基板收纳容器制造技术

本发明专利技术具有：下侧基板引导倾斜面(733)，与下侧倾斜面(731)的下端部连接，相比于下侧倾斜面(731)的倾斜，以与上下方向(D2)所成的角度更小的方式倾斜，上下方向(D2)与多个基板排列的排列的方向一致；以及上侧基板引导倾斜面(734)，与上侧倾斜面(732)的上端部连接，相比于上侧倾斜面(732)的倾斜，以与上下方向(D2)所成的角度更小的方式倾斜。在容器主体开口部被盖体封闭时的槽(703)延伸的方向上，随着接近容器主体开口部的中央，下侧基板引导倾斜面(733)的上下方向(D2)上的长度变长。

Base plate storage container

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器
本专利技术涉及收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。
技术介绍
作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，具备容器主体和盖体的装置已被公众所知(例如参照专利文献1、专利文献2、专利文献3)。容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成，能够收纳多个基板。盖体相对于开口周缘部可装拆，能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部上。当容器主体开口部未被盖体封闭时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下支承多个基板的边缘部。在作为盖体一部分的、当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分上，设有前部保持构件。前部保持构件具有：盖体侧基板承接部，与基板直接抵接并支承基板；以及盖体侧脚部，支承盖体侧基板承接部，当容器主体开口部被盖体封闭时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。此外，后侧基板支承部以与前部保持构件成对的方式设置在壁部上。后侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。当容器主体开口部被盖体封闭时，后侧基板支承部通过与前部保持构件协同动作支承多个基板，由此在使相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下保持多个基板。现有技术文献专利文献1：日本专利公开公报特开2015-135881号专利文献2：日本专利公表公报特表2013-540372号专利文献3：日本专利公开公报实开平2-106831号在所述公报记载的基板收纳容器中，当容器主体开口部被盖体封闭时，在前部保持构件容易发生基板的引导不良，即，容易发生基板进入相邻的多个盖体侧基板承接部之间而成为基板脱落的状态。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能够抑制前部保持构件的基板的引导不良的基板收纳容器。本专利技术的基板收纳容器，其包括：容器主体，具备筒状的壁部，所述壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部；侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内以成对的方式配置，当所述容器主体开口部未被所述盖体封闭时，能够在将所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承所述多个基板的边缘部；盖体侧基板支承部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，配置在与所述基板收纳空间相对的所述盖体部分上，能够支承所述多个基板的边缘部；以及后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支承部成对的方式配置，能够支承所述多个基板的边缘部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，与所述盖体侧基板支承部协同动作，能够支承所述多个基板，所述盖体侧基板支承部具备：盖体侧基板承接部，与所述基板直接抵接，支承所述基板；以及盖体侧脚部，支承所述盖体侧基板承接部，所述盖体侧基板承接部具有：下侧倾斜面，以从所述基板收纳空间的中心离开的方式倾斜延伸；上侧倾斜面，以接近所述基板收纳空间的中心的方式从所述下侧倾斜面的上端部倾斜延伸；下侧基板引导倾斜面，与所述下侧倾斜面的下端部连接，相比于所述下侧倾斜面的倾斜，以与上下方向所成的角度更小的方式倾斜，所述上下方向与所述多个基板排列的排列方向一致；以及上侧基板引导倾斜面，与所述上侧倾斜面的上端部连接，相比于所述上侧倾斜面的倾斜，以与所述上下方向所成的角度更小的方式倾斜，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面与所述基板抵接，在由所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面形成的槽中支承所述基板，在所述容器主体开口部被所述盖体封闭时的所述槽延伸的方向上，随着接近所述容器主体开口部的中央，所述下侧基板引导倾斜面的所述上下方向上的长度变长。此外，优选的是，在从所述容器主体的一端部朝向另一端部的方向上观察时，所述盖体侧基板承接部具有平行四边形的形状。按照本专利技术，能够提供能抑制发生前部保持构件的基板引导不良的基板收纳容器。附图说明图1是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的状态的分解立体图。图2是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。图3是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。图4是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。图5是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的主视图。图6是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的侧视断面图。图7是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件基板承接部73的放大断面图。图8是表示基板W插入本专利技术实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件基板承接部73的V形槽703中的状态的示意图。附图标记说明1基板收纳容器2容器主体3盖体5基板支承板状部(侧方基板支承部)6后侧基板支承部7前部保持构件(盖体侧基板支承部)20壁部21容器主体开口部27基板收纳空间28开口周缘部72脚部(盖体侧脚部)73前部保持构件基板承接部(盖体侧基板承接部)703V形槽731下侧倾斜面732上侧倾斜面733下侧基板引导倾斜面734上侧基板引导倾斜面W基板具体实施方式以下，参照附图说明本实施方式的基板收纳容器1。图1是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的状态的分解立体图。图2是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。图3是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。在此，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(从图1中的右上朝向左下的方向)定义为向前方向D11，将向前方向D11相反的方向定义为向后方向D12，将向前方向D11和向后方向D12合起来定义为前后方向D1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的向上方向)定义为向上方向D21，将向上方向D21的相反的方向定义为向下方向D22，将向上方向D21和向下方向D22合起来定义为上下方向D2。此外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(从图1中的右下朝向左上的方向)定义为向左方向D31，将向左方向D31的相反的方向定义为向右方向D32，将向左方向D31和向右方向D32合起来定义为左右方向D3。在主要的附图中，图示了表示这些方向的箭头。此外，基板收纳容器1中收纳的基板W(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是用于工业的薄晶片。本实施方式中的基板W是直径300mm的硅晶片。如图1所示，基板收纳容器1收纳由所述的硅晶片构成的基板W，用作通过陆地运输手段、空运手段、海运手段等输送手段输送基板W的发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳容器，其特征在于，/n所述基板收纳容器包括：/n容器主体，具备筒状的壁部，所述壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；/n盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部；/n侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内以成对的方式配置，当所述容器主体开口部未被所述盖体封闭时，能够在将所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承所述多个基板的边缘部；/n盖体侧基板支承部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，配置在与所述基板收纳空间相对的所述盖体部分上，能够支承所述多个基板的边缘部；以及/n后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支承部成对的方式配置，能够支承所述多个基板的边缘部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，与所述盖体侧基板支承部协同动作，能够支承所述多个基板，/n所述盖体侧基板支承部具备：盖体侧基板承接部，与所述基板直接抵接，支承所述基板；以及盖体侧脚部，支承所述盖体侧基板承接部，/n所述盖体侧基板承接部具有：/n下侧倾斜面，以从所述基板收纳空间的中心离开的方式倾斜延伸；/n上侧倾斜面，以接近所述基板收纳空间的中心的方式从所述下侧倾斜面的上端部倾斜延伸；/n下侧基板引导倾斜面，与所述下侧倾斜面的下端部连接，相比于所述下侧倾斜面的倾斜，以与上下方向所成的角度更小的方式倾斜，所述上下方向与所述多个基板排列的排列方向一致；以及/n上侧基板引导倾斜面，与所述上侧倾斜面的上端部连接，相比于所述上侧倾斜面的倾斜，以与所述上下方向所成的角度更小的方式倾斜，/n当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面与所述基板抵接，在由所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面形成的槽中支承所述基板，/n在所述容器主体开口部被所述盖体封闭时的所述槽延伸的方向上，随着接近所述容器主体开口部的中央，所述下侧基板引导倾斜面的所述上下方向上的长度变长。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器包括：
容器主体，具备筒状的壁部，所述壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；
盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部；
侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内以成对的方式配置，当所述容器主体开口部未被所述盖体封闭时，能够在将所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承所述多个基板的边缘部；
盖体侧基板支承部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，配置在与所述基板收纳空间相对的所述盖体部分上，能够支承所述多个基板的边缘部；以及
后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支承部成对的方式配置，能够支承所述多个基板的边缘部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，与所述盖体侧基板支承部协同动作，能够支承所述多个基板，
所述盖体侧基板支承部具备：盖体侧基板承接部，与所述基板直接抵接，支承所述基板；以及盖体侧脚部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤恭兵，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP