【技术实现步骤摘要】
本技术实施例涉及一种运输系统中的设备及运输系统。
技术介绍
1、制造半导体装置涉及到使用各种高科技生产工具及计量工具以一定次序且常常在一定时间段内实行一系列制程步骤。在晶圆制作设施(wafer fabrication facility)或「制作厂(fab)」中，晶圆物流系统(wafer logistics system)的主要功能是在正确的时间将晶圆递送至每一工具，以及在整个制程中追踪晶圆的位置及状态。在晶圆制作厂中实施自动化材料搬运系统(「automated material handling system，amhs」)，以相较于藉由人工方式而言更高效、更一致及更安全地施行自动化功能。
2、amhs包括高架运输(「overhead transport，oht」)系统，oht系统包括装设于制作厂楼层的天花板的轨道。oht运载工具可沿轨道行进以在不同工具的不同装载埠之间运输晶圆。由于oht系统的轨道是固定的，因此除非oht运载工具可传送至不同的轨道，否则oht运载工具的路线及行进方向亦是固定的。因此，尽管现有的oht系统一般已经足以满足预期目的，然而并非在所有方面皆完全令人满意。
技术实现思路
1、本技术的一态样提供一种运输系统中的设备，所述运输系统中的设备包括吊架特征，所述吊架特征被配置成悬挂于天花板。所述运输系统中的设备亦包括板状结构，所述板状结构具有顶表面及底表面，所述顶表面可旋转地耦接至所述吊架特征。所述运输系统中的设备亦包括至少一对轨道构件，所述至少一对轨道构件
2、本技术的另一态样提供一种运输系统，所述运输系统包括第一固定轨道段以及第二固定轨道段，所述第二固定轨道段沿第一方向与所述第一固定轨道段对齐。所述运输系统亦包括可旋转轨道接头，所述可旋转轨道接头沿所述第一方向设置于所述第一固定轨道段与所述第二固定轨道段之间。所述运输系统亦包括吊架，所述吊架机械地耦接至所述可旋转轨道接头。所述运输系统亦包括动力旋转机构，所述动力旋转机构容纳于所述吊架中，其中所述可旋转轨道接头包括至少一个旋转轨道，当所述可旋转轨道接头旋转至对齐位置时，所述至少一个旋转轨道与所述第一固定轨道段及所述第二固定轨道段对齐，且当所述可旋转轨道接头旋转出所述对齐位置时，所述至少一个旋转轨道不与所述第一固定轨道段及所述第二固定轨道段对齐。
3、本技术的又一态样提供一种运输系统的使用方法，所述方法包括分析运输系统的交通型样，所述运输系统包括：第一固定轨道段、第二固定轨道段、第三固定轨道段、第四固定轨道段、可旋转轨道接头以及多个运载工具，所述可旋转轨道接头沿第一方向设置于所述第一固定轨道段与所述第二固定轨道段之间以及沿不同于所述第一方向的第二方向设置于所述第三固定轨道段与所述第四固定轨道段之间。所述可旋转轨道接头包括旋转轨道。所述多个运载工具中的每一者被配置成在所述第一固定轨道段、所述第二固定轨道段、所述第三固定轨道段、所述第四固定轨道段或所述旋转轨道上行驶。所述方法亦包括辨识出所述可旋转轨道接头的旋转位置以达成所述运输系统中的所述交通型样的改变。所述方法亦包括使在所述第一固定轨道段、所述第二固定轨道段、所述第三固定轨道段、所述第四固定轨道段中的一者上行驶的运载工具停止。所述方法亦包括旋转所述可旋转轨道接头，使得所述旋转轨道与所述第一方向对齐。
4、为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
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1.一种运输系统中的设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，自俯视图看，所述板状结构包括圆形形状。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述至少一对轨道构件包括沿所述板状结构的直径延伸的沿直径的一对轨道构件。
4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述至少一对轨道构件更包括弯曲的两对轨道构件，所述弯曲的两对轨道构件关于所述沿直径的一对轨道构件互为镜像。
5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，更包括：
6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，更包括：
7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，更包括：
8.一种运输系统，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的运输系统，其特征在于，所述动力旋转机构包括电动马达。
10.根据权利要求8所述的运输系统，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种运输系统中的设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，自俯视图看，所述板状结构包括圆形形状。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述至少一对轨道构件包括沿所述板状结构的直径延伸的沿直径的一对轨道构件。
4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述至少一对轨道构件更包括弯曲的两对轨道构件，所述弯曲的两对轨道构件关于所述沿直径的一对轨...
【专利技术属性】
技术研发人员：李冠群，张庆荣，董启峰，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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