基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供一种基板收纳容器(1)，容器主体(2)具备具有后壁(22)、上壁(23)、下壁(24)和一对侧壁的壁部(20)，通过后壁(22)封闭壁部(20)的另一端部，通过上壁(23)的一端部、下壁(24)的一端部和侧壁(25、26)的一端部形成容器主体开口部，在下壁(24)设置有将被收纳物(RP)相对于容器主体(2)定位的定位部(50)，在上壁(23)设置有将被收纳物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压的下方按压部(60)，盖体(3)当封闭容器主体开口部时，使下方按压部(60)将被收纳物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压。物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压。物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器


[0001]本专利技术涉及对中间掩膜(reticule pod)进行收纳、保管、搬运、输送等时使用的基板收纳容器。

技术介绍

[0002]已知有用于对中间掩膜盒进行收纳并搬运等的容器，该中间掩膜盒用于收纳在半导体制造中使用的中间掩膜(例如参照专利文献1、专利文献2)。
[0003]容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的盒状的壁部。在容器主体内形成有盒收纳空间。盒收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳中间掩膜盒。盖体能够相对于开口周缘部拆装，并能够封闭容器主体开口部。在容器主体的内部设置有用于将中间掩膜盒固定于容器主体的盒固定部件，在通过盒固定部件将中间掩膜盒相对于容器主体固定的状态下，容器收纳中间掩膜盒。
[0004]在以往的容器中收纳中间掩膜盒时，设为将盖体从容器主体的开口周缘部卸下的状态，将中间掩膜盒插入盒收纳空间，在通过固定部件将中间掩膜盒相对于容器主体固定之后，通过盖体封闭容器主体开口部。但是，优选更顺畅地进行这样的中间掩膜盒向容器收纳的步骤。
[0005]专利文献1：日本专利公开公报特开2018
‑
30632号
[0006]专利文献2：美国专利申请公开第2018/0102269号说明书

技术实现思路

[0007]本专利技术目的在于提供一种能够更顺畅地进行中间掩膜盒向容器收纳的步骤的基板收纳容器。
[0008]本专利技术的基板收纳容器具备：容器主体，在内部形成有能够收纳被收纳物的盒收纳空间，在一端部具有形成有与所述盒收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部，所述容器主体具有壁部，该壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，通过所述后壁封闭所述壁部的另一端部，通过所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，在所述下壁设置有定位部，该定位部将所述被收纳物相对于所述容器主体定位，在所述上壁设置有下方按压部，该下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压，所述盖体当封闭所述容器主体开口部时，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
[0009]此外，优选所述盖体具有能够与所述下方按压部卡合的按压部被卡合部，当封闭所述容器主体开口部时，所述按压部被卡合部与所述下方按压部卡合，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
[0010]此外，优选所述盖体的所述按压部被卡合部以及与所述按压部被卡合部卡合的所述下方按压部的驱动部卡合部具有相互卡合的钩形状。
[0011]此外，优选所述下方按压部具备：前端部按压部，与所述被收纳物的上部抵接而将所述被收纳物向所述下壁的方向按压；按压部驱动部，与所述前端部按压部连结，能够伴随着所述盖体的移动而移动；以及施力部件，当所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，对所述按压部驱动部进行施力以使所述前端部按压部成为从被收纳物离开的状态。
[0012]此外，优选所述下方按压部具备：前端部按压部，与所述被收纳物的上部抵接而将所述被收纳物向所述下壁的方向按压；以及按压部驱动部，与所述前端部按压部连结，能够伴随着所述盖体的移动而移动，所述按压部驱动部当所述盖体向所述后壁的方向移动时，能够朝相对于水平方向成规定的角度的斜上方向移动。
[0013]此外，优选所述前端部按压部的上部由所述按压部驱动部向所述后壁的方向按压，由此，所述前端部按压部的下部从所述后壁侧向容器主体开口部侧移动并与所述被收纳物的上部抵接，将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
[0014]此外，优选构成所述壁部的材料由环烯烃聚合物构成。此外，优选具有能够将所述盒收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路。
[0015]根据本专利技术，能够提供一种能够更顺畅地进行中间掩膜盒向容器收纳的步骤的基板收纳容器。
附图说明
[0016]图1是表示本专利技术的一实施方式的基板收纳容器1的主视图。
[0017]图2是表示本专利技术的一实施方式的基板收纳容器1的俯视图。
[0018]图3是表示在本专利技术的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的侧方剖视图。
[0019]图4是表示在本专利技术的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的剖面立体图。
[0020]图5是在表示本专利技术的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP未固定于容器主体2的状态的侧方剖视图。
[0021]图6是表示在本专利技术的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP未固定于容器主体2的状态的剖面立体图。
具体实施方式
[0022]以下，参照附图说明本实施方式的基板收纳容器1。
[0023]图1是表示基板收纳容器1的主视图。图2是表示基板收纳容器1的俯视图。图3是表示在基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的侧方剖视图(沿着图2的A
‑
A线的侧方剖视图)。图4是表示在基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的剖面立体图(沿着图2的A
‑
A线的剖面立体图)。
[0024]此处，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图2中的从上朝下的方向)定义为前方向D11，将其相反的方向定义为后方向D12，将它们合并起来定义为前后方向D1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向D21，将
其相反的方向定义为下方向D22，将它们合并起来定义为上下方向D2。此外，将从后述第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右朝左的方向)定义为左方向D31，将其相反的方向定义为右方向D32，将它们合并起来定义为左右方向D3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
[0025]此外，收纳于基板收纳容器1的中间掩膜盒RP用于收纳一个或多个在半导体制造中为了进行曝光处理而使用的中间掩膜，如图3所示，中间掩膜盒RP的整体的外形形状为大致长方体形状，构成为中央部具有比周围的部分更厚的厚度的形状。
[0026]此外，基板收纳容器1的容器主体2能够与盖体3一起用于收纳基板，基板是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是在工业上使用的薄基板。本实施方式中的能够收纳于容器主体2和盖体3的基板是直径300mm的硅晶片。
[0027]即，如图1所示，基板收纳容器1的容器主体2和盖体3用作收纳具有基于SEMI规格的结构且由上述的硅晶片构成的基板并在工厂内的工序中搬运的工序内容器，或者用作通过陆运方式、空运方式、海运方式等的输送方式输送基板的发货容器。
[0028]容器主体2具有在一端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器具备：容器主体，在内部形成有能够收纳被收纳物的盒收纳空间，在一端部具有形成有与所述盒收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部，所述容器主体具有壁部，该壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，通过所述后壁封闭所述壁部的另一端部，通过所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，在所述下壁设置有定位部，该定位部将所述被收纳物相对于所述容器主体定位，在所述上壁设置有下方按压部，该下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压，所述盖体当封闭所述容器主体开口部时，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述盖体具有能够与所述下方按压部卡合的按压部被卡合部，当封闭所述容器主体开口部时，所述按压部被卡合部与所述下方按压部卡合，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述盖体的所述按压部被卡合部以及与所述按压部被卡合部卡合的...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤恭兵，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：