一种智能洁净缓存设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种智能洁净缓存设备，包括：支架；安装座，具有安装空间并吊设在支架上端；载盘，设置在安装空间内，载盘设置有进气口组和出气口组，进气口组的开口和出气口组的开口均朝向晶圆传送盒；进气管路，设置在载盘下表面，进气管路包括隔膜阀和层流质量流量控制器，隔膜阀入口与气源连通，隔膜阀出口与层流质量流量控制器入口连通，层流质量流量控制器出口与进气口组连通；调节管路，设置在载盘下表面，调节管路包括电磁阀和真空发生器，电磁阀入口与气源连通，电磁阀第一出口与隔膜阀的开度调节口连通，电磁阀第二出口与真空发生器的调节口连通；排气管路，设置在载盘的下表面，排气管路入口端与出气口组连通，排气管路出口端与真空发生器的入口连通。出口端与真空发生器的入口连通。出口端与真空发生器的入口连通。

【技术实现步骤摘要】
一种智能洁净缓存设备


[0001]本技术属于半导体装置
，更确切的说涉及半导体运输存储设备领域，尤其涉及一种智能洁净缓存设备。

技术介绍

[0002]现阶段晶圆生产过程中，一般采用晶圆传送盒进行传送，晶圆传送盒是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。晶圆传送盒的空中暂存站是传送设备相互协作、完成物料转移的重要程序。现有技术中公开了一种具有气体导引装置的光罩盒，其装设有一气体导引装置，气体导引装置连通光罩盒的至少一进气孔，并具有对应光罩盒的第一气体流动空间的第一出气开口及对应光罩盒的第二气体流动空间的第二出气开口。当进气孔供应一高洁净气体至气体导引装置，高洁净气体流经气体导引装置，并由第一出气开口及第二出气开口分别流至第一气体流动空间及第二气体流动空间，以使高洁净气体均匀分布于第一气体流动空间及第二气体流动空间
[0003]现有技术的缺点：现有的气体导引装置的光罩盒一般都放置在地面上进行清洁操作，因此会占用地面空间影响其他工序正常进行。
[0004]基于以上本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。
技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种智能洁净缓存设备，其特征在于，包括：支架，沿竖直方向设置；安装座，吊设在所述支架的上端位置，所述安装座内设置有安装空间；载盘，设置在所述安装空间内并用于放置晶圆传送盒，所述载盘设置有进气口组和出气口组，所述进气口组的开口和所述出气口组的开口均朝向所述晶圆传送盒；进气管路，设置在所述载盘的下表面，所述进气管路包括隔膜阀和层流质量流量控制器，所述隔膜阀的入口与气源连通，所述隔膜阀的出口与所述层流质量流量控制器的入口连通，所述层流质量流量控制器的出口与所述进气口组连通；调节管路，设置在所述载盘的下表面，所述调节管路包括电磁阀和真空发生器，所述电磁阀的入口与所述气源连通，所述电磁阀的第一出口与所述隔膜阀的开度调节口连通，所述电磁阀的第二出口与所述真空发生器的调节口连通；排气管路，设置在所述载盘的下表面，所述排气管路的入口端与所述出气口组连通，所述排气管路的出口端与所述真空发生器的入口连通。2.根据权利要求1所述的智能洁净缓存设备，其特征在于，所述智能洁净缓存设备还包括压力计和第一三通接头，所述第一三通接头的入口与所述出气口组连通，所述第一三通接头的第一出口与所述压力计连通，所述第一三通的第二出口与所述真空发生器的入口连通。3.根据权利要求2所述的智能洁净缓存设备，其特征在于，所述智能洁净缓存设备还包括温湿度传感器，所述排气管路上设置有第二三通接头，所述第二三通接头的入口与所述第一三通的第二出口连通，所述第二三通接头的第一出口与所述温湿度传感器连通，所述第二三通接头的第二出口与所述真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：李占国，王嘉祯，郑杨，成龙，涂炎兵，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：新型
国别省市：