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本申请涉及一种高效率检测晶圆的中测台，其包括探针台本体，探针台本体上开设有放置槽，放置槽内连接有同轴光装置，同轴光装置包括载具板和同轴光源，载具板上对应于同轴光源的位置开设有透光孔，放置槽内可拆卸连接有第一遮光罩，第一遮光罩的外侧壁与放置槽...
该专利属于无锡新微阳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡新微阳科技有限公司授权不得商用。

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