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本发明提供成膜装置、成膜方法及电子器件制造方法，成膜装置的特征在于，包括：容器；支承单元，支承被配置在所述容器内的被移动体；驱动机构，使所述支承单元在第1方向上移动；以及引导机构，对所述支承单元在所述第1方向上的移动进行引导，所述引导机构包...
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