可索引侧储存仓设备、加热的侧储存仓设备、系统和方法技术方案

提供了一种电子装置处理系统，所述电子装置处理系统包括设备前端模块、一或多个装载端口和可索引侧储存仓，所述一或多个装载端口耦接到所述设备前端模块的前部，所述可索引侧储存仓耦接至所述设备前端模块的一侧。

Indexable side bin equipment, heated side bin equipment, systems and methods

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可索引侧储存仓设备、加热的侧储存仓设备、系统和方法相关申请本申请主张2017年6月23日提交的名为“INDEXABLESIDESTORAGEPODAPPARATUS,SYSTEMS,ANDMETHODS”(代理人案号24710/L)的美国临时申请第62/524,375号的优先权，所述申请整体对所有目的而在此引入作为参考。领域本申请关于电子装置制造，并且更具体地关于用于设备前端模块(EFEMs)的可索引侧储存舱，以及包括可索引侧储存舱的系统和方法。背景半导体部件制造中的基板的处理在多个处理工具中进行，其中基板在基板载体(例如，前开式标准舱(FrontOpeningUnifiedPod)或FOUP)中的处理工具之间行进。FOUP可以对接至EFEM的前侧，所述EFEM包括装载/卸除机器人，所述机器人可操作以在各个FOUP和处理工具的主框架的一或多个装载锁定(loadlock)之间传送基板。在一些系统中，EFEM包括侧储存器，侧储存器用于储存从处理工具中的处理返回的少量基板。然而，现有的侧储存器受到某些限制。因此，追求改进的侧储存器、包括侧储存器的系统和方法。
技术实现思路
在一些实施方式中，提供了一种设备前端模块的侧储存仓，包括：(1)外壳，所述外壳具有密封表面，密封表面经配置以耦接到设备前端模块；(2)侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和(3)索引器，所述索引器可操作以垂直地移动侧储存仓腔室，使得储存构件的不同子群组可由设备前端模块中的装载-卸除机器人存取。在一些实施方式中，提供了一种电子装置处理系统，包括：(1)设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块腔室；(2)一或多个装载端口，所述一或多个装载端口耦接到设备前端模块的前部，每个装载端口经配置以支撑基板载体；和(3)可索引侧储存仓，所述可索引侧储存仓耦接至设备前端模块的一侧。可索引侧储存仓包括：(a)外壳，所述外壳具有密封表面，密封表面经配置以耦接到设备前端模块；(b)侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和(c)索引器，其可操作以垂直地移动侧储存仓腔室，使得储存构件的不同子群组可由设备前端模块中的装载-卸除机器人存取。在一些实施方式中，一种在电子装置处理系统内处理基板的方法，所述方法包括以下步骤：提供电子装置处理系统，其具有：(1)设备前端模块，其包括设备前端模块腔室；(2)一或多个装载端口，其耦接到设备前端模块的前部，每个装载端口经配置以支撑基板载体；和(3)可索引侧储存仓，其耦接至设备前端模块的一侧。可索引侧储存仓包括：(a)外壳，其具有密封表面，密封表面经配置以耦接到设备前端模块；(b)侧储存仓腔室，其具有主体，主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和(c)索引器，所述索引器可操作以垂直地移动侧储存仓腔室，使得储存构件的不同子群组可由设备前端模块中的机器人存取。方法亦包括使用设备前端模块腔室内的机器人取回位于侧储存仓腔室的储存构件中的一个储存构件上的基板，和使用机器人将所述基板从侧储存仓腔室转移到设备前端模块腔室。在一些实施方式中，提供了一种电子装置处理系统。电子装置处理系统包括：设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块腔室；一或多个装载端口，所述一或多个装载端口耦接到设备前端模块的前部，每个装载端口经配置以支撑基板载体；和侧储存仓，所述侧储存仓耦接至设备前端模块的一侧，侧储存仓包括：侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板、和输入端口；和加热器，所述加热器耦接至侧储存仓腔室的输入端口，加热器经配置以提供加热的非反应性气体流通过侧储存仓腔室和流过储存在侧储存仓腔室中的任意基板上。在一些实施方式中，提供了一种在电子装置处理系统内处理基板的方法。方法包括以下步骤：提供电子装置处理系统，电子装置处理系统包括：设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块腔室；一或多个装载端口，所述一或多个装载端口耦接到设备前端模块的前部，每个装载端口经配置以支撑基板载体；侧储存仓，所述侧储存仓耦接至设备前端模块的一侧，侧储存仓进一步包括：侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和加热器，所述加热器耦接至侧储存仓腔室，且加热器经配置以向侧储存仓腔室提供加热的非反应性气体；和使加热的非反应性气体流过所述侧储存仓腔室并流过储存在所述侧储存仓腔室中的任意基板上。根据本文的这些和其他实施方式，提供了许多其他方面。根据以下实施方式、权利要求书和附图，本文的实施方式的其他特征和方面将变得更加明显。附图说明下面描述的图是出于说明性的目的，且不一定按比例绘制。图并不旨在以任何方式限制本文的范围。图1A示出根据一或多个实施方式的包括可索引侧储存仓设备的电子装置处理系统的示意性顶视图。图1B示出根据一或多个实施方式的包括可索引侧储存仓设备的设备前端模块的前透视图。图2A-图2F示出根据一或多个实施方式的可索引侧储存仓设备的局部侧视图。图3图示描绘了根据一或多个实施方式的从电子装置处理系统内的侧储存仓卸除基板的方法的流程图。图4图示描绘了根据一或多个实施方式的将基板装载到电子装置处理系统内的侧储存仓中的方法的流程图。具体实施方式现在将详细参照在附图中示出的范例实施方式。只要可能，在整个图中将使用相同的附图标记来指示相同或相似的部分。除非另外特别说明，否则本文描述的各种实施方式的特征可彼此组合。在现有的电子装置制造系统中处理的基板，在暴露于相对较高湿度或其他环境因素(例如，过高的氧气(O2)水平)或相对高水平的其他化学污染物时，可能会遇到问题。特别是，在一些实施方式中，将基板暴露于相对高的湿度水平、相对高的O2水平、或其他污染物，可能会不利地影响基板性质。根据本公开的一或多个实施方式，提供了适于提供改进的基板处理的电子装置处理系统。本文所述的系统和方法可以通过控制基板在工具之间传输时以及在与设备前端模块(EFEM)接口时基板所暴露的环境条件，而来提供基板处理的效率和/或处理改进。EFEM从对接到EFEM的壁的一或多个基板载体(例如，对接到EFEM的前表面)接收基板，并且装载/卸除机器人将基板递送到耦合在EFEM的另一个表面上的一或多个装载锁定(例如，EFEM的后表面)。在一些实施方式中，监测和控制一或多个环境参数(例如，相对湿度、温度、O2的量、惰性气体的量、或其他化学污染物的量)，并且除非关于EFEM的EFEM腔室中的环境的某些预定条件满足，否则没有对接到EFEM的FOUP可以打开。在本文的一或多个实施方式中，提供了一种侧储存仓，侧储存仓可以在环境上受到控制，并且可以包括用于EFEM的补充及/或可索引的基板储存。例如，在一些实施方式中，侧储存仓可包括侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设备前端模块的侧储存仓，包括：/n外壳，所述外壳具有密封表面，所述密封表面经配置以耦接到所述设备前端模块；/n侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和/n索引器，所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，使得储存构件的不同子群组可由所述设备前端模块中的装载-卸除机器人存取。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170623 US 62/524,3751.一种设备前端模块的侧储存仓，包括：
外壳，所述外壳具有密封表面，所述密封表面经配置以耦接到所述设备前端模块；
侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和
索引器，所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，使得储存构件的不同子群组可由所述设备前端模块中的装载-卸除机器人存取。


2.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括可移除的门，所述可移除的门允许当所述可移除的门被移除时，所述设备前端模块的装载-卸除机器人存取所述多个储存构件。


3.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括净化气体供应入口和排气出口。


4.如权利要求3所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括气体分配系统，所述气体分配系统允许供应到所述净化气体供应入口的非反应性气体在离开所述排气出口之前行进通过所述垂直间隔的储存构件。


5.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括至少50个基板储存构件。


6.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述储存构件包括至少25个基板储存构件的多个子群组，并且所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，使得通过所述设备前端模块中的装载-卸除机器人可存取储存构件的不同的子群组。


7.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述外壳包括进出门，所述进出门允许所述侧储存仓腔室被移除，并由另一侧储存仓腔室替换。


8.一种电子装置处理系统，包括：
设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块腔室；
一或多个装载端口，所述一或多个装载端口耦接到所述设备前端模块的前部，每个装载端口经配置以支撑基板载体；和
可索引侧储存仓，所述可索引侧储存仓耦接至所述设备前端模块的一侧，所述可索引侧储存仓包括：
外壳，所述外壳具有密封表面，所述密封表面经配置以耦接到所述设备前端模块；
侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑基板；和
索引器，所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，使得储存构件的不同子群组可由所述设备前端模块中的装载-卸除机器人存取。


9.如权利要求8所述的电子装置处理系统，包括：
环境控制系统，所述环境控制系统耦接至所述设备前端模块腔室。


10.如权利要求9所述的电子装置处理系统，其中所述可索引侧储存仓的所述外壳向所述设备前端模块腔室开放，且所述环境控制系统控制所述可索引侧储存仓的所述外壳和所述设备前端模块腔室两者中的共同环境。


11.如权利要求8所述的电子装置处理系统，其中所述侧储存仓腔室包括净化气体供应入口、排气出口和气体分配系统，所述气体分配系统允许供应到所述净化气体供应入口的非反应性气体在离开所述排气出口之前行进通过所述垂直间隔的储存构件。


12.如权利要求8所述的电子装置处理系统，其中所述储存构件包括至少25个基板储存构件的多个子群组，并且所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，使得通过所述设备前端模块中的装载-卸除机器人可存取储存构件的不同的子群组。


13.一种在电子装置处理系统内处理基板的方法，所述方法包括以下步骤：
提供电子装置处理系统，所述电子装置处理系统具有：
设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块腔室；
一或多个装载端口，所述一或多个装载端...

【专利技术属性】
技术研发人员：帕特里克·潘妮丝，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US