一种高效率检测晶圆的中测台制造技术

本申请涉及一种高效率检测晶圆的中测台，其包括探针台本体，探针台本体上开设有放置槽，放置槽内连接有同轴光装置，同轴光装置包括载具板和同轴光源，载具板上对应于同轴光源的位置开设有透光孔，放置槽内可拆卸连接有第一遮光罩，第一遮光罩的外侧壁与放置槽的内侧壁相互贴合，第一遮光罩的顶盖上固定连接有散热风扇，散热风扇的出风口正对同轴光装置，第一遮光罩的顶盖上开设有呈竖向设置的第一通风孔。本申请具有减缓温度上升的速度，从而提高效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高效率检测晶圆的中测台
本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种高效率检测晶圆的中测台。
技术介绍
探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机台。具体地说，晶圆测试设备包括测试机以及探针台(探针卡)，晶圆测试设备通过探针台实现晶圆中的芯片上每个焊盘(PAD)与测试机的稳定连接；并且由测试机判定晶圆上芯片的特性。公告号为CN210347701U的中国专利公开了一种高效率检测晶圆的中测台，其包括探针台主体和开设在探针台主体上的放置槽，放置槽内设有可拆卸连接的同轴光装置，同轴光装置包括载具板和与载具板可拆卸连接的同轴光源，载具板上对应于同轴光源的位置设有透光孔，放置槽上盖设有遮光板，遮光板罩设在同轴光装置上，遮光板可拆卸地设置在放置槽内，遮光板朝向放置槽一侧设有限位筒。针对上述中的相关技术，专利技术人认为同轴光源在使用过程中会持续散发热量，由于遮光板的阻挡，热量不易传递到外界，长时间使用后，会导致同轴光源温度大幅上升，进而影响检测效率。
技术实现思路
为了减缓温度上升的速度，从而提高效率，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效率检测晶圆的中测台，包括探针台本体(1)，探针台本体(1)上开设有放置槽(11)，放置槽(11)内连接有同轴光装置(2)，同轴光装置(2)包括载具板(21)和同轴光源(22)，载具板(21)上对应于同轴光源(22)的位置开设有透光孔(211)，其特征在于：放置槽(11)内可拆卸连接有第一遮光罩(3)，第一遮光罩(3)的外侧壁与放置槽(11)的内侧壁相互贴合，第一遮光罩(3)的顶盖上固定连接有散热风扇(4)，散热风扇(4)的出风口正对同轴光装置(2)，第一遮光罩(3)的顶盖上开设有呈竖向设置的第一通风孔(33)。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效率检测晶圆的中测台，包括探针台本体(1)，探针台本体(1)上开设有放置槽(11)，放置槽(11)内连接有同轴光装置(2)，同轴光装置(2)包括载具板(21)和同轴光源(22)，载具板(21)上对应于同轴光源(22)的位置开设有透光孔(211)，其特征在于：放置槽(11)内可拆卸连接有第一遮光罩(3)，第一遮光罩(3)的外侧壁与放置槽(11)的内侧壁相互贴合，第一遮光罩(3)的顶盖上固定连接有散热风扇(4)，散热风扇(4)的出风口正对同轴光装置(2)，第一遮光罩(3)的顶盖上开设有呈竖向设置的第一通风孔(33)。


2.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：同轴光源(22)上固定连接有散热鳍板(23)。


3.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：散热风扇(4)的上方罩设有第二遮光罩(5)，第二遮光罩(5)的竖向侧壁上开设有第二通风孔(51)。


4.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：第一遮光罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，徐志源，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32