集成式氮气净化设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种集成式氮气净化设备，包括：箱体；若干结构相同的气控模块，气控模块可拆卸固定于箱体内；气控模块连接晶圆装卸机，气控模块用于向晶圆装卸机供应工作气体，以及用于排出从晶圆装卸机回流的工作气体；每个气控模块设置有数显式流量传感器和数显式压力传感器。当进行故障排查时，可以通过数显式设备快速完成排查作业，同时能够将晶圆装卸机转接至氮气净化设备中的其他未使用的气控模块，执行故障气控模块维修，保证氮气供应，保障晶圆产品安全，并且气控模块的结构统一，集成化水平高，不仅有利于维修保养和零配件采购，还能有效减少占地面积。还能有效减少占地面积。还能有效减少占地面积。

【技术实现步骤摘要】
集成式氮气净化设备


[0001]本说明书涉及半导体制造
，具体涉及一种集成式氮气净化设备。

技术介绍

[0002]氮气净化设备是晶圆生产中常见的FOUP盒(前开式晶圆传送盒，Front Opening Unified Pod)净化设备，是为装载有FOUP盒的机台供应氮气的设备，其中FOUP盒内装载有多片晶圆。氮气净化设备通过管道连接机台，为FOUP盒提供一定压力、浓度的氮气，使得规定流量的气体通过FOUP盒，带走有损晶圆质量的颗粒，实现晶圆净化。
[0003]现有的晶圆净化工序中，氮气净化设备整合在机台中且结构复杂，气路装置和电气装置交织分布，若氮气净化设备出现故障，需要在机台中逐一排查设备部件，以确定问题出处，检修时间长，然而晶圆的净化工序需要持续提供气流环境，如果氮气净化设备进行长时间的维修作业，不仅影响生产进度，而且会使晶圆的产品质量面临风险。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种集成式氮气净化设备，能够方便地进行故障排查和检修，缩短设备维修时间，保障晶圆产品安全，保障生产效率。
[0005]本技术实施例提供以下技术方案：
[0006]一种集成式氮气净化设备，包括：
[0007]箱体；
[0008]若干结构相同的气控模块，所述气控模块可拆卸固定于所述箱体内；
[0009]所述气控模块连接晶圆装卸机，所述气控模块用于向所述晶圆装卸机供应工作气体，以及用于排出从所述晶圆装卸机回流的工作气体；
[0010]所述气控模块设置有数显式流量传感器，用于显示工作气体流量；
[0011]所述气控模块还设置有数显式压力传感器，用于显示工作气体压力。
[0012]在上述方案中，当进行故障排查时，可以通过数显式流量传感器和数显式压力传感器快速完成排查作业，同时能够将晶圆装卸机转接至氮气净化设备中的其他未使用的气控模块，执行故障气控模块维修，保证氮气供应，保障晶圆产品安全，此外，各个气控模块的结构统一，集成化水平高，不仅有利于维修保养和零配件采购，还能有效减少占地面积。
[0013]本技术还提供一种方案，所述气控模块包括：
[0014]进气装置，所述进气装置包括供气接口，所述供气接口连接所述晶圆装卸机的进气接口，以向所述晶圆装卸机供应工作气体；
[0015]回气装置，所述回气装置包括回气接口，所述回气接口连接所述晶圆装卸机的排气接口，以排出从所述晶圆装卸机回流的工作气体。
[0016]本技术还提供一种方案，所述数显式流量传感器设置于所述进气装置中，用于显示所述进气装置的工作气体流量；
[0017]和/或，所述数显式压力传感器设置于所述回气装置中，用于显示所述回气装置的
工作气体压力。
[0018]本技术还提供一种方案，所述进气装置还包括单向节流阀和单向节流阀控制装置；
[0019]所述单向节流阀设置于所述数显式流量传感器和所述供气接口之间；
[0020]所述单向节流阀控制装置电连接所述单向节流阀，用于控制所述单向节流阀的流速。
[0021]本技术还提供一种方案，所述进气装置还包括过滤器，所述过滤器设置于所述单向节流阀和所述供气接口之间。
[0022]本技术还提供一种方案，所述进气装置还包括隔膜阀，所述隔膜阀设置于所述进气装置的进气端和数显式流量传感器之间；
[0023]其中，所述进气端连接气源。
[0024]本技术还提供一种方案，所述回气装置还包括真空发生器，所述真空发生器设置于所述回气接口之后，用于排出从所述晶圆装卸机回流的工作气体。
[0025]本技术还提供一种方案，所述回气装置还包括温湿度传感器，用于测量所述回气装置的工作气体的温度和湿度。
[0026]本技术还提供一种方案，所述集成式氮气净化设备还包括若干控制模块，每个所述控制模块电连接一个所述气控模块，所述控制模块用于控制述气控模块的进气流量和/或排气流量。
[0027]本技术还提供一种方案，所述控制模块设置于所述箱体中远离所述气控模块的侧板内壁。
[0028]本技术还提供一种方案，所述气控模块还包括快接接口，所述快接接口用于连接晶圆装卸机和/或气源。
[0029]本技术还提供一种方案，所述集成式氮气净化设备还包括显示装置，所述显示装置安装于所述集成式氮气净化设备上部，用于展示至少一个所述气控模块的工作状态参数。
[0030]与现有技术相比，本技术采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：通过在集成式氮气净化设备中设置若干个结构相同的气控模块，每个气控模块用于晶圆装卸机供应工作气体和排出回流的工作气体，并且每个气控模块还设置有数显式流量传感器和数显式压力传感器，当进行故障排查时，可以通过数显式流量传感器和数显式压力传感器的读数判断发生故障的气控模块，快速完成排查作业，同时能够将晶圆装卸机转接至氮气净化设备中的其他未使用的气控模块，拆卸故障气控模块进行维修，保证氮气供应，保障晶圆产品安全，保障生产效率；其次，每个气控模块的结构统一，有利于维修配件的采购和更换，缩短设备维修时间，也有利于常规保养作业；再次，该氮气净化设备内部结构的集成化水平高，有利于减少设备的占地面积。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0032]图1是一种集成式氮气净化设备的正面剖视示意图；
[0033]图2是一种集成式氮气净化设备的后侧剖视示意图；
[0034]图3是一种集成式氮气净化设备的侧面剖视示意图；
[0035]图4是一种气控模块的剖视示意图；
[0036]图5是一种集成式氮气净化设备的结构框图；
[0037]其中，1、箱体，2、气控模块，21、数显式流量传感器，22、单向节流阀，23、数显式压力传感器，24、进气端，25、排气端，26、回气接口，27、供气接口，28、隔膜阀，29、电磁阀，210、真空发生器，211、温湿度传感器，212，过滤器，3、电控箱，4、工控机显示屏，5、脚杯，6、固定板，7、控制模块。
具体实施方式
[0038]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0039]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式氮气净化设备，其特征在于，包括：箱体；若干结构相同的气控模块，所述气控模块可拆卸固定于所述箱体内；所述气控模块连接晶圆装卸机，所述气控模块用于向所述晶圆装卸机供应工作气体，以及用于排出从所述晶圆装卸机回流的工作气体；所述气控模块设置有数显式流量传感器，用于显示工作气体流量；所述气控模块还设置有数显式压力传感器，用于显示工作气体压力。2.根据权利要求1所述的集成式氮气净化设备，其特征在于，所述气控模块包括：进气装置，所述进气装置包括供气接口，所述供气接口连接所述晶圆装卸机的进气接口，以向所述晶圆装卸机供应工作气体；回气装置，所述回气装置包括回气接口，所述回气接口连接所述晶圆装卸机的排气接口，以排出从所述晶圆装卸机回流的工作气体。3.根据权利要求2所述的集成式氮气净化设备，其特征在于，所述数显式流量传感器设置于所述进气装置中，用于显示所述进气装置的工作气体流量；和/或，所述数显式压力传感器设置于所述回气装置中，用于显示所述回气装置的工作气体压力。4.根据权利要求3所述的集成式氮气净化设备，其特征在于，所述进气装置还包括单向节流阀和单向节流阀控制装置；所述单向节流阀设置于所述数显式流量传感器和所述供气接口之间；所述单向节流阀控制装置电连接所述单向节流阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：王嘉祯，成龙，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：新型
国别省市：