【技术实现步骤摘要】
一种自动分拣上下料结构
本技术涉及半导体晶元片检测领域,特别涉及一种自动分拣上下料结构。
技术介绍
目前,半导体行业对自动化检测的要求越来越高,蓝宝石和碳化硅衬底作为晶元片的一个重要的组成部分,其质量直接决定了晶元的使用质量。因此,蓝宝石和碳化硅衬底的不良检测是生产过程中的一道必不可少的程序。CN101648186B的专利《具承载装置搬移装置的太阳能晶圆分类系统》,申请公布日为2013.05.15,公开了一种具承载装置搬移装置的太阳能晶圆分类系统,该分类系统包含:形成有复数承载位置的基座;设置于基座且供传送汲取太阳能晶圆的传送汲取装置;复数置于承载位置以承接太阳能晶圆的承载装置;具有预定端部位置并供堆栈及升降复数承载装置的供应装置;具有一个预定收纳位置并供堆栈及移动复数承载装置的收纳装置;搬移承载装置的搬移装置。该技术针对部分频繁出现的晶圆分类景况,无需停机更换承载装置,仅需调整与现有测试机台的相关接口,即可大幅提升原有机台的自动化效能。然而,上述系统的承载装置分左右两侧收集区,工作人员需要左右两侧进行收集工 ...
【技术保护点】
1.一种自动分拣上下料结构,其特征在于:包括进料端(100)、分拣单元(200)、多个承载构件(300)、运输装置(400)、出料端(500)和流水线;/n料件在所述流水线上经过所述进料端(100)传输至检测装置检测后,再经所述分拣单元(200)进行分拣后,进入所述承载构件(300);/n所述承载构件(300)通过所述运输装置(400)与所述出料端(500)连接;/n所述出料端(500)设置于所述进料端(100)相邻一侧或同一侧。/n
【技术特征摘要】
1.一种自动分拣上下料结构,其特征在于:包括进料端(100)、分拣单元(200)、多个承载构件(300)、运输装置(400)、出料端(500)和流水线;
料件在所述流水线上经过所述进料端(100)传输至检测装置检测后,再经所述分拣单元(200)进行分拣后,进入所述承载构件(300);
所述承载构件(300)通过所述运输装置(400)与所述出料端(500)连接;
所述出料端(500)设置于所述进料端(100)相邻一侧或同一侧。
2.根据权利要求1所述的一种自动分拣上下料结构,其特征在于:所述出料端(500)设有多个出料口(510)。
3.根据权利要求1所述的一种自动分拣上下料结构,其特征在于:所述流水线为滚筒式流水线或皮带式流水线。
4.根据权利要求1所述的一种自动分拣上下料结构,其特征在于:所述运输装置(400)为机械手模组或皮带式流水线或直线电机。
5.根据权利要求1所述的一种自动分拣上下料结构,其特征在于:所述运输装置(400)连接有运输装置驱动机构(410)。
6.根据权利要求1所述的一种自...
【专利技术属性】
技术研发人员:周生全,林志阳,王育平,魏竣宏,陈嘉劼,郑明全,
申请(专利权)人:厦门特仪科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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