载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法，相比于现有技术能够抑制由剩余电荷导致的基片的偏移和破损。上述载置台装置包括：静电吸盘，其正面形成有能够与基片的背面电接触的导电膜；迂回至上述静电吸盘的背面的导电部件，该导电部件与上述导电膜电连接；和移动部件，其经由连接部件与上述导电部件电连接，并能够在与接地电位连接的位置和不与接地电位连接的位置之间移动。

Operation method of loading platform device, processing device and loading platform device

【技术实现步骤摘要】
载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法
本专利技术涉及载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法。
技术介绍
在使被静电吸盘的吸附面所吸附的基片离开静电吸盘时，当残留着由积蓄于静电吸盘、基片的剩余电荷产生的静电力的状态下使升降销上升时，有可能发生基片的偏移或破损的情况。因此，已知一种除去积蓄于静电吸盘、基片的剩余电荷的技术(例如，参照专利文献1、2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5323317号公报专利文献2：美国专利第9595464号说明书
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术提供相比于现有技术能够抑制由剩余电荷导致的基片的偏移或破损的技术。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方式的载置台装置包括：静电吸盘，其正面形成有能够与基片的背面电接触的导电膜；迂回至上述静电吸盘的背面的导电部件，该导电部件与上述导电膜电连接；和移动部件，其经由连接部件与上述导电部件电连接，并能够在与接地电位连接的位置和不与接地电位连接的位置之间移动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载置台装置，其特征在于，包括：/n静电吸盘，其正面形成有能够与基片的背面电接触的导电膜；/n迂回至所述静电吸盘的背面的导电部件，该导电部件与所述导电膜电连接；和/n移动部件，其经由连接部件与所述导电部件电连接，并能够在与接地电位连接的位置和不与接地电位连接的位置之间移动。/n

【技术特征摘要】
20180730 JP 2018-1425791.一种载置台装置，其特征在于，包括：
静电吸盘，其正面形成有能够与基片的背面电接触的导电膜；
迂回至所述静电吸盘的背面的导电部件，该导电部件与所述导电膜电连接；和
移动部件，其经由连接部件与所述导电部件电连接，并能够在与接地电位连接的位置和不与接地电位连接的位置之间移动。


2.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于：
所述载置台装置设置于处理容器内，
所述与接地电位连接的位置是与所述处理容器电连接的位置，
所述不与接地电位连接的位置是与所述处理容器电绝缘的位置。


3.如权利要求1或2所述的载置台装置，其特征在于：
所述导电膜在所述静电吸盘的吸附面从所述静电吸盘的中心部沿着径向呈线状地延伸至外缘部而形成。


4.如权利要求1～3中任一项所述的载置台装置，其特征在于：
所述静电吸盘为具有一对吸盘电极的双曲型，
所述导电膜形成于俯视时与一个吸盘电极重叠且与另一个吸盘电极不重叠的位置。


5.如权利要求1～4中任一项所述的载置台装置，其特征在于：
包括将所述导电部件按压到所述导电膜的按压部件。


6.如权利要求1～5中任一项所述的载置台装置，其特征在于：
在所述移动部件安装有能够与所述基片的背面接触的升降销，
所述移动部件在与所述接地电位连接的位置所述升降销与所述基片的背面接触，所述移动部件在不与所述接地电位连接的位置所述升降销与所述基片的背面隔开间隔。


7.如权利要求1～6中任一项所述的载置台装置，其特征在于：
所述连接部件为弹性体。
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【专利技术属性】
技术研发人员：元村祐己，曾根浩，加贺谷靖之，铃木直行，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP