一种用于二极管芯片的清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于二极管芯片的清洗装置，包括箱体，箱体内部通过隔板分隔为清洗腔和过滤腔，箱体上方设有第一电机，第一电机输出轴与中心皮带轮固定连接，中心皮带轮通过皮带分别与第一皮带轮和第二皮带轮连接，第一皮带轮与第一螺杆固定连接，第二皮带轮与第二螺杆固定连接，第一螺杆和第二螺杆上套设有清洗板，隔板上表面设有第二电机，第二电机输出轴与叶片固定连接，隔板一侧设有出液管，出液管与S型管连接，S型管上依次设置第一、第二和第三过滤机构，S型管另一端与进液管连通，进液管上设有抽水泵。本实用新型专利技术避免清洗液中的固体小颗粒对芯片造成划伤，提高了清洗液的使用寿命，降低成本，结构简单，实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于二极管芯片的清洗装置
本技术涉及半导体设备
，尤其是一种用于二极管芯片的清洗装置。
技术介绍
LED具有体积小、寿命长、功耗低等优点，目前被广泛应用于汽车信号灯、交通信号灯、显示屏以及照明设备。在制作LED时，需要先制作出外延片，然后将外延片制作成LED芯片。在制作过程中，LED芯片上难免会形成一定的污染，因此在完成LED芯片的制作后需要对LED芯片进行清洗。现有的清洗装置采用喷淋式或浸泡式的方式对二极管芯片进行清洗，清洗完成后的清洗液未经处理即进行新一轮的清洗，使用一段时间后更换清洗液，此种方式不仅造成清洗液的浪费，且由于使用过的清洗液中含有从芯片上清洗下来的固体颗粒杂质，再一次清洁使用时，可能会对芯片造成一定程度的磨损，损坏芯片。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的上述问题，本技术提出如下技术方案。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于二极管芯片的清洗装置，包括箱体，所述箱体内部通过隔板分隔为清洗腔和过滤腔，所述箱体上方设置有第一电机，所述第一电机输出轴与中心皮带轮固定连接，所述中心皮带轮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于二极管芯片的清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部通过隔板分隔为清洗腔和过滤腔，所述箱体(1)上方设置有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出轴与中心皮带轮(3)固定连接，所述中心皮带轮(3)通过皮带(5)分别与第一皮带轮(2)和第二皮带轮(6)连接，所述第一皮带轮(2)与第一螺杆(22)固定连接，所述第二皮带轮(6)与第二螺杆(8)固定连接，所述第一螺杆(22)和第二螺杆(8)延伸至清洗腔通过第一固定板(21)和第二固定板(9)安装固定，所述第一螺杆(22)和第二螺杆(8)上套设有清洗板(7)，所述隔板上表面设置有机箱(19)，所述机箱(19)内设置有第二电机(...

【技术特征摘要】
1.一种用于二极管芯片的清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部通过隔板分隔为清洗腔和过滤腔，所述箱体(1)上方设置有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出轴与中心皮带轮(3)固定连接，所述中心皮带轮(3)通过皮带(5)分别与第一皮带轮(2)和第二皮带轮(6)连接，所述第一皮带轮(2)与第一螺杆(22)固定连接，所述第二皮带轮(6)与第二螺杆(8)固定连接，所述第一螺杆(22)和第二螺杆(8)延伸至清洗腔通过第一固定板(21)和第二固定板(9)安装固定，所述第一螺杆(22)和第二螺杆(8)上套设有清洗板(7)，所述隔板上表面设置有机箱(19)，所述机箱(19)内设置有第二电机(11)，所述第二电机(11)输出轴与叶片(20)固定连接，所述隔板一侧设置有出液管(18)，所述出液管(18)与S型管(16)连接，所述S型管(16)上依次设置第一过滤机构(15)、第二过滤机构(13)和第三过滤机构(14)，所述S型管(16)另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：李德鹏，张光展，程文娟，徐海涛，单志辉，逄超，耿仁继，
申请(专利权)人：青岛金汇源电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37