本发明专利技术涉及工件保持装置、对准装置以及成膜装置。在支承工件的结构中，变形更少。工件保持装置具备：第一支承单元，所述第一支承单元对工件进行支承；以及第二支承单元，所述第二支承单元悬挂所述第一支承单元而进行支承，其中，所述第一支承单元具备：沿第一方向延伸设置的第一基座部件及第二基座部件；沿着所述第一方向设置于各基座部件，并支承所述工件的周缘部的多个第一支承部及第二支承部；以及将所述第一基座部件和第二基座部件连接的连接部件。所述连接部件在与在所述第一方向上位于端部的支承部相比靠近所述第二支承单元的支承轴的部位与所述基座部件连接。轴的部位与所述基座部件连接。轴的部位与所述基座部件连接。
【技术实现步骤摘要】
工件保持装置、对准装置以及成膜装置
[0001]本专利技术涉及工件保持装置、对准装置以及成膜装置。
技术介绍
[0002]若工件大型化，则可能需要考虑支承工件的支承结构侧的载荷的负担。例如，为了实现有机EL显示器的大面积化、生产效率提高，要求使用大尺寸的基板进行成膜。通常，在制造有机EL显示器时，大多使用玻璃、树脂等薄板作为基板，若基板的尺寸变大，则将基板保持为水平时的挠曲变大，有时将基板保持于载体进行输送。在专利文献1、专利文献2中公开了支承基板的结构。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：韩国公开专利第10
‑
2018
‑
0067031号公报
[0006]专利文献2：日本特开2005
‑
248249号公报
技术实现思路
[0007]专利技术要解决的课题
[0008]由于基板的大型化、高重量化，对其进行支承的支承结构受到反作用力而可能产生变形。如有机EL显示器的制造那样，在将基板与掩模对准之后，经由掩模在基板上成膜规定的图案的领域中，支承结构的变形成为对准精度降低的主要原因。
[0009]本专利技术提供一种在支承工件的结构中变形更少的结构。
[0010]用于解决课题的方案
[0011]根据本专利技术，提供一种工件保持装置，该工件保持装置具备：
[0012]第一支承单元，所述第一支承单元对工件进行支承；以及
[0013]第二支承单元，所述第二支承单元悬挂所述第一支承单元而进行支承，
[0014]所述工件保持装置的特征在于，
[0015]所述第一支承单元具备：
[0016]第一基座部件，所述第一基座部件沿第一方向延伸设置；
[0017]第二基座部件，所述第二基座部件沿所述第一方向延伸设置，并且在与所述第一方向交叉的第二方向上从所述第一基座部件分离；
[0018]多个第一支承部，所述多个第一支承部沿着所述第一方向设置于所述第一基座部件，对所述工件的周缘部进行支承；
[0019]多个第二支承部，所述多个第二支承部沿着所述第一方向设置于所述第二基座部件，对所述工件的周缘部进行支承；以及
[0020]连接部件，所述连接部件沿所述第二方向延伸设置，将所述第一基座部件和所述第二基座部件连接，
[0021]所述第二支承单元具备：
[0022]第一支承轴，所述第一支承轴悬挂所述第一基座部件；以及
[0023]第二支承轴，所述第二支承轴悬挂所述第二基座部件，
[0024]所述连接部件在与所述多个第一支承部中的在所述第一方向上位于端部的第一支承部相比靠近所述第一支承轴的部位与所述第一基座部件连接，所述连接部件在与所述多个第二支承部中的在所述第一方向上位于端部的第二支承部相比靠近所述第二支承轴的部位与所述第二基座部件连接。
[0025]另外，根据本专利技术，提供一种对准装置，该对准装置具备：
[0026]载体支承单元，所述载体支承单元对保持基板的载体进行支承；
[0027]掩模支承构件，所述掩模支承构件对掩模进行支承；
[0028]升降单元，所述升降单元在所述掩模的上方悬挂所述载体支承单元而进行支承，使该载体支承单元相对于所述掩模升降；
[0029]测量构件，所述测量构件测量所述基板与所述掩模的位置偏移量；以及
[0030]位置调整构件，所述位置调整构件调整所述基板与所述掩模的相对位置，
[0031]所述对准装置的特征在于，
[0032]所述载体支承单元具备：
[0033]第一基座部件，所述第一基座部件沿第一水平方向延伸设置；
[0034]第二基座部件，所述第二基座部件沿所述第一水平方向延伸设置，并且在与所述第一水平方向交叉的第二水平方向上从所述第一基座部件分离；
[0035]多个第一支承部，所述多个第一支承部沿着所述第一水平方向设置于所述第一基座部件，对所述载体的周缘部进行支承；
[0036]多个第二支承部，所述多个第二支承部沿着所述第一水平方向设置于所述第二基座部件，对所述载体的周缘部进行支承；以及
[0037]多个连接部件，所述多个连接部件在所述第一水平方向上分离地设置，沿所述第二水平方向延伸设置，并将所述第一基座部件和所述第二基座部件连接，
[0038]所述升降单元具备：
[0039]多个第一支承轴，所述多个第一支承轴在所述第一水平方向上分离地配置，并悬挂所述第一基座部件；以及
[0040]多个第二支承轴，所述多个第二支承轴在所述第一水平方向上分离地配置，并悬挂所述第二基座部件，
[0041]所述多个第一支承轴以及所述多个连接部件位于比所述多个第一支承部中的在所述第一水平方向上处于两端部的第一支承部靠中央侧的位置，
[0042]所述多个第二支承轴以及所述多个连接部件位于比所述多个第二支承部中的在所述第一水平方向上处于两端部的第二支承部靠中央侧的位置。
[0043]另外，根据本专利技术，提供一种成膜装置，该成膜装置的特征在于，具备：
[0044]所述对准装置；以及
[0045]经由掩模向基板放出蒸镀物质的蒸镀构件。
[0046]专利技术效果
[0047]根据本专利技术，能够提供一种在支承工件的结构中变形更少的结构。
附图说明
[0048]图1是本专利技术一实施方式的成膜装置的概略图。
[0049]图2是图1的成膜装置的侧视图。
[0050]图3是图1的成膜装置的局部的立体图。
[0051]图4是图1的成膜装置的局部的立体图。
[0052]图5是表示对位时的保持有基板的载体的支承形态以及掩模的支承形态的图。
[0053]图6是图5的局部放大图。
[0054]图7是支承单元的俯视图。
[0055]图8是比较例的说明图。
[0056]图9(A)以及(B)是图1的成膜装置的动作说明图。
[0057]图10(A)是有机EL显示装置的整体图，(B)是表示一个像素的截面结构的图。
[0058]附图标记说明
[0059]1成膜装置、3载体支承单元、6支承单元(升降单元)、30基座部件、31支承部、34连接部件、61支承轴
具体实施方式
[0060]以下，参照附图对实施方式进行详细说明。另外，以下的实施方式并不限定权利要求书所涉及的专利技术。在实施方式中记载有多个特征，但这些多个特征全部并不限于专利技术所必须的特征，另外，多个特征也可以任意地组合。并且，在附图中，对相同或同样的结构标注相同的附图标记，省略重复的说明。
[0061]<成膜装置的概要>
[0062]图1是本专利技术一实施方式的成膜装置1的概略图(主视图)。图2是成膜装置1的侧视图。图3以及图4是表示成膜装置1的局部结构的立体图，图4是局部剖视图。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种工件保持装置，所述工件保持装置具备：第一支承单元，所述第一支承单元对工件进行支承；以及第二支承单元，所述第二支承单元悬挂所述第一支承单元而进行支承，所述工件保持装置的特征在于，所述第一支承单元具备：第一基座部件，所述第一基座部件沿第一方向延伸设置；第二基座部件，所述第二基座部件沿所述第一方向延伸设置，并且在与所述第一方向交叉的第二方向上从所述第一基座部件分离；多个第一支承部，所述多个第一支承部沿着所述第一方向设置于所述第一基座部件，对所述工件的周缘部进行支承；多个第二支承部，所述多个第二支承部沿着所述第一方向设置于所述第二基座部件，对所述工件的周缘部进行支承；以及连接部件，所述连接部件沿所述第二方向延伸设置，将所述第一基座部件和所述第二基座部件连接，所述第二支承单元具备：第一支承轴，所述第一支承轴悬挂所述第一基座部件；以及第二支承轴，所述第二支承轴悬挂所述第二基座部件，所述连接部件在与所述多个第一支承部中的在所述第一方向上位于端部的第一支承部相比靠近所述第一支承轴的部位与所述第一基座部件连接，所述连接部件在与所述多个第二支承部中的在所述第一方向上位于端部的第二支承部相比靠近所述第二支承轴的部位与所述第二基座部件连接。2.如权利要求1所述的工件保持装置，其特征在于，所述第二支承单元具备：第一升降构件，所述第一升降构件使所述第一支承轴升降；以及第二升降构件，所述第二升降构件与所述第一升降构件独立地被驱动，使所述第二支承轴升降。3.如权利要求2所述的工件保持装置，其特征在于，所述工件保持装置具备：第一传感器，所述第一传感器检测所述第一支承轴的升降位置；第二传感器，所述第二传感器检测所述第二支承轴的升降位置；以及控制构件，所述控制构件基于所述第一传感器的检测结果来控制所述第一升降构件，并基于所述第二传感器的检测结果来控制所述第二升降构件。4.如权利要求1所述的工件保持装置，其特征在于，所述连接部件能够绕所述第一方向的轴转动地与所述第一基座部件连接，并且，能够绕所述第一方向的轴转动地与所述第二基座部件连接。5.如权利要求1所述的工件保持装置，其特征在于，所述第二支承单元具备：在所述第一方向上分离的两个所述第一支承轴；以及在所述第一方向上分离的两个所述第二支承轴，
所述第一基座部件具备：分别连接两个所述第一支承轴的两个第一主体部；以及所述两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木健太郎，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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