晶圆架制造技术

一种晶圆架，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件。支撑板彼此对向设置。支架设置于支撑板之间，并连接支撑板，以在支撑板之间构成容置空间。支撑件对应设置于支架上，其中支撑件的材质不同于支架的材质，且支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料。本发明专利技术提供的晶圆架藉由复合材料的组合同时兼具实用性与保护性。

Wafer rack

【技术实现步骤摘要】
晶圆架
本专利技术是有关于一种晶圆架，且特别是有关于一种能够应用于晶圆传送盒(StandardMechanicalInterfacepod，SMIFpod)中的晶圆架。
技术介绍
在晶圆的制程中，晶圆能够设置在晶圆架中，进行运送、保存、清洗或者应用于半导体制程或机台自动化制程中，且能够进一步设置于晶圆传送盒中进行隔离。晶圆传送盒例如包括基座、透明外罩与前述的晶圆架，其中晶圆设置于晶圆架后进一步连同晶圆架一并放置于基座上并以透明外罩覆盖，使晶圆能构够被水平地存放并进行隔离。如此，晶圆架与晶圆处于同一环境(即同时进行运送、保存、清洗或者上述应用)，故提升晶圆架的刚性与强度并兼具抗腐蚀性也成为关注焦点。
技术实现思路
本专利技术提供一种晶圆架，藉由复合材料的组合同时兼具实用性与保护性。本专利技术的晶圆架包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件。支撑板彼此对向设置。支架设置于支撑板之间，并连接支撑板，以在支撑板之间构成容置空间。支撑件对应设置于支架上，其中支撑件的材质不同于支架的材质，且支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆架，其特征在于，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件，其中：/n所述一对支撑板彼此对向设置；/n所述多个支架设置于所述一对支撑板之间，并连接所述一对支撑板，以在所述一对支撑板之间构成容置空间；以及/n所述多个支撑件对应设置于所述多个支架上，且各自具有面向所述容置空间的多个凹槽，其中所述多个支撑件的材质不同于所述多个支架的材质，且所述多个支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料，晶圆用于穿入并架设于所述多个凹槽的对应者而设置于所述容置空间内。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆架，其特征在于，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件，其中：
所述一对支撑板彼此对向设置；
所述多个支架设置于所述一对支撑板之间，并连接所述一对支撑板，以在所述一对支撑板之间构成容置空间；以及
所述多个支撑件对应设置于所述多个支架上，且各自具有面向所述容置空间的多个凹槽，其中所述多个支撑件的材质不同于所述多个支架的材质，且所述多个支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料，晶圆用于穿入并架设于所述多个凹槽的对应者而设置于所述容置空间内。


2.如权利要求1所述的晶圆架，其特征在于，所述多个支撑件的材质包括聚醚醚酮。


3.如权利要求1所述的晶圆架，其特征在于，所述一对支撑板的材质与所述多个支架的材质相同。


4.如权利要求3所述的晶圆架，其特征在于，所述一对支撑板的材质与所述多个支架的材质包括不锈钢。


5.如权利要求1所述的晶圆架，其特征在于，所述多个支架各自以嵌入的方式固定于所述一对支撑板上。


6.如权利要求1所述的晶圆架，其特征在于，所述多个支撑件各自锁附于所述多个支架的对应者上。


7.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢芳万，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71