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本实用新型公开了一种硅片钝化装置，包括箱体，所述箱体底面设置有加热组件，所述箱体一侧下方设置有进气管，所述进气管对应的箱体另一侧设置有出气管，所述出气管对应的箱体一侧上方设置有循环出气管，所述循环出气管与循环气泵连接，所述箱体另一侧下方设置...
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