成膜装置、成膜方法及电子器件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供成膜装置、成膜方法及电子器件制造方法，成膜装置的特征在于，包括：容器；支承单元，支承被配置在所述容器内的被移动体；驱动机构，使所述支承单元在第1方向上移动；以及引导机构，对所述支承单元在所述第1方向上的移动进行引导，所述引导机构包括：多个轨道部，被设置成在所述第1方向上延伸；以及多个可移动部，相对于所述多个轨道部中的任一个能够在所述第1方向上移动地设置，且相对于所述支承单元，分别被设置成在所述第1方向上固定，所述多个可移动部中的至少两个可移动部相对于所述支承单元在第1方向上的设置位置不同。

Film forming device, film forming method and electronic device manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
成膜装置、成膜方法及电子器件制造方法
本专利技术涉及成膜装置、成膜方法及电子器件制造方法。
技术介绍
在有机EL显示装置(有机EL显示器)的制造中，在形成构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED)时，使从成膜装置的蒸镀源蒸发了的蒸镀材料隔着形成有像素图案的掩模蒸镀到基板上，由此形成有机物层或金属层。在向上蒸镀方式(向上淀积)的成膜装置中，蒸镀源设置于成膜装置的真空容器的下部，基板配置于真空容器的上部，向基板的下表面蒸镀。在这样的向上蒸镀方式的成膜装置的真空容器内，基板由基板保持架保持，但在蒸镀时，基板保持架为了使基板与掩模贴紧而朝向掩模下降，一旦蒸镀完成，基板保持架上升以使基板从掩模离开。这样的基板保持架的升降移动通过对基板保持架或连接有基板保持架的基板Z载置台施加Z轴方向的升降驱动力的升降驱动部(例如，马达和滚珠丝杠)和对基板保持架或基板Z载置台的升降进行引导的线性引导部而进行。例如，在专利文献1(日本特开2005-248249号公报)中，公开了在与基板保持架的升降轴连接的引导板被马达和滚珠丝杠升降驱动时，引导板被固定于成膜装置的上表面的导轨引导的结构。可是，随着有机EL显示装置的分辨率变高，要求进一步提高在基板升降时由线性引导件引导的基板保持架或基板Z载置台的姿势的稳定性。另外，在使用静电吸盘保持基板的结构中，要求进一步提高吸附基板的静电吸盘的姿势的稳定性等，要求提高在成膜装置内升降的被升降体升降时的姿势的稳定性。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种使被移动体移动时的被移动体的姿势的稳定性进一步提高的成膜装置、使用该成膜装置的成膜方法及电子器件制造方法。用于解决课题的技术方案本专利技术的第1方式的成膜装置的特征在于，该成膜装置包括：容器；支承单元，支承被配置在所述容器内的被移动体；驱动机构，使所述支承单元在第1方向上移动；以及引导机构，对所述支承单元在所述第1方向上的移动进行引导，所述引导机构包括：多个轨道部，被设置成在所述第1方向上延伸；以及多个可移动部，相对于所述多个轨道部中的任一个能够在所述第1方向上移动地设置，且相对于所述支承单元，分别被设置成在所述第1方向上固定，所述多个可移动部中的至少两个可移动部相对于所述支承单元在第1方向上的设置位置不同。本专利技术的第2方式的成膜方法是在基板上隔着掩模成膜蒸镀材料的成膜方法，其特征在于，使用本专利技术的第1方式的成膜装置进行成膜工序。本专利技术的第3方式的电子器件制造方法的特征在于，使用本专利技术的第2方式的成膜方法来制造电子器件。专利技术效果根据本专利技术，能够进一步提高使被移动体移动时的被移动体的姿势的稳定性。附图说明图1是有机EL显示装置的生产线的一部分的示意图。图2是本专利技术的实施例的成膜装置的示意图。图3是本专利技术的实施例的成膜装置的水平驱动机构及升降驱动机构的示意图。图4是表示本专利技术的一实施例的升降引导机构的结构的示意图。图5是表示本专利技术的另一实施例的升降引导机构的结构的示意图。图6是表示本专利技术的又一实施例的升降引导机构的结构的示意图。图7是有机EL显示装置的整体图及有机EL元件的剖视图。附图标记说明21：真空容器22：基板支承单元23：掩模支承单元24：静电吸盘30：对准载置台31：基板支承单元升降驱动机构32：静电吸盘升降驱动机构33：掩模支承单元升降驱动机构314：导轨315：导块317：柱具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的优选的实施方式以及实施例进行说明。但是，以下的实施方式及实施例仅是例示性地表示本专利技术的优选的结构，本专利技术的范围并不限定于这些结构。另外，以下的说明中的装置的硬件结构以及软件结构、处理流程、制造条件、尺寸、材质、形状等，只要没有特别地特定记载，本专利技术的范围就不仅限定于它们。本专利技术能够应用于使各种材料堆积在基板的表面而进行成膜的装置，能够优选应用于通过真空蒸镀形成所希望的图案的薄膜(材料层)的装置。作为基板的材料，能够选择玻璃、高分子材料的膜、金属等任意的材料，基板例如可以是在玻璃基板上层叠有聚酰亚胺等膜的基板。另外，作为蒸镀材料，也可以选择有机材料、金属性材料(金属、金属氧化物等)等任意的材料。另外，除了在以下的说明中说明的真空蒸镀装置以外，在包含溅射装置、CVD(ChemicalVaporDeposition：化学气相沉积)装置在内的成膜装置中，也能够应用本专利技术。本专利技术的技术具体可应用于有机电子器件(例如，有机发光元件、薄膜太阳能电池)、光学构件等的制造装置。其中，通过使蒸镀材料蒸发而隔着掩模蒸镀到基板上从而形成有机发光元件的有机发光元件的制造装置是本专利技术的优选应用例之一。[电子器件的制造装置]图1是示意性地表示电子器件的制造装置的一部分结构的俯视图。图1的制造装置例如用于智能手机用的有机EL显示装置的显示面板的制造。在智能手机用的显示面板的情况下，例如，在4.5代的基板(约700mm×约900mm)或6代的全尺寸(约1500mm×约1850mm)或半切割尺寸(约1500mm×约925mm)的基板上进行用于形成有机EL元件的成膜后，将该基板切下来制作成多个小尺寸的面板。电子器件的制造装置通常包括多个集群装置1和在集群装置之间连接的中继设备。群组装置1具备进行对基板S的处理(例如成膜)的多个成膜装置11、收纳使用前后的掩模M的多个掩模储存装置12、以及配置于其中央的搬送室13。如图1所示，搬送室13分别与多个成膜装置11以及掩模储存装置12连接。在搬送室13内配置有搬送基板S以及掩模M的搬送机器人14。搬送机器人14将基板S从配置于上游侧的中继装置的路径室15向成膜装置11搬送。另外，搬送机器人14在成膜装置11与掩模储存装置12之间搬送掩模M。搬送机器人14例如是在多关节臂上安装有保持基板S或掩模M的机器人手的结构的机器人。在成膜装置11(也称为蒸镀装置)中，收纳于蒸镀源的蒸镀材料被加热器加热而蒸发，隔着掩模被蒸镀到基板上。利用成膜装置11进行与搬送机器人14交接基板S/掩模M、基板S与掩模M的相对位置的调整(对准)、基板S向掩模M上的固定、成膜(蒸镀)等一连串成膜工艺。在掩模储存装置12中，将成膜装置11中的成膜工序所使用的新的掩模和使用完的掩模分开地收纳于两个盒。搬送机器人14将使用完的掩模从成膜装置11向掩模储存装置12的盒搬送，并将收纳于掩模储存装置12的其它的盒内的新的掩模向成膜装置11搬送。在集群装置1上连结有路径室15和缓冲室16，该路径室15在基板S的流动方向上将来自上游侧的基板S向该集群装置1传递，该缓冲室16用于将在该集群装置1中完成了成膜处理的基板S向下游侧的其它的集群装置传递。搬送室13的搬送机器人14从上游侧的路径室15接受基板S，并向该集群装置1内的成膜装置11之一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，其特征在于，/n该成膜装置包括：/n容器；/n支承单元，支承被配置在所述容器内的被移动体；/n驱动机构，使所述支承单元在第1方向上移动；以及/n引导机构，对所述支承单元在所述第1方向上的移动进行引导，/n所述引导机构包括：多个轨道部，被设置成在所述第1方向上延伸；以及多个可移动部，相对于所述多个轨道部中的任一个能够在所述第1方向上移动地设置，且相对于所述支承单元，分别被设置成在所述第1方向上固定，/n所述多个可移动部中的至少两个可移动部相对于所述支承单元在第1方向上的设置位置不同。/n

【技术特征摘要】
20181127 KR 10-2018-01490541.一种成膜装置，其特征在于，
该成膜装置包括：
容器；
支承单元，支承被配置在所述容器内的被移动体；
驱动机构，使所述支承单元在第1方向上移动；以及
引导机构，对所述支承单元在所述第1方向上的移动进行引导，
所述引导机构包括：多个轨道部，被设置成在所述第1方向上延伸；以及多个可移动部，相对于所述多个轨道部中的任一个能够在所述第1方向上移动地设置，且相对于所述支承单元，分别被设置成在所述第1方向上固定，
所述多个可移动部中的至少两个可移动部相对于所述支承单元在第1方向上的设置位置不同。


2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述至少两个可移动部中的第1可移动部被设置成，被固定在与第2可移动部相比在所述第1方向上远离所述支承单元的位置。


3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，
所述第1可移动部被设置成，所述第1可移动部的所述第1方向上的中心与所述第2可移动部的所述第1方向上的中心相比在所述第1方向上远离所述支承单元。


4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
设置所述至少两个可移动部的至少两个轨道部在与所述第1方向交叉的第2方向上隔开规定的距离地设置。


5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，
所述至少两个可移动部设置于所述至少两个轨道部的设置面与所述第2方向垂直。


6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，
所述至少两个可移动部设置于所述至少两个轨道部的设置面的至少一部分相向。


7.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述至少两个可移动部包括第1可移动部和在与所述第1方向交叉的第2方向上与所述第1可移动部隔开规定距离地设置的第2可移动部，
所述第1可移动部和所述第2可移动部相对于所述支承单元在所述第1方向上的设置位置互不相同。


8.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，
所述多个轨道部包括：第1轨道部，被设置成能够供所述第1可移动部移动；以及第2轨道部，被设置成能够供所述第2可移动部移动，
所述第1可移动部设置于所述第1轨道部的第1设置面与所述第2可移动部设置于所述第2轨道部的第2设置面的至少一部分相向。


9.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，
所述至少两个可移动部还包括：第3可移动部，在与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上与所述第1可移动部隔开地设置；以及第4可移动部，设置于在所述第3方向上与所述第2可移动部隔开且在所述第2方向上与所述第3可移动部隔开的位置，
所述第1可移动部和所述第3可移动部相对于所述支承单元在所述第1方向上的设置位置不同，
所述第4可移动部与所述第2可移动部及所述第3可移动部相对于所述支承单元在所述第1方向上的设置位置不同。


10.根据权利要求9所述的成膜装置，其特征在于，
所述多个轨道部包括：第1轨道部，被设置成能够供所述第1可移动部移动；第2轨道部，被设置成能够供所述第2可移动部移动；第3轨道部，被设置成能够供所述第3可移动部移动；以及第4轨道部，被设置成能够供所述第4可移动部移动，
所述第1可移动部设置于所述第1轨道部的第1设置面与所述第2可移动部设置于所述第2轨道部的第2设置面的至少一部分相向，
所述第3可移动部设置于所述第3轨道部的第3设置面与所述第4可移动部设置于所述第4轨道部的第4设置面的至少一部分相向。


11.根据权利要求10所述的成膜装置，其特征在于，
所述第1设置面与所述第3设置面位于实质上相同的平面上，
所述第4设置面与所述第2设置面位于实质上相同的平面上。


12.根据权利要求9所述的成膜装置，其特征在于，
所述多个轨道部包括：第1轨道部，被设置成能够供所述第1可移动部移动；第2轨道部，被设置成能够供所述第2可移动部移动；第3轨道部，被设置成能够供所述第3可移动部移动；以及第4轨道部，被设置成能够供所述第4可移动部移动，
所述第1可移动部设置于所述第1轨道部的第1设置面与所述第4可移动部设置于所述第4轨道部的第4设置面实质上平行，
所述第2可移动部设置于所述第2轨道部的第2设置面与所述第3可移动部设置于所述第3轨道部的第3设置面实质上平行。

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【专利技术属性】
技术研发人员：土田隆，相泽雄树，阪上裕介，北上悟，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP