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一种晶圆架，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件。支撑板彼此对向设置。支架设置于支撑板之间，并连接支撑板，以在支撑板之间构成容置空间。支撑件对应设置于支架上，其中支撑件的材质不同于支架的材质，且支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料。本发明...
该专利属于奇景光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇景光电股份有限公司授权不得商用。

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