应用于探针台的探针卡安装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种应用于探针台的探针卡安装装置，其涉及一种探针台的辅助装置，旨在解决现有技术中无法安装矩形状的探针卡的问题，其技术方案要点包括设置在探测台主体侧壁上的安装槽，所述安装槽内设有支撑台，所述支撑台上设有容纳槽，所述容纳槽内设有用于支撑探针卡的两定位组件，两所述定位组件相对设置，所述容纳槽内设有用于调节两定位组件相对运动的调距组件，所述容纳槽的槽底壁上设有供探针卡安装的安装空间；在测试前，将支撑台安装在安装槽内，根据探针卡的形状，通过调距组件调节两定位组件之间的距离，再利用定位组件夹持固定探针卡的两侧，以此可以夹持不同宽度的矩形探针卡。

【技术实现步骤摘要】
应用于探针台的探针卡安装装置
本技术涉及一种探针台的辅助装置，更具体地说，它涉及一种应用于探针台的探针卡安装装置。
技术介绍
探针台又称中测台，探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作显得非常重要。授权公告号为CN205067532U的中国专利公开了一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，所述探针台主体上开设有圆槽，所述探针卡放置台设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。本技术的探针卡放置台在升降控制装置的作用下，在探针台主体内部进行升降运动，升起后可进行取放探针卡操作，使探针卡具有更大的接触空间，方便快捷地取放探针卡，下降后将放置好本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于探针台的探针卡安装装置，其特征在于：包括设置在探测台主体（1）侧壁上的安装槽（10），所述安装槽（10）内设有支撑台（2），所述支撑台（2）上设有容纳槽（20），所述容纳槽（20）内设有用于支撑探针卡的两定位组件（3），两所述定位组件（3）相对设置，所述容纳槽（20）内设有用于调节两定位组件（3）相对运动的调距组件（4），所述容纳槽（20）的槽底壁上设有供探针卡安装的安装空间（21）。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于探针台的探针卡安装装置，其特征在于：包括设置在探测台主体（1）侧壁上的安装槽（10），所述安装槽（10）内设有支撑台（2），所述支撑台（2）上设有容纳槽（20），所述容纳槽（20）内设有用于支撑探针卡的两定位组件（3），两所述定位组件（3）相对设置，所述容纳槽（20）内设有用于调节两定位组件（3）相对运动的调距组件（4），所述容纳槽（20）的槽底壁上设有供探针卡安装的安装空间（21）。


2.根据权利要求1所述的应用于探针台的探针卡安装装置，其特征在于：所述容纳槽（20）内设有支撑架（22）；
所述定位组件（3）包括转动设置在支撑架（22）上的两丝杠（30），两所述丝杠（30）的轴线共线，两所述丝杠（30）的螺纹旋向相反，所述丝杠（30）的侧壁上螺纹连接有连接杆（31），所述丝杠（30）的相对端壁上均设有从动锥轮（32），所述支撑架（22）上设有与从动锥轮（32）啮合的主动锥轮（33），所述主动锥轮（33）同轴设有转动杆（34）；
所述容纳槽（20）的内侧壁上且沿丝杠（30）的轴向设有滑槽（23），所述连接杆（31）远离丝杠（30）的一端伸入滑槽（23）内，所述连接杆（31）远离丝杠（30）的一端设有在滑槽（23）内滑移的滑块（35）。


3.根据权利要求2所述的应用于探针台的探针卡安装装置，其特征在于：所述容纳槽（20）的槽底壁上设有支撑板（24），所述支撑板（24）的侧壁上设有供连接杆（31）穿过的腰型孔（25）。


4.根据权利要求2所述的应用于探针台的探针卡安装装置，其特征在于：所述转动杆（34）远离主动锥轮（33）的一端设有把手（36）。

【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，徐志源，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32