板和容纳槽的侧壁之间。本申请具有使探针台可以安装不同尺寸探针卡的效果。探针台可以安装不同尺寸探针卡的效果。探针台可以安装不同尺寸探针卡的效果。

【技术实现步骤摘要】
可安装多种探针卡的测试探针台


[0001]本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种可安装多种探针卡的测试探针台。

技术介绍

[0002]探针台是一种晶圆探针测试设备，探针测试在半导体器件制造流程具有重要的地位，通过探针测试，可及时发现晶圆中性能异常的晶粒，减少后续工序的加工耗费。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，因此探针卡的取放工作就显得非常重要。
[0003]公开号为CN205067532U的中国专利公开有一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，探针台主体上开设有圆槽，探针卡放置台设置在圆槽中，探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，探针卡放置台底部连接升降控制装置。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人此装置只能应用于特定尺寸的探针卡，而不能调节使用，应用范围较为有限。

技术实现思路

[0005]为了使探针台可以安装不同尺寸的探针卡，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可安装多种探针卡的测试探针台，包括探针台本体(1)，所述探针台本体(1)上开有安装槽(2)，其特征在于：所述安装槽(2)内设有升降台(3)，所述升降台(3)与安装槽(2)的底壁之间设有升降组件(4)，所述升降组件(4)用于控制升降台(3)上升或下降，所述升降台(3)上开有容纳槽(31)，所述容纳槽(31)的底壁和探针台本体(1)共同开通有用于检测晶圆的通孔(5)，所述容纳槽(31)内设有两个抵紧组件(6)，两个所述抵紧组件(6)关于容纳槽(31)的长度方向对称，所述抵紧组件(6)包括抵紧板(61)和抵紧压簧(62)，所述抵紧板(61)垂直于容纳槽(31)的底壁，所述抵紧板(61)沿容纳槽(31)的长度方向滑动连接在容纳槽(31)的底壁上，所述抵紧压簧(62)挤压在抵紧板(61)和容纳槽(31)的侧壁之间。2.根据权利要求1所述的可安装多种探针卡的测试探针台，其特征在于：所述抵紧压簧(62)内穿设有导向杆(621)，所述导向杆(621)的一端固定连接于抵紧板(61)，另一端滑动连接于容纳槽(31)的内侧壁。3.根据权利要求2所述的可安装多种探针卡的测试探针台，其特征在于：所述抵紧板(61)的底部固定连接有滑移块(611)，所述容纳槽(31)的底...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，徐志源，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：