一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；本实用新型专利技术的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，陶瓷基材外部装载后送入到真空舱室内进行圆周运转镀膜，镀膜装载简单，转向和转动频率可选择独立的链条驱动盘进行控制。

A ceramic vacuum copper plating power base material placing frame

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架
本技术涉及一种陶瓷镀铜预处理设备，具体涉及一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，属于真空镀膜

技术介绍
真空镀膜是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程；它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能；PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）；真空蒸发镀膜一般应用于纯度极高的膜、绝缘物的蒸镀和高熔点物质的蒸镀，其是在真空情况下，将所要蒸镀的材料利用加热设备加热到融化温度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜方式；基材镀膜时，先需要将基材装载到基材架上，然后关闭舱门并将真空度和温度控制到预设值时，才能进行后续镀膜操作，现有的真空镀膜往往针对柔性片材，如中国专利申请号：201410759054.6，公开了一种镀铜薄膜的生产工艺，能够在塑料薄膜层上单面或双面镀铜膜，镀层厚度为0.1~1微米，镀铜薄膜的生产工艺包括铜块的融化和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，其特征在于：所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；所述驱动链盘和从动链盘通过环形链条形成一闭环；所述从动链盘两端分别安装到封板和圆盘其轴承上；所述驱动链盘和从动链盘靠近封板一端的所述驱动轴延伸出封板；顶部的所述驱动链盘与动力机构安装。...

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，其特征在于：所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；所述驱动链盘和从动链盘通过环形链条形成一闭环；所述从动链盘两端分别安装到封板和圆盘其轴承上；所述驱动链盘和从动链盘靠近封板一端的所述驱动轴延伸出封板；顶部的所述驱动链盘与动力机构安装。


2.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述动力机构包括驱动电机，及与驱动电机安装的减速箱；所述减速箱输出端与底部的所述驱动链盘通过联轴器安装。


3.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述外仓和密封板正对开设有至少两密封环；所述外仓和密封板于两密封环之间正对开设有至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔利杰，宋述兵，杨会生，庞晓露，王瑞俊，郑宝林，
申请(专利权)人：山东司莱美克新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37