一种硅片钝化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片钝化装置，包括箱体，所述箱体底面设置有加热组件，所述箱体一侧下方设置有进气管，所述进气管对应的箱体另一侧设置有出气管，所述出气管对应的箱体一侧上方设置有循环出气管，所述循环出气管与循环气泵连接，所述箱体另一侧下方设置有循环进气管，所述循环进气管与循环气泵连接，所述箱体上方设置有电机，所述电机输出轴与中心皮带轮固定连接，所述中心皮带轮通过皮带分别与第一皮带轮和第二皮带轮连接，所述第一皮带轮和第二皮带轮均与螺杆固定连接，所述螺杆上套设有承重板，所述承重板上方设置有硅片固定板。本实用新型专利技术增加了装置内气体的流动性，提高钝化均匀性，结构简单，实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片钝化装置
本技术涉及半导体加工设备
，尤其是一种硅片钝化装置。
技术介绍
半导体晶片的钝化是半导体晶片加工的必要流程，一般将半导体晶片放置在钝化炉中，通入氧气或臭氧气体等氧化性气体，加热使半导体晶片表面发生氧化反应，实现表面钝化的目的。现有技术钝化装置，气体分布不均匀，无法保证钝化的均匀性，影响硅片质量。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的上述问题，本技术提出如下技术方案。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片钝化装置，包括箱体，所述箱体底面设置有加热组件，所述箱体一侧下方设置有进气管，所述进气管对应的箱体另一侧设置有出气管，所述出气管对应的箱体一侧上方设置有循环出气管，所述循环出气管与循环气泵连接，所述箱体另一侧下方设置有循环进气管，所述循环进气管与循环气泵连接，所述箱体上方设置有电机，所述电机输出轴与中心皮带轮固定连接，所述中心皮带轮通过皮带分别与第一皮带轮和第二皮带轮连接，所述第一皮带轮和第二皮带轮均与螺杆固定连接，所述螺杆上套设有承重板，所述承重板上方设置有硅片固定板。上述的硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片钝化装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底面设置有加热组件(15)，所述箱体(1)一侧下方设置有进气管(13)，所述进气管(13)对应的箱体(1)另一侧设置有出气管(16)，所述出气管(16)对应的箱体(1)一侧上方设置有循环出气管(4)，所述循环出气管(4)与循环气泵(7)连接，所述箱体(1)另一侧下方设置有循环进气管(12)，所述循环进气管(12)与循环气泵(7)连接，所述箱体(1)上方设置有电机(8)，所述电机(8)输出轴与中心皮带轮(9)固定连接，所述中心皮带轮(9)通过皮带(6)分别与第一皮带轮(5)和第二皮带轮(10)连接，所述第一皮带轮(5)和第二皮带轮(...

【技术特征摘要】
1.一种硅片钝化装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底面设置有加热组件(15)，所述箱体(1)一侧下方设置有进气管(13)，所述进气管(13)对应的箱体(1)另一侧设置有出气管(16)，所述出气管(16)对应的箱体(1)一侧上方设置有循环出气管(4)，所述循环出气管(4)与循环气泵(7)连接，所述箱体(1)另一侧下方设置有循环进气管(12)，所述循环进气管(12)与循环气泵(7)连接，所述箱体(1)上方设置有电机(8)，所述电机(8)输出轴与中心皮带轮(9)固定连接，所述中心皮带轮(9)通过皮带(6)分别与第一皮带轮(5)和第二皮带轮(10)连接，所述第一皮带轮(5)和第二皮带轮(10)均与螺杆(11)固定连接，所述螺杆(11)上套设有承重板(2)，所述承重板(2)上方设置有硅片固定板(3)。

【专利技术属性】
技术研发人员：李德鹏，张光展，程文娟，徐海涛，单志辉，逄超，耿仁继，
申请(专利权)人：青岛金汇源电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37