泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法制造方法及图纸

本揭露的实施例提供一种泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。用于检测液体供应管的泄漏的系统包括：管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部处从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。

Leak detection system, integrated device and leak detection method

【技术实现步骤摘要】
泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法
本揭露涉及泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。
技术介绍
在集成电路(integratedcircuit；Ic)制造的背景下，半导体晶元经历包括分配光阻剂至半导体晶元上的多个制程。对于分配，光阻剂经由液体供应管供应至喷嘴，并且随后经由喷嘴的排放口分配。液体供应管具有双管结构，该双管结构具有内管及围绕该内管的外管。光阻剂在内管中流动，并且例如水的温度控制流体在内管与外管之间的空间中流动。在一些实施例中，外管包括柔性塑胶材料。
技术实现思路
依据本揭露的部分实施例，提供一种泄漏检测系统，用于检测液体供应管的泄漏。泄漏检测系统包括管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。依据本揭露的部分实施例，提供一种整合装置。整合装置包括：涂布装置，具有用以将处理液体分配至基板表面上的喷嘴；液体供应管，耦接至该喷嘴并且用以供应处理液体至该喷嘴；及喷嘴移动装置，用以将喷嘴从待机位置移动至分配位置，在该分配位置处发生处理液体至基板表面上的分配。喷嘴移动装置包括喷嘴臂、支撑构件，及引导构件。喷嘴臂经耦接至喷嘴臂的第一端。与第一端相对的喷嘴臂的第二端经安装在支撑构件的上部上。引导构件用以引导支撑构件从待机位置至分配位置的移动。整合装置进一步包括泄漏检测系统，用以自动地检测液体供应管的泄漏。泄漏检测系统包括管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；液体吸收纸，插入于管套与液体供应管的端部之间；及感测器系统，在支撑构件的侧壁上并且用以检测液体供应管的泄漏。依据本揭露的部分实施例，提供一种泄漏检测方法，用于检测液体供应管的泄漏。泄漏检测方法包括将喷嘴从待机位置移动至分配位置。喷嘴连接至液体供应管并且用以分配处理液体至基板表面，与喷嘴相邻的液体供应管的端部是用管套覆盖。泄漏检测方法进一步包括当喷嘴从待机位置移动至分配位置时以光束照亮液体供应管的端部。泄漏检测方法进一步包括量测由液体供应管的端部折射的光束的强度。附图说明本揭露的各态样当与附图一起阅读时将从以下实施方式中最佳地理解。应注意，根据行业中的标准实践，各个特征并未按比例绘制。实际上，为了论述清晰起见，各个特征的尺寸可以任意地增加或减小。图1A为根据一些实施例的涂布装置的示意图；图1B为根据一些实施例的涂布装置的横截面图；图2为根据一些实施例的涂布装置中的液体供应管的一部分的示图；图3为根据一些实施例的用于自动地检测液体供应管的泄漏的泄漏检测系统的示图；图4为根据一些实施例的用于自动地检测液体供应管的泄漏的方法的流程图；图5为用于控制泄漏检测系统的操作的控制单元的方块图。【符号说明】100涂布装置102处理腔室102a开口104基板110旋转夹盘112顶表面114轴120排水杯122过量处理液体130液体分配系统132喷嘴132a喷嘴134液体供应管134A内管134B外管134E端部136喷嘴保持器138固定元件140喷嘴备用单元142端口150喷嘴移动装置152喷嘴臂154支撑构件156引导构件300泄漏检测系统310管套320液体吸收纸330感测器系统331光332光源333光334光检测器400方法402操作404操作406操作408操作410操作412操作414操作500控制单元501通信链路502硬件处理器504非暂态计算机可读取储存媒体506计算机程序指令508总线510I/O接口512网络接口514网络516感测器参数518阈值强度值具体实施方式以下揭示内容提供了用于实施所提供的标的的不同特征的许多不同实施例，或实例。下文描述了元件、值、操作、材料和布置等等的特定实例以简化本揭露。当然，该等实例仅为实例且并不意欲作为限制。可以预期其他元件、值、操作、材料、布置等等。例如，在以下描述中的第一特征在第二特征之上或上方的形式可包括其中第一特征与第二特征直接接触形成的实施例，且亦可包括其中可在第一特征与第二特征之间形成额外特征，以使得第一特征与第二特征可不直接接触的实施例。另外，本揭露可在各种实例中重复元件符号及/或字母。此重复是用于简化及清晰的目的，且其本身不指定所论述的各种实施例及/或配置之间的关系。此外，诸如“在……下方”、“在……之下”、“下部”、“在……之上”、“上部”等等空间相对术语可在本揭露的实施例中为了便于描述的目的而使用，以描述如附图中所示的一个元件或特征与另一元件或特征的关系。空间相对术语意欲涵盖除了附图中所示的定向之外的在使用或操作中的装置的不同定向。装置可经其他方式定向(旋转90度或以其他定向)并且本揭露的实施例所使用的空间相对描述词可同样相应地解释。喷嘴意欲在分配位置处供应光阻剂至半导体晶元上，该分配位置在由涂布单元中的旋转夹盘所支撑的半导体晶元之上。在光阻剂分配制程之前，喷嘴位于待机位置。在半导体晶元位于旋转夹盘上并且例如通过真空固定至旋转夹盘之后，喷嘴由喷嘴移动设备的喷嘴臂夹紧。喷嘴臂将喷嘴连同连接至喷嘴的液体供应管一起拉出待机位置，并且移动喷嘴至分配位置。在光阻剂经由喷嘴分配至半导体晶元上之后，喷嘴通过喷嘴移动装置移动回至待机位置。当喷嘴置放在分配位置处时，紧邻喷嘴的液体供应管的端部弯曲。在待机位置与分配位置之间来回的喷嘴重复拉伸损坏液体供应管的外管，并且最终导致在端部处的液体供应管的外管的破裂。从破裂的外管泄漏的温度控制流体趋于飞溅至被处理的半导体晶元的表面上，导致形成于半导体晶元上的半导体元件的缺陷。在一些方法中，液体供应管的泄漏能够仅在测试了一批半导体晶元并且在半导体晶元上发现了缺陷之后才被发现。此时，许多半导体晶元已被处理有缺陷。因此，产量受到不利影响。执行定期手动检查以检查管道破裂是费力且耗时的。在一些实施例中，提供一种用于自动检测供应处理液体至涂布装置中的喷嘴的液体供应管的泄漏的泄漏检测系统。当喷嘴在待机位置处由喷嘴臂抓取，随后从待机位置移动至分配位置，且最终在分配位置处停止以分配液体时，泄漏检测系统能够检测在整个喷嘴输送过程中的液体供应管的泄漏。为了实现自动泄漏检测，相邻于喷嘴并且由管套包围的液体供应管的端部由一光源照亮。当液体供应管的端部归因于重复拉伸而破损时，从液体供应管中泄漏出的液体经封闭于管套与液体供应管的端部之间。因为在液体供应管的端部与管套之间的液体具有大于当在该端部与管套之间无液体时的空气的折射率，所以由液体供应管的端部所折射的光的密度随着液体供应管开始泄本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泄漏检测系统，用于检测一液体供应管的泄漏，其特征在于，包含：/n一管套，用于包围与一喷嘴相邻的该液体供应管的一端部；以及/n一感测器系统，用以检测在该端部处从该液体供应管泄漏的一液体的存在，其中该感测器系统与该液体供应管的该端部对准。/n

【技术特征摘要】
20180831 US 62/725,544;20190717 US 16/514,1551.一种泄漏检测系统，用于检测一液体供应管的泄漏，其特征在于，包含：
一管套，用于包围与一喷嘴相邻的该液体供应管的一端部；以及
一感测器系统，用以检测在该端部处从该液体供应管泄漏的一液体的存在，其中该感测器系统与该液体供应管的该端部对准。


2.根据权利要求1所述的泄漏检测系统，其特征在于，进一步包含一液体吸收纸，该液体吸收纸插入于该管套与该液体供应管的该端部之间。


3.根据权利要求1所述的泄漏检测系统，其特征在于，该感测器系统包括：一光源，用以发射光至该液体供应管的该端部；及一光检测器，用以检测由该液体供应管的该端部折射的光。


4.一种整合装置，其特征在于，包含：
一涂布装置，包含：
一喷嘴，用以分配一处理液体至一基板的一表面上；
一液体供应管，耦接至该喷嘴并且用以供应该处理液体至该喷嘴；以及
一喷嘴移动装置，用以将该喷嘴从一待机位置移动至一分配位置，在该分配位置处发生该处理液体至该基板的该表面上的分配，其中该喷嘴移动装置包含：
一喷嘴臂，其中该喷嘴经耦接至该喷嘴臂的一第一端；
一支撑构件，其中与该第一端相对的该喷嘴臂的一第二端经安装在该支撑构件的一上部上；以及
一引导构件，其中该引导构件用以引导该支撑构件从该待机位置至该分配位置的移动；以及
一泄漏检测系统，用以自动地检测该液体...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈裕凯，方进坤，高克斌，吴立仁，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71