设备前端装置及其操作方法制造方法及图纸

一种设备前端装置及其操作方法。具有前开式通用容器底座和机台接取端口的设备前端模组包括机器人晶圆搬运系统。机器人晶圆搬运系统配置以在耦接前开式通用容器底座的前开式通用容器与定位以经由机台接取端口来接取的处理机台之间转移硅晶圆。设备前端模组内部的空气幕系统定位以在端口开启时产生经过机台接取端口的空气幕，用于将设备前端模组内部与机台环境隔离，并防止气载污染物经由接取端口进入设备前端模组。

Equipment front end device and operation method

【技术实现步骤摘要】
设备前端装置及其操作方法
本揭露实施例关于一种设备前端装置及其操作方法。
技术介绍
在半导体工业中，制造中所涉及的制程通常分为两个部分：前端与后端。前端制程是涉及在半导体晶圆上形成电子及/或机械元件的制程。一旦完成这些制程，就将晶圆切成晶片或“晶粒(dice)”。后端制程是针对封装各个晶片，以便可以将它们电性与实体耦接到将使用它们的系统。在前端操作期间，必须将晶圆从一个处理机器或“机台”转移到另一者，同时不断地保护晶圆免于可能干扰各种制程或损坏正在形成的元件的物质的污染。必须防止的物质包括灰尘和其他微粒碎片、体液等液体，在许多例子中甚至是空气，因为氧气可以在各个制造阶段对可能存在和暴露在晶圆表面上的材料产生影响。因此，已经开发容器、储存和运输系统以及相关标准，以便能够有效地搬运半导体晶圆，同时提供必要的防污染保护。这些元件统称为自动物料搬运系统(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)。当前使用的典型自动材料搬运系统的标准部件是前开式通用容器(FrontOpeningUnifiedPod，FOUP)，其是设计用于在密封环境中容纳一定量半导体晶圆以在各种机台之间运输的专用容器，并且具有垂直面，即前面，上的盖件，其符合“前开式接口机械标准(Front-openingInterfaceMechanicalStandard，FIMS)”。符合前开式接口机械标准让任何制造商生产的前开式通用容器都可以由任何其他制造商生产的自动化系统开启和闭合。
技术实现思路
依据本揭露实施例，一种设备前端装置包含壳体、阻挡件以及空气幕系统。壳体相对于其周围环境提供隔离环境，并包含在壳体的内部与壳体的外部之间延伸的第一接取端口。机台接取面板配置以在闭合位置与开启位置之间移动，第一接取端口在闭合位置闭合，第一接取端口在开启位置开启。空气幕系统包含气体源室、排放喷嘴、气体收集室以及进气孔。排放喷嘴与气体源室流体连通，并定位以导流排出经过第一接取端口的空气幕，排放喷嘴延伸第一接取端口的第一侧的长度。进气孔与气体收集室流体连通，并定位以接收由排放喷嘴排出的空气幕，进气孔延伸第一接取端口的第二侧的长度，第一接取端口的第二侧位于第一接取端口的与第一侧相对的一侧上。依据本揭露实施例，一种设备前端装置包含设备前端模组，设备前端模组包含前开式通用容器底座、机台接取端口、机台接取面板、机器人材料搬运系统以及空气幕系统。前开式通用容器底座具有前开式通用容器接取端口，前开式通用容器底座配置以接收前开式通用容器并且将前开式通用容器与前开式通用容器接取端口密封接合。机台接取端口配置以提供从设备前端模组的内部到于机台接取端口处耦接设备前端模组的处理机台的接取。机台接取面板可在闭合位置与开启位置之间移动，机台接取面板在闭合位置覆盖机台接取端口，机台接取端口的至少一部分在开启位置未被覆盖。机器人材料搬运系统配置以在前开式通用容器接取端口与机台接取端口之间传送复数个制品。空气幕系统配置以产生空气幕，空气幕延伸经过机台接取端口，并且位于设备前端模组的内部与设备前端模组外部的环境之间。依据本揭露实施例，一种设备前端装置的操作方法包含接收命令以在停靠在设备前端模组的第一接取端口处的前开式通用容器与在第二接取端口处耦接设备前端模组的机台之间传送制品；产生空气幕经过第一接取端口与第二接取端口的至少之一者且在设备前端模组之内；在产生空气幕之后，开启所产生的空气幕所经过的第一接取端口或第二接取端口；使制品经过所开启的第一接取端口或第二接取端口与空气幕；在使制品经过所开启的第一接取端口或第二接取端口与空气幕之后，关闭所开启的第一接取端口或第二接取端口；以及在关闭所开启的第一接取端口或第二接取端口之后，停止产生空气幕。附图说明当结合附图阅读时，从以下详细描述中可对本揭露的各方面有更佳的了解。应注意，根据工业中的标准实务，各种特征并未按比例绘制。实际上，为了清楚讨论，可以任意增加或减少各种特征的尺寸。图1是根据实施例的设备前端模组的透视图；图2是根据实施例的图1的设备前端模组的侧剖面示意图；图3是图2的设备前端模组的视图，显示操作期间的设备前端模组；图4是根据实施例的图1的设备前端模组的平面剖面示意图，其具有接合于其中一前开式通用容器底座的前开式通用容器；图5是绘示根据一些实施例的缺陷识别系统的方块图；图6是根据另一实施例的设备前端模组的平面剖面示意图；图7是绘示根据实施例的操作方法的流程图；图8是图2的设备前端模组的视图，其不具有风扇/过滤单元并显示在操作期间的设备前端模组。【符号说明】100、240：设备前端模组102：主壳体104：前开式通用容器底座106：前开式通用容器110：前开式通用容器接取控制系统112：机台接口机构114：机器人晶圆搬运系统116：通风系统118：控制系统120：前开式通用容器接收平台122：前开式通用容器接合机构124：前开式通用容器接取端口126：前开式通用容器接取端口闭合件128：半导体晶圆/晶圆130：底座接合特征132：前面134：前开式通用容器接取端口闭合件位移机构/位移机构136：前开式通用容器阻挡件/门140：机台接取端口142：机台接取面板144：接取面板致动机构150：横向导轨152：晶圆传送机构154：升降机构156：机器人臂158：末端执行器170：壳体通风系统172、242a、242b、242c：空气幕系统174：供气室176：抽气室178、206：风扇/过滤单元180：抽气扇单元/抽气扇181：内部182、196：再循环管道184：鼓风机/过滤器186、186a、186b、186c：气体源室/高压室188：排放喷嘴190、246a、246b、246c：气体收集室/低压室190a、190b、190c：低压室192：进气孔194：真空鼓风机195：内壁200：控制器201：感测器202：控制连接204：气流208：空气流/空气210：圆柱形壳体212：空气/气流214、242、244：空气幕216：移动空气220：控制器模组222：缺陷识别子模组224：缺陷数据库226、228：通讯网络230：训练数据248：单元250：流程图252～278：步骤具体实施方式在许多附图中，用后接字母的参考符号来指定元件，例如“218a、218b”。在这种例子中，如果在对应描述中参照或区分许多其他类似或相同元件中的特定元件是可能有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含：/n一壳体，相对于该壳体周围环境提供一隔离环境，并包含在该壳体的一内部与该壳体的一外部之间延伸的一第一接取端口；/n一阻挡件，配置以在一闭合位置与一开启位置之间移动，该第一接取端口在该闭合位置闭合，该第一接取端口在该开启位置开启；/n一空气幕系统，包含：/n一气体源室；/n一排放喷嘴，与该气体源室流体连通，并定位以导流排出经过该第一接取端口的一空气幕，该排放喷嘴延伸该第一接取端口的一第一侧的一长度；/n一气体收集室；以及/n一进气孔，与该气体收集室流体连通，并定位以接收由该排放喷嘴排出的该空气幕，该进气孔延伸该第一接取端口的一第二侧的一长度，该第一接取端口的该第二侧位于该第一接取端口的与该第一侧相对的一侧上。/n

【技术特征摘要】
20180830 US 62/724,938;20190821 US 16/547,3011.一种设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含：
一壳体，相对于该壳体周围环境提供一隔离环境，并包含在该壳体的一内部与该壳体的一外部之间延伸的一第一接取端口；
一阻挡件，配置以在一闭合位置与一开启位置之间移动，该第一接取端口在该闭合位置闭合，该第一接取端口在该开启位置开启；
一空气幕系统，包含：
一气体源室；
一排放喷嘴，与该气体源室流体连通，并定位以导流排出经过该第一接取端口的一空气幕，该排放喷嘴延伸该第一接取端口的一第一侧的一长度；
一气体收集室；以及
一进气孔，与该气体收集室流体连通，并定位以接收由该排放喷嘴排出的该空气幕，该进气孔延伸该第一接取端口的一第二侧的一长度，该第一接取端口的该第二侧位于该第一接取端口的与该第一侧相对的一侧上。


2.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该壳体包含在该壳体的该内部与该壳体的该外部之间延伸的一第二接取端口。


3.根据权利要求2所述的设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含一前开式通用容器底座，位于该壳体的该外部并包括该第二接取端口，该前开式通用容器底座配置以在该第二接取端口上接收一前开式通用容器并且将该前开式通用容器与该壳体密封地接合。


4.根据权利要求3所述的设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含一机器人搬运系统，定位在该壳体内且配置以经由该第二接取端口与经由该第一接取端口而在该前开式通用容器与一处理机台之间传送复数个制品。


5.一种设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含：
一设备前端模组，包含：
一前开式通用容器底座，具有一前开式通用容器接取端口，该前开式通用容器底座配置以接收一前开式通用容器并且将该前开式通用容器与该前开式通用容器接取端口密封接合；
一机台接取端口，配置以提供从该设备前端模组的一内部到于该机台接取端口处耦接该设备前端模组的一处理机台的接取；
一机台接取面板，该机台接取面板可在一闭合位置与一开启位置之间移动，该机台接取面板在该...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱志强，刘定一，吕育颖，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71