基板收纳容器及过滤部制造技术

本发明专利技术提供一种基板收纳容器(1)，其具备容器主体、盖体、密封构件、过滤部(80)，该过滤部(80)具有能将基板收纳空间与容器主体的外部的空间连通的通气路(801)、配置于通气路(801)的过滤器(85)、形成通气路(801)的壳体(81、82、83、84)，过滤部(80)配置于容器主体，气体通过过滤器(85)能在容器主体的外部的空间与基板收纳空间之间通过；在壳体(93)收容有：阀体(99)，其能在外方开口部(903)的将外方开口部(903)闭塞的闭塞位置与将外方开口部(903)开放的开放位置之间移动；被施力构件(96)，其具有筒状并连接于阀体(99)，以能在壳体(93)的内部移动的方式被壳体(93)支撑并被引导，以与阀体(99)一体移动的方式引导阀体(99)的移动；和施力构件(97)，以阀体(99)向闭塞位置移动的方式对被施力构件(96)施力。塞位置移动的方式对被施力构件(96)施力。塞位置移动的方式对被施力构件(96)施力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器及过滤部


[0001]本专利技术涉及在对于由半导体晶圆等形成的基板进行收纳、保存、运送、运输等时使用的基板收纳容器及设置于该基板收纳容器的过滤部。

技术介绍

[0002]作为收纳由半导体晶圆形成的基板而用于在工厂内的工序中运送的基板收纳容器，以往已知有具备容器主体和盖体的结构的基板收纳容器(例如，参照专利文献1～专利文献6)。
[0003]容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周边部。容器主体的另一端部具有被闭塞的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳基板。盖体相对于开口周边部能够拆装，能够闭塞容器主体开口部。侧方基板支撑部在基板收纳空间内成对地设置于壁部。在未通过盖体闭塞容器主体开口部时，侧方基板支撑部能够将基板的边缘部支撑为邻接的基板彼此以规定的间隔分离并列的状态。
[0004]在盖体的部分且在闭塞容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分设有前保持器。在通过盖体闭塞容器主体开口部时，前保持器能够支撑基板的边缘部。另外，与前保持器成对地在壁部设有里侧基板支撑部。里侧基板支撑部能够支撑基板的边缘部。在通过盖体闭塞容器主体开口部时，里侧基板支撑部与前保持器协作地支撑基板，由此将基板保持为邻接的基板彼此以规定的间隔分离并列的状态。
[0005]另外，在容器主体设有止回阀。通过止回阀，从容器主体的外部向基板收纳空间，利用除去了氮等非活性气体或水分(1％以下)的干燥空气(以下，称为净化气体)进行气体净化。止回阀防止通过气体净化而填充于基板收纳空间的气体的漏出。另外，在止回阀设有过滤器，过滤器将从容器主体的外部通过过滤器流入的气体包含的颗粒、有机物、水分等除去。
[0006]设有止回阀的通气口分为注入孔和排气孔使用，用于高效置换已注入的净化气体的排气孔的作用至关重要。然而目前的状况是，也存在净化气体从设置在与容器主体开口部卡合的盖体上的密封构件(垫圈)漏出的情况，从安全、环境方面出发，如何将已注入的净化气体从排气孔排出成为重要的问题。
[0007]作为以往的排气孔侧的止回阀的阀单元具有通过基板收纳容器的内部压力打开的结构。由于阀的开闭使用弹簧的原因，使弹簧收缩的压力成为将气体排出时的阻力，成为净化气体从设置于盖体的密封构件漏出的原因之一。因此，要求排气侧使用的弹簧以低压进行工作。
[0008]另外，基板收纳容器在工厂中使用时，进行基板收纳容器的清洗。阀单元的阀密封件存在于单元内的筒形状部容器内表面侧。在比密封件靠外气侧需要弹簧的伸缩空间，但是清洗水从外气侧的开口部侵入至弹簧的伸缩空间，结果是产生未干燥完全而水残留于弹簧的伸缩空间这样的问题。在专利文献5、专利文献6中记载了针对这样的问题的以往的技
术。
[0009]现有技术文献
[0010]【专利文献】
[0011]【专利文献1】日本特开2019
‑
021717号公报
[0012]【专利文献2】日本特开2017
‑
188609号公报
[0013]【专利文献3】日本特表第2018
‑
505546号公报
[0014]【专利文献4】日本专利第4859065号公报
[0015]【专利文献5】日本特表第2002
‑
521189号公报
[0016]【专利文献6】日本专利第4201583号

技术实现思路

[0017]专利技术要解决的课题
[0018]作为构成止回阀的过滤部，使用供气用的过滤部和排气用的过滤部。在基板收纳容器上，为了从容器外部注入气体而多个部位具有将容器外部与容器内部连通的出入连通部。在出入连通部安装有过滤部的过滤器壳体，在壳体内部为了将气体的流动控制为一个方向而配置止回阀(单向阀)和弹性构件(弹簧)。
[0019]在过滤部为了高效地进行净化气体的注入及排气而要求对止回阀和弹性构件极力消除气体流通的阻力。另一方面，由于污染物质、颗粒附着于容器内，因此以维持清洁度、性能为目的，定期地使用清洗装置，利用清洗水进行基板收纳容器的清洗，但是作为如上述那样消除止回阀和弹性构件的阻力的副作用，由于容器清洗时的水压或清洗后的干燥时的空气的风压而清洗液会侵入注入孔内，存在为了使其干燥而花费较多的时间这样的问题。
[0020]另外，在以往的过滤部中，存在有下述问题：在阀体稍打开之后由于将阀体设为边界的压力之差而立即关闭这样的情况在短时间内反复进行引起的所谓振动音产生。
[0021]另外，为了通过注入到容器收纳空间的净化气体高效地进行气体净化，排气用的过滤部的作用至关重要。另外，在工厂内，从安全环境方面出发，重要的是将注入到容器收纳空间的净化气体从排气用的过滤部可靠地回收。
[0022]将具备这样的排气用的过滤部的基板收纳容器在工厂中使用时，通过清洗水进行基板收纳容器的清洗，但是在以往的排气用的过滤部中，清洗水从开口容易侵入过滤部的内部，其结果是，存在有所谓在清洗后未使清洗水干燥完全而残留的问题。另外，为了充分地使其干燥，需要将排气用的过滤部从容器主体拆卸，存在所谓该作业需要较多的时间的问题。
[0023]另外，在专利文献5记载的结构中，在反复进行阀的开闭时，存在构成阀的阀体摇头而阀体的轴偏离的情况，认为是成为密封不良而产生泄漏的情况。
[0024]另外，在专利文献6记载的结构中，虽然由于轴偏离而密封不良难以发生，但是可想到来自外气侧开口部的清洗水变得容易浸入的问题。另外，由于需要在平面将O型圈弄坏，因此作为弹性体的弹簧需要选定在一定程度上弹簧常数高的弹簧，也可想到净化气体的排气效率变差这样的问题。
[0025]本专利技术目的在于提供一种具备清洗水难以进入过滤部的内部且能够抑制所谓振动音的产生的过滤部的基板收纳容器及该过滤部、或者具备通过注入到容器收纳空间的净
化气体能够高效地进行气体净化的过滤部的基板收纳容器、或者能够抑制净化气体的泄漏并能够抑制净化气体的排气效率变差的情况的基板收纳容器及该过滤部。
[0026]用于解决课题的方案
[0027]本专利技术涉及基板收纳容器，其具备：容器主体，其具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周边部且另一端部被闭塞，通过所述壁部的内表面，形成能够收纳基板并与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其相对于所述开口周边部能够拆装，能够以由所述开口周边部包围的位置关系闭塞所述容器主体开口部；密封构件，其安装于所述盖体，能够与所述盖体及所述开口周边部抵接，介于所述开口周边部与所述盖体之间并与所述开口周边部及所述盖体紧贴地抵接，由此与所述盖体一起闭塞所述容器主体开口部；过滤部，其具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器、形成所述通气路的壳体，所述过滤部配置于所述容器主体，气体通过所述过滤器能够在所述容器主体的外部的空间与所述基板收纳空间之间通过，所述壳体具有朝向所述容器主体的外部的空间开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器，其中，具备：容器主体，其具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周边部且另一端部被闭塞，通过所述壁部的内表面，形成能够收纳基板并与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其相对于所述开口周边部能够拆装，能够以由所述开口周边部包围的位置关系闭塞所述容器主体开口部；密封构件，其安装于所述盖体，能够与所述盖体及所述开口周边部抵接，介于所述开口周边部与所述盖体之间并与所述开口周边部及所述盖体紧贴地抵接，由此与所述盖体一起闭塞所述容器主体开口部；及过滤部，其具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器、形成所述通气路的壳体，所述过滤部配置于所述容器主体，气体通过所述过滤器能够在所述容器主体的外部的空间与所述基板收纳空间之间通过；所述壳体具有朝向所述容器主体的外部的空间开口的外方开口部；在所述壳体收容有：阀体，其插入于所述外方开口部，并能够在所述外方开口部的将所述外方开口部闭塞的闭塞位置和将所述外方开口部开放的开放位置之间移动；被施力构件，其具有筒状并连接于所述阀体，以能够在所述壳体的内部移动的方式被所述壳体支撑并被引导，以与所述阀体一体移动的方式引导所述阀体的移动；及施力构件，其以所述阀体向所述闭塞位置移动的方式对所述被施力构件施力。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其中，所述阀体由能够弹性变形的材料构成。3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其中，在所述阀体的周边部设有O型圈。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的基板收纳容器，其中，所述阀体被固定成能够相对于所述被施力构件进行拆装。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板收纳容器，其中，在所述被施力构件形成有能够流通气体的气体流通路。6.根据权利要求1至5中任意一项所述的基板收纳容器，其中，所述施力构件由弹簧构成，弹簧的直径比所述外方开口部的直径大。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的基板收纳容器，其中，所述壳体具备：外部壳体部；及内侧壳体部，其配置于所述外部壳体部的内部，以能够相对于所述外部壳体部移动的方式被所述外部壳体部支撑，所述内侧壳体部具有所述外方开口部。8.根据权利要求7所述的基板收纳容器，其中，所述被施力构件具备被施力构件主体部，该被施力构件主体部具有将所述阀体固定的阀体固定部，
所述内侧壳体部具备：筒形状部，其具有供所述被施力构件主体部滑动而支撑所述被施力构件主体部的内周滑动面；及外方开口部形成部，其与所述筒形状部一体成形。9.根据权利要求1至8中任意一项所述的基板收纳容器，其中，所述外方开口部具有朝向所述容器主体的外部的空间而直径变宽的锥形形状，所述阀体具有在所述闭塞位置闭塞所述外方开口部的贯通孔闭塞部，所述贯通孔闭塞部的外周面具有朝向所述容器主体的外部的空间而直径变宽的锥形形状，所述贯通孔闭塞部的轴向上的每单位长度的所述贯通孔闭塞部的外周面的锥度比大于所述外方开口部的轴向上的每单位长度的所述外方开口部的锥度比。10.一种过滤部，其配置于基板收纳容器的容器主体，所述基板收纳容器具备：所述容器主体，其具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周边部且另一端部被闭塞，通过所述壁部的内表面，形成能够收纳基板并与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其相对于所述开口周边部能够拆装，能够以由所述开口周边部包围的位置关系闭塞所述容器主体开口部；密封构件，其安装于所述盖体，能够与所述盖体及所述开口周边部抵接，介于所述开口周边部与所述盖体之间并与所述开口周边部及所述盖体紧贴地抵接，由此与所述盖体一起闭塞所述容器主体开口部，其中，所述过滤部具有：过滤器，其配置于能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路；及壳体，其形成所述通气路；所述壳体具有朝向所述容器主体的外部的空间开口的外方开口部，在所述壳体收容有：阀体，其插入于所述外方开口部，并能够在所述外方开口部的将所述外方开口部闭塞的闭塞位置和将所述外方开口部开放的开放位置之间移动；被施力构件，其具有筒状并连接于所述阀体，以能够在所述壳体的内部移动的方式被所述壳体支撑并被引导，以与所述阀体一体移动的方式引导所述阀体的移动；及施力构件，其以所述阀体向所述闭塞位置移动的方式对所述被施力构件施力。11.根据权利要求10所述的过滤部，其中，所述阀体由能够弹性变形的材料构成。12.根据权利要求10或11所述的过滤部，其中，在所述阀体的周边部设有O型圈。13.根据权利要求10至12中任意一项所述的过滤部，其中，所述阀体被固定成能够相对于所述被施力构件进行拆装。14.根据权利要求10至13中任意一项所述的过滤部，其中，在所述被施力构件形成有能够流通气体的气体流通路。15.根据权利要求10至14中任意一项所述的过滤部，其中，所述施力构件由弹簧构成，弹簧的直径比所述外方开口部的直径大。16.根据权利要求10至15中任意一项所述的过滤部，其中，
所述壳体具备：外部壳体部；及内侧壳体部，其配置于所述外部壳体部的内部，以能够相对于所述外部壳体部移动的方式被所述外部壳体部支撑，所述内侧壳体部具有所述外方开口部。17.根据权利要求16所述的过滤部，其中，所述被施力构件具备被施力构件主体部，该被施力构件主体部具有将所述阀体固定的阀体固定部，所述内侧壳体部具备：筒形状部，其具有供所述被施力构件主体部滑动而支撑所述被施力构件主体部的内周滑动面；及外方开口部形成部，其与所述筒形状部一体成形。18.根据权利要求10至17中任意一项所述的过滤部，其中，所述外方开口部具有朝向所述容器主体的外部的空间而直径变宽的锥形形状，所述阀体具有在所述闭塞位置闭塞所述外方开口部的贯通孔闭塞部，所述贯通孔闭塞部的外周面具有朝向所述容器主体的外部的空间而直径变宽的锥形形状，所述贯通孔闭塞部的轴向上的每单位长度的所述贯通孔闭塞部的外周面的锥度比大于所述外方开口部的轴向上的每单位长度的所述外方开口部的锥度比。19.一种基板收纳容器，其中，具备：容器主体，其具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周边部且另一端部被闭塞，通过所述壁部的内表面，形成能够收纳基板并与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其相对于所述开口周边部能够拆装，能够以由所述开口周边部包围的位置关系闭塞所述容器主体开口部；密封构件，其安装于所述盖体，能够与所述盖体及所述开口周边部抵接，介于所述开口周边部与所述盖体之间并与所述开口周边部及所述盖体紧贴地抵接，由此与所述盖体一起闭塞所述容器主体开口部；及过滤部，其具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器、形成所述通气路的壳体，所述过滤部配置于所述容器主体，气体通过所述过滤器能够在所述容器主体的外部的空间与所述基板收纳空间之间通过，所述过滤部具有能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部的空间流通的排气用过滤部、能够使气体从所述容器主体的外部的空间向所述基板收纳空间流通的供气用过滤部，所述排气用过滤部的所述壳体具有朝向所述容器主体的外部的空间开口的...

【专利技术属性】
技术研发人员：成田侑矢，井上忠利，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：