【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆分选机用部件机构，具体是指一种晶圆分选机用晶圆顶针机构。
技术介绍
1、晶片分选机需要对通过测试后的不同电子数据晶片进行分选，几百或几千个不同数据的晶片附着于一块基片中，多个基片竖放于一个基片槽中。分选过程中，通过基片移动，有效将合格的晶片输送至物料中转机构的所在位置，尔后通过相应的顶针机构将相应的晶片顶出，使其被物料中转机构的吸嘴吸附，通过物料中转机构的旋转将合格的晶片转运至另一侧的基片上即可。
2、传统的晶圆分选机用晶圆顶针机构的驱动机构主要采用丝杆驱动机构、或气缸驱动机构，其驱动稳定性较高，能够有效稳定对晶片进行顶出，但是其运行速率相对较慢。为提升晶圆顶针机构的运行速率，通过弹簧以对顶针固定座进行限位，再通过驱动电机带动驱动凸轮以对顶针固定座进行来回驱动，以带动顶针杆件快速对晶片进行顶出，进而实现晶圆顶针机构运行速率的大幅提升。但是，通过弹簧的拉伸、配合以驱动凸轮进行快速推动的过程中，晶圆顶针机构的运行会存在比较明显的振动，导致其在对晶片进行顶出时，存在晶片位置偏离的隐患，严重时，甚至导致晶片在未被吸附到
【技术保护点】
1.一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述减振件（5）为橡胶减振件，所述顶针杆件（6）的内端部通过过盈配合方式固定插接到所述减振件（5）的固定孔内。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述绝缘固定件（801）上设置有相应的填充槽，所述填充槽内填充有多个相应的阻尼粒子（9），填充槽的槽口处封闭安装有用于对所述阻尼粒子（9）进行阻挡的限位环板（10）。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述顶...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述减振件（5）为橡胶减振件，所述顶针杆件（6）的内端部通过过盈配合方式固定插接到所述减振件（5）的固定孔内。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述绝缘固定件（801）上设置有相应的填充槽，所述填充槽内填充有多个相应的阻尼粒子（9），填充槽的槽口处封闭安装有用于对所述阻尼粒子（9）进行阻挡的限位环板（10）。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述顶针杆件（6）在与所述绝缘固定件（801）相对应的位置上对称设置有一组相应的限位平台（11），通过相应的锁紧螺栓将所述绝缘固定件（801）固定到所述顶针杆件（6）上，所述锁紧螺栓的杆端部抵接到所述顶针杆件（6）的限位平台（11）上；所述导体（802）采用呈环形状设置的螺旋弹簧。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机用晶圆顶针机构，其特征在于，所述固定件（1）上固定安装有一相应的导向滑轨（12），所述支座板（2）上固接有与所述导向滑轨（12）相适配的移动滑块（13），所述支座板（2）固定连接到相应的调...
【专利技术属性】
技术研发人员：王世锐，康强强，翟跃飞，
申请(专利权)人：厦门特仪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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