基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供基板收纳容器，具备容器主体、能够相对于容器主体开口部拆装且能够封闭容器主体开口部的盖体、以及与盖体一起封闭容器主体开口部的密封部件，提高基板收纳空间的气密性，以便当通过供气用过滤器部从容器主体的外部空间向基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到基板收纳空间的气体的50％以上的气体从排气用过滤器部排出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器
本专利技术涉及收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。
技术介绍
作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中搬运的基板收纳容器，以往具备容器主体和盖体的结构已被公知(例如，参照专利文献1～专利文献3)。容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于开口周缘部拆装，并能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部在基板收纳空间内成对地设置于壁部。当容器主体开口部未被盖体封闭时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承多个基板的边缘部。在当封闭盖体的部分且容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分，设置有前部保持部件。当通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持部件能够支承多个基板的边缘部。此外，里侧基板支承部与前部保持部件成对地设置于壁部。里侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。当通过盖体封闭容器主体开口部时，里侧基板支承部通过与前部保持部件协作来支承多个基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持多个基板。专利文献1：日本专利公开公报专利5213440号专利文献2：日本专利公开公报专利4204302号专利文献3：日本专利公开公报专利6293771号在以往的基板收纳容器形成有能够将基板收纳空间与容器主体的外部空间连通的通气路。通过通气路，从容器主体的外部向基板收纳空间流入氮气等的不活泼气体或者除去水分(1％以下)的干燥空气(以下，称作吹扫气体)，进行气体吹扫。更具体而言，一般在基板收纳容器形成有作为通气路的供气孔和排气孔。此外，为了使吹扫气体长时间停留在容器内，在供气孔和排气孔设置有单向阀。在工艺处理中或在储料器中保管时，进行吹扫气体向基板收纳容器内的注入。但是，实际上由于设置于排气孔的单向阀的膜的阻力、到单向阀释放为止的阻力、与排气孔连通的作为通气路的排气流路的阻力等，从排气孔排出的吹扫气体的量极其微量。相对于吹扫气体的注入，在无法正常排气的情况下，吹扫气体有可能够从安装于盖体的作为密封部件的垫圈部漏出，而产生设备的污染、人员伤害。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基板收纳容器，能够相对于基板收纳空间的气体的注入可靠地进行排气。本专利技术提供一种基板收纳容器，具备：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器以及形成所述通气路的过滤器部壳体，所述过滤器部配置于所述容器主体，能够使气体穿过所述过滤器在所述容器主体的外部空间与所述基板收纳空间之间通过，所述过滤器部具有：排气用过滤器部，能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通；以及供气用过滤器部，能够使气体从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间流通，所述过滤器设置于使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路，将所述通气路划分成上游侧和下游侧，所述过滤器中能够流通气体的排气过滤器膜有效总面积为200mm2以上，提高所述基板收纳空间的气密性，以便在通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到所述基板收纳空间的气体的50％以上的气体从所述排气用过滤器部排出。此外，优选所述密封部件将所述开口周缘部与所述盖体之间密封，以便当通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给气体时，所述基板收纳空间中的容器内正压能够成为0.15kpa以上。此外，优选所述排气用过滤器部具备：阀芯，切换使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路的连通和切断；以及弹簧，朝切断排气用的所述通气路的方向对所述阀芯施力，所述弹簧的弹簧常数为0.05kgf/mm以下。此外，优选所述过滤器设置于使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路，将所述通气路划分成上游侧和下游侧，所述过滤器中能够流通气体的排气过滤器膜有效总面积为200mm2以上。此外，本专利技术提供一种基板收纳容器，具备：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器以及形成所述通气路的过滤器部壳体，所述过滤器部配置于所述容器主体，能够使气体穿过所述过滤器在所述容器主体的外部空间与所述基板收纳空间之间通过，所述过滤器部具有：排气用过滤器部，能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通；以及供气用过滤器部，能够使气体从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间流通，所述过滤器在利用使用加压式过滤装置测定500mL的IPA在98kPa的压力下通过排气过滤器膜有效总面积13.8cm2的试料所需的时间的IPAFlow法进行测定时，具有15sec以下的流量性能，以便在通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到所述基板收纳空间的气体的50％以上的气体从所述排气用过滤器部排出。此外，优选所述过滤器设置于使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路，将所述通气路划分成上游侧和下游侧，所述过滤器中能够流通气体的排气过滤器膜有效总面积为200mm2以上。此外，本专利技术提供一种基板收纳容器，具备：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳容器，其特征在于，/n所述基板收纳容器具备：/n容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；/n盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；/n密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及/n过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器以及形成所述通气路的过滤器部壳体，所述过滤器部配置于所述容器主体，能够使气体穿过所述过滤器在所述容器主体的外部空间与所述基板收纳空间之间通过，/n所述过滤器部具有：排气用过滤器部，能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通；以及供气用过滤器部，能够使气体从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间流通，/n提高所述基板收纳空间的气密性，以便在通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到所述基板收纳空间的气体的50％以上的气体从所述排气用过滤器部排出。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180928 JP PCT/JP2018/0364571.一种基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器具备：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；
密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及
过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器以及形成所述通气路的过滤器部壳体，所述过滤器部配置于所述容器主体，能够使气体穿过所述过滤器在所述容器主体的外部空间与所述基板收纳空间之间通过，
所述过滤器部具有：排气用过滤器部，能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通；以及供气用过滤器部，能够使气体从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间流通，
提高所述基板收纳空间的气密性，以便在通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到所述基板收纳空间的气体的50％以上的气体从所述排气用过滤器部排出。


2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述密封部件将所述开口周缘部与所述盖体之间密封，以便当通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给气体时，所述基板收纳空间中的容器内正压能够成为0.15kpa以上。


3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述排气用过滤器部具备：
阀芯，切换使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路的连通和切断；以及
弹簧，朝切断排气用的所述通气路的方向对所述阀芯施力，
所述弹簧的弹簧常数为0.05kgf/mm以下。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述过滤器设置于使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路，将所述通气路划分成上游侧和下游侧，
所述过滤器中能够流通气体的排气过滤器膜有效总面积为200mm2以上。


5.一种基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器具备：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；
密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及
过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器以及形成所述通气路的过滤器部壳体，所述过滤器部配置于所述容器主体，能够使气体穿过所述过滤器在所述容器主体的外部空间与所述基板收纳空间之间通过，
所述过滤器部具有：排气用过滤器部，能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通；以及供气用过滤器部，能够使气体从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间流通，
所述过滤器在利用使用加压式过滤装置测定500mL的IPA在98kPa的压力下通过排气过滤器膜有效总面积13.8cm2的试料所需的时间的IPAFlow法进...

【专利技术属性】
技术研发人员：成田侑矢，井上忠利，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP