【技术实现步骤摘要】
基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质
[0001]本专利技术涉及半导体晶圆传送控制领域，具体涉及一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质。
技术介绍
[0002]半导体元件在制作过程中通常包含一系列工艺，上述工艺按照特定的顺序且通常在特定的时间段内利用各种设备实现。晶圆制造厂(Fab)中的物料流系统的主要功能在于在正确时间点将晶圆传送到每一设备上，并追踪整个制造过程中晶圆的位置以及状态。
[0003]自动化物料搬运系统(AutomatedMaterialHandingSystem，AMHS)由于相对手动装置能更有效、一致、以及安全地实现自动化功能，因而近年来被广泛地用于物料流系统中。
[0004]当晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)欲传送时，制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)将给出目标存储柜(Destination Stocker)，之后，制造执行系统向自动化物料搬运系统中的物料控制系统(Material Control System，MCS)发出传送命令，后者接受命令后，通知传送管理者执行该传送。上述执行该传送过程中，MES仅能将传输指令一条一条发送给MCS，MCS需要和MES多次进行交互，然而这需要较长时间周期且成本较大。
技术实现思路
[0005]因此，为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质。>[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供一种基于晶圆传送监管控制方法，包括：制造执行单元生成传输指令，所述传输指令携带有目标晶圆的传送信息，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元接收所述生产单元根据指令序列发送的所述传输指令；所述物料管控单元获取所述传输指令中所述目标晶圆的传输状态信息；所述物流管控单元根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；控制物料搬运单元根据所述物流管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。
[0007]在其中一个实施例中，所述根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，包括：识别所述传送信息中携带所述目标晶圆的第一传送路径、初始储存位置以及目的储存位置；获取由所有储存位置映射的路由节点列表，所述路由节点列表携带有与所述储存位置对应的路由节点的属性信息，所述属性信息包括存储状态信息和权重；基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点；根据所述传送路由节点确定所述初始储存位置以及所述目的储存位置的第二传送路径，所述第二传送路径携带有各所述传送路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；将该第二传送路径与所述第一传送路径进行比对，生
成所述目标晶圆的目标传送路径。
[0008]在其中一个实施例中，所述基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，包括：获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据所述预设存储阈值、所述目标晶圆以及所述晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，并将不可存储所述目标晶圆的路由节点在预设次数的传送周次中的状态设置为否定状态。
[0009]在其中一个实施例中，所述获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值之前，还包括：接收发送来针对特定路由节点的关闭命令；根据所述关闭命令对所述路由节点列表中的各所述特定路由节点的状态更新为否定状态。
[0010]在其中一个实施例中，所述物料管控单元接收所述生产单元发送的所述传输指令，包括：所述物料管控单元接收所述传输指令，将所述传输指令的状态信息设置为等待中，并将所述传输指令和所述状态信息进行对应存储；所述物料管控单元根据所述物料搬运单元反馈的转移信息将所述传输指令的状态信息进行变更并存储。
[0011]在其中一个实施例中，当所述物料搬运单元反馈传送发生故障时，所述物料管控单元根据故障信息确定故障起因；当确定所述故障起因与存储目标晶圆的接收节点相关时，所述物料管控单元重新生成所述目标晶圆的目标传送路径；控制物料搬运单元根据所述物流管控单元重新生成的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。
[0012]在其中一个实施例中，当确定所述故障起因与存储目标晶圆的接收节点相关时，所述物料管控单元重新生成所述目标晶圆的目标传送路径，包括：获取所述接收节点附近的临时节点，并从所述传送信息中获取所述目标晶圆的目的储存位置；根据所述临时节点、所述目的存储位置以及路由节点列表，所述物料管控单元重新生成所述目标晶圆的目标传送路径。
[0013]一种基于晶圆传送监管控制系统，所述系统包括：制造执行单元，用于生成传输指令，所述传输指令携带有目标晶圆的传送信息，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元，用于接收所述生产单元根据指令序列发送的所述传输指令；获取所述传输指令中所述目标晶圆的传输状态信息；根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；物料搬运单元，用于根据所述物流管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。
[0014]一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述方法的步骤。
[0015]一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的方法的步骤。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：可以一次性传输多条指令，减少不同单元之间传输的交互时间及次数，提高程序处理速度。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附
图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0018]图1是本专利技术的实施例中基于晶圆传送监管控制系统的结构简图；
[0019]图2是本专利技术的实施例中基于晶圆传送监管控制方法的流程示意图；
[0020]图3是本专利技术的实施例中物料管控单元运行的流程示意图；
[0021]图4是本专利技术的实施例中目标传送路径生成步骤的流程示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0023]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于晶圆传送监管控制方法，其特征在于，包括：制造执行单元生成传输指令，所述传输指令携带有目标晶圆的传送信息，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元接收所述生产单元根据所述指令序列发送的所述传输指令；所述物料管控单元获取所述传输指令中所述目标晶圆的传输状态信息；所述物流管控单元根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；控制物料搬运单元根据所述物流管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述物流管控单元根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，包括：识别所述传送信息中携带所述目标晶圆的第一传送路径、初始储存位置以及目的储存位置；获取由所有储存位置映射的路由节点列表，所述路由节点列表携带有与所述储存位置对应的路由节点的属性信息，所述属性信息包括存储状态信息和权重；基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点；根据所述传送路由节点确定所述初始储存位置以及所述目的储存位置的第二传送路径，所述第二传送路径携带有各所述传送路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；将该第二传送路径与所述第一传送路径进行比对，生成所述目标晶圆的目标传送路径。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，包括：获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据所述预设存储阈值、所述目标晶圆以及所述晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，并将不可存储所述目标晶圆的路由节点在预设次数的传送周次中的状态设置为否定状态。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值之前，还包括：接收发送来针对特定路由节点的关闭命令；根据所述关闭命令对所述路由节点...
【专利技术属性】
技术研发人员：申国莉，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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