基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供一种基板收纳容器，具备：容器主体；盖体；能够将基板收纳空间与容器主体的外部的空间连通的通气路(210)；具有将流入通气路(210)的气体向基板收纳空间供给的多个开口部(802)的气体喷出喷嘴部(8)；以及能够使气体以均匀化的流量从多个开口部(802)流出的气体流量均匀化部，气体流量均匀化部具有形成在通气路(210)与开口部(802)之间的分支路(801)，该分支路(801)使来自通气路(210)的气体的流动分支，分支路(801)具有：分支开始部(8011)，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体平行地流通；以及多个前端侧分支部(8015)，使在分支开始部(8011)中流通的气体分别进一步分支并向开口部(802)流通。别进一步分支并向开口部(802)流通。别进一步分支并向开口部(802)流通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器


[0001]本专利技术涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。

技术介绍

[0002]作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中搬运的基板收纳容器，以往已知有具备容器主体以及盖体的构成的基板收纳容器(例如参照专利文献1～专利文献3)。
[0003]容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳基板。盖体能够相对于开口周缘部拆装，并能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置于壁部。当未通过盖体封闭容器主体开口部时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板的边缘部。
[0004]在盖体的一部分且当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件。当通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承基板的边缘部。另外，以与前部保持构件成对的方式在壁部设置有里侧基板支承部。里侧基板支承部能够支承基板的边缘部。当通过盖体封闭容器主体开口部时，里侧基板支承部通过与前部保持构件协同动作来支承基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离的排列的状态下保持基板。
[0005]专利文献1：日本专利第6431440号公报
[0006]专利文献2：日本专利第6367153号公报
[0007]专利文献3：日本特表2018
‑
527752号公报
[0008]在具有将基板收纳空间与基板收纳容器的外部连通的通气孔即吹扫孔的基板收纳容器中，在取下盖体的状态下，将清洁干燥空气(CDA)、氮气(N2)用作吹扫气体，将从基板收纳容器的外部的装载口供给的该吹扫气体从容器主体的下表面(外表面)通过贯通孔向设置于基板收纳容器内表面的气体喷出喷嘴部供给。由此进行气体吹扫。此时，为了通过气体吹扫可靠地进行吹扫气体的置换，要求从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给吹扫气体。

技术实现思路

[0009]本专利技术的目的在于提供一种在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器。
[0010]本专利技术涉及一种基板收纳容器，其具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且另一端部被封闭的筒状的壁部，由利用所述壁部的内侧的面内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳
空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，且能够封闭所述容器主体开口部；通气路，能够连通所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气路的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有分支路，所述分支路形成在所述通气路与所述开口部之间，使来自所述通气路的气体的流动分支，所述分支路具有：分支开始部，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体并列地平行流通；以及多个前端侧分支部，使在所述分支开始部中流通的气体分别进一步分支并向所述开口部流通。
[0011]另外，优选为，气体的流动方向上的所述分支开始部的上游端部从所述上游端部的入口开口朝上方向延伸。
[0012]另外，优选为，所述上游端部的入口开口位于从上下方向上的所述气体喷出喷嘴部的中央部的位置偏离的位置。
[0013]另外，优选为，在所述分支开始部分支并与一个所述前端侧分支部连接的所述分支开始部的气体的流路的流路长度为在所述分支开始部分支并与另一个所述前端侧分支部连接的所述分支开始部的气体的流路的流路长度的2倍以上。
[0014]根据本专利技术，能够提供一种在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器。
附图说明
[0015]图1是表示在本专利技术的实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的情况的分解立体图。
[0016]图2是表示本专利技术的实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。
[0017]图3是表示本专利技术的实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。
[0018]图4是表示本专利技术的实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的侧方剖视图。
[0019]图5是表示本专利技术的实施方式的基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81的立体图。
[0020]图6是表示本专利技术的实施方式的基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81的主视图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1：基板收纳容器；2：容器主体；3：盖体；8：突出部(气体喷出喷嘴部)；20：壁部；21：容器主体开口部；27：基板收纳空间；28：开口周缘部；210：通气路；802：开口部；8011：分支开始部(气体流量均匀化部、分支路)；8012：入口开口；8015：前端侧分支部(气体流量均匀化部、分支路)；W：基板。
具体实施方式
[0023]以下，参照附图对本实施方式的基板收纳容器1进行说明。
[0024]图1是表示在基板收纳容器1中收纳有多个基板W的情况的分解立体图。图2是表示基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。图3是表示基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。图4是表示基板收纳容器1的容器主体2的侧方剖视图。
[0025]在此，为了说明的方便，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向D11，将其相反的方向定义为后方向D12，将它们合并起来定义为前后方向D1。另外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向D21，将其相反的方向定义为下方向D22，将它们合并起来定义为上下方向D2。另外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方向D31，将其相反的方向定义为右方向D32，将它们合并起来定义为左右方向D3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
[0026]另外，收纳在基板收纳容器1中的基板W(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是在工业上使用的薄的基板。本实施方式的基板W是直径300mm的硅晶片。
[0027]如图1所示，基板收纳容器1收纳由上述的硅晶片构成的基板W，用作在工厂内的工序中进行搬运的工序内容器，或者用作用于通过陆运方式、空运方式、海运方式等输送方式输送基板的发货容器，基板收纳容器1包括容器主体2以及盖体3。容器主体2具备作为侧方基板支承部的基板支承板状部5以及里侧基板支承部6(参照图2等)，盖体3具备作为盖体侧基板支承部的未图示的前部保持构件。
[0028]容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分配置有基板支承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，且能够封闭所述容器主体开口部；通气路，能够连通所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气路的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有分支路，所述分支路形成在所述通气路与所述开口部之间，使来自所述通气路的气体的流动分支，所述分支路具有：分支开始部，使气体的流...

【专利技术属性】
技术研发人员：松鸟千明，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：