下载可安装多种探针卡的测试探针台的技术资料

文档序号:30519273

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本申请涉及晶圆检测的领域,尤其是涉及一种可安装多种探针卡的测试探针台,其包括探针台本体,探针台本体上开有安装槽,安装槽内设有升降台,升降台与安装槽的底壁之间设有升降组件,升降组件用于控制升降台上升或下降,升降台上开有容纳槽,容纳槽的底壁和探...
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