可安装多种探针卡的测试探针台制造技术

本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种可安装多种探针卡的测试探针台，其包括探针台本体，探针台本体上开有安装槽，安装槽内设有升降台，升降台与安装槽的底壁之间设有升降组件，升降组件用于控制升降台上升或下降，升降台上开有容纳槽，容纳槽的底壁和探针台本体共同开通有用于检测晶圆的通孔，容纳槽内设有两个抵紧组件，两个抵紧组件关于容纳槽的长度方向对称，抵紧组件包括抵紧板和抵紧压簧，抵紧板垂直于容纳槽的底壁，抵紧板沿容纳槽的长度方向滑动连接在容纳槽的底壁上，抵紧压簧挤压在抵紧板和容纳槽的侧壁之间。本申请具有使探针台可以安装不同尺寸探针卡的效果。探针台可以安装不同尺寸探针卡的效果。探针台可以安装不同尺寸探针卡的效果。

【技术实现步骤摘要】
可安装多种探针卡的测试探针台


[0001]本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种可安装多种探针卡的测试探针台。

技术介绍

[0002]探针台是一种晶圆探针测试设备，探针测试在半导体器件制造流程具有重要的地位，通过探针测试，可及时发现晶圆中性能异常的晶粒，减少后续工序的加工耗费。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，因此探针卡的取放工作就显得非常重要。
[0003]公开号为CN205067532U的中国专利公开有一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，探针台主体上开设有圆槽，探针卡放置台设置在圆槽中，探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，探针卡放置台底部连接升降控制装置。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人此装置只能应用于特定尺寸的探针卡，而不能调节使用，应用范围较为有限。

技术实现思路

[0005]为了使探针台可以安装不同尺寸的探针卡，本申请提供一种可安装多种探针卡的测试探针台。
[0006]本申请提供的一种可安装多种探针卡的测试探针台采用如下的技术方案：
[0007]一种可安装多种探针卡的测试探针台，包括探针台本体，所述探针台本体上开有安装槽，所述安装槽内设有升降台，所述升降台与安装槽的底壁之间设有升降组件，所述升降组件用于控制升降台上升或下降，所述升降台上开有容纳槽，所述容纳槽的底壁和探针台本体共同开通有用于检测晶圆的通孔，所述容纳槽内设有两个抵紧组件，两个所述抵紧组件关于容纳槽的长度方向对称，所述抵紧组件包括抵紧板和抵紧压簧，所述抵紧板垂直于容纳槽的底壁，所述抵紧板沿容纳槽的长度方向滑动连接在容纳槽的底壁上，所述抵紧压簧挤压在抵紧板和容纳槽的侧壁之间。
[0008]通过采用上述技术方案，当工作人员需要进行探针卡的放置时，借助升降组件使升降台上升至安装槽外，随后将两个抵紧板向远离通孔的方向滑移，此时抵紧板挤压抵紧压簧，抵紧压簧收缩变形积累弹性势能，让位出用于放置探针卡的空间，随后去除施加在抵紧板上的外力，抵紧压簧恢复形状并释放弹性势能，对抵紧板施加朝向探针卡的水平弹力，两个抵紧板对同时对探针卡施加弹力，对探针卡起到夹紧固定的作用，由于抵紧压簧的形变范围较大，因此工作人员可以在容纳槽内放置不同尺寸的探针卡，使得探针台可以适用不同探针卡。
[0009]可选的，所述抵紧压簧内穿设有导向杆，所述导向杆的一端固定连接于抵紧板，另一端滑动连接于容纳槽的内侧壁。
[0010]通过采用上述技术方案，导向杆穿设于抵紧压簧内，对抵紧压簧的形变路径起到
导向的作用。
[0011]可选的，所述抵紧板的底部固定连接有滑移块，所述容纳槽的底壁上开有供滑移块滑移的滑移槽，所述滑移槽垂直于升降台的宽度方向开设。
[0012]通过采用上述技术方案，滑移块和滑移槽的配合使得抵紧板得以滑移在容纳槽的底壁上，同时对抵紧板的移动路径起到导向作用。
[0013]可选的，所述容纳槽的底壁上设有两个相对的定位杆，两个所述定位杆垂直于容纳槽的底壁，所述定位杆位于容纳槽底部长度方向的侧边上。
[0014]通过采用上述技术方案，由于探针卡上开有定位孔，借助定位杆可以使工作人员在放置探针卡时，借助定位杆确定探针卡的放置位置，更加便捷。
[0015]可选的，所述定位杆的底端连接有螺母块，所述容纳槽的底壁上开有供螺母块滑移的位移槽，所述螺母块内穿设有丝杆，所述丝杆远离螺母块的端部连接有驱动电机。
[0016]通过采用上述技术方案，驱动电机驱动丝杆转动，螺母块通过与丝杆的螺纹配合得以在位移槽内水平滑移，从而实现定位杆位置的改变。
[0017]可选的，所述升降组件在升降台的底面上设有四个。
[0018]通过采用上述技术方案，四个升降组件使得升降台的上升或下降过程更加平稳。
[0019]可选的，所述升降组件为气缸，所述气缸设于安装槽的底壁，所述气缸的伸缩杆固定连接在升降台的底部。
[0020]通过采用上述技术方案，当需要进行探针卡的拆装时，借助气缸的伸缩杆使升降台上升至安装槽外，便于工作人员操作，当探针台需要开始工作时，再借助气缸的伸缩杆使升降台下降至安装槽内。
[0021]可选的，所述抵紧板朝向探针卡的一侧贴合有缓冲层。
[0022]通过采用上述技术方案，缓冲层采用可形变材料制得，缓冲层在抵紧板夹紧固定探针卡时起到缓冲的作用，降低抵紧板损坏探针卡的可能性。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1、本申请中的两个抵紧组件同时对探针卡施加弹力，对探针卡起到夹紧固定的作用，由于抵紧压簧的形变范围较大，因此工作人员可以在容纳槽内放置不同尺寸的探针卡，使得探针台适用于不同探针卡；
[0025]2、定位杆连接有滑移组件，使得定位杆的位置可以改变，使探针台不仅可以适用于不同长度的探针卡，还可以适用于不同宽度的探针卡；
[0026]3、升降组件使得升降台可以在安装槽内上升或下降，当工作人员进行探针卡的拆装时将升降台升起，当探针台需要开始工作时，将升降台下降至安装槽内，从而使拆装探针卡的过程更加便捷快速。
附图说明
[0027]图1是用于体现本申请实施例的结构示意图。
[0028]图2是用于体现本申请实施例的剖视图。
[0029]图3是用于体现图2中A处的局部放大图。
[0030]图4是用于体现升降组件连接方式的爆炸示意图。
[0031]附图标记说明：1、探针台本体；2、安装槽；3、升降台；31、容纳槽；32、定位边沿；4、
升降组件；41、气缸；5、通孔；6、抵紧组件；61、抵紧板；611、滑移块；612、滑移槽；613、缓冲层；62、抵紧压簧；621、导向杆；6211、施力板；7、定位杆；71、螺母块；711、位移槽；712、丝杆；713、驱动电机；7131、安装板；7132、升降槽。
具体实施方式
[0032]以下结合附图1
‑
4对本申请作进一步详细说明。
[0033]本申请实施例公开一种可安装多种探针卡的测试探针台。参照图1，可安装多种探针卡的测试探针台包括探针台本体1。
[0034]参照图2，探针台本体1上开有长方形的安装槽2，安装槽2内设有长方形的升降台3，升降台3用于安装探针卡。
[0035]参照图2，升降台3的下方连接有四个升降组件4，四个升降组件4分别位于升降台3下表面的四角位置。升降组件4用于控制升降台3在安装槽2内的竖直高度，四个升降组件4的设置使得升降台3的上升或下降过程更加平稳。
[0036]参照图1和图2，升降台3上开有用于安装探针卡的容纳槽31，容纳槽31为长方形槽。探针台本体1中心处开设有用于放置晶圆的通孔5，通孔5与容纳槽31连通。工作人员可以操作放置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可安装多种探针卡的测试探针台，包括探针台本体(1)，所述探针台本体(1)上开有安装槽(2)，其特征在于：所述安装槽(2)内设有升降台(3)，所述升降台(3)与安装槽(2)的底壁之间设有升降组件(4)，所述升降组件(4)用于控制升降台(3)上升或下降，所述升降台(3)上开有容纳槽(31)，所述容纳槽(31)的底壁和探针台本体(1)共同开通有用于检测晶圆的通孔(5)，所述容纳槽(31)内设有两个抵紧组件(6)，两个所述抵紧组件(6)关于容纳槽(31)的长度方向对称，所述抵紧组件(6)包括抵紧板(61)和抵紧压簧(62)，所述抵紧板(61)垂直于容纳槽(31)的底壁，所述抵紧板(61)沿容纳槽(31)的长度方向滑动连接在容纳槽(31)的底壁上，所述抵紧压簧(62)挤压在抵紧板(61)和容纳槽(31)的侧壁之间。2.根据权利要求1所述的可安装多种探针卡的测试探针台，其特征在于：所述抵紧压簧(62)内穿设有导向杆(621)，所述导向杆(621)的一端固定连接于抵紧板(61)，另一端滑动连接于容纳槽(31)的内侧壁。3.根据权利要求2所述的可安装多种探针卡的测试探针台，其特征在于：所述抵紧板(61)的底部固定连接有滑移块(611)，所述容纳槽(31)的底...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，徐志源，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：