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本揭露的实施例提供一种泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。用于检测液体供应管的泄漏的系统包括：管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部处从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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