一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法技术方案

一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，包括控制箱与多个原料罐，控制箱内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器，化学品接口通过一号气动阀与原料罐的液相接口连通，吹扫气接口依次经一号单向阀、一号气动微漏阀、二号气动阀后通过四号气动阀、五号气动阀分别与原料罐的液相接口、气相接口连通，真空泵接口经三号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通，真空发生器经六号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通，六号气动阀与二号气动阀连通，压料气接口依次经二号单向阀、七号气动阀后分别与五号气动阀、气相连接接口连通。本设计不仅适用范围广、可靠性高，而且自动化程度高。而且自动化程度高。而且自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】
一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法


[0001]本专利技术涉及化学品充装与供应
，尤其涉及一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法，主要适用于提高适用范围、可靠性与自动化程度。

技术介绍

[0002]超净高纯少量应用的电子级特殊化学品，比如GeCl4、TMA、TEOS等，达不到建站供应的需求量，一般采用原料周转罐进行不间断供料的供应模式，广泛应用于光纤、太阳能电池、半导体制造工艺中。由于以上化学品不仅有危化品的特点：易燃易爆、腐蚀、有毒，而且有超高纯洁净要求，所以对设备的制造有着极高的要求。超净高纯化学品充装装置，是将化学品生产企业产品线或储存容器内的合格产品，进行不同规格料罐的充装及转运销售，如50KG、250KG、1500KG等；超净高纯化学品供应装置，则是化学品应用企业将不同规格原料罐的原料，输送至工艺生产设备进行产品的生产制造。
[0003]现有化学品装置存在如下缺陷：首先，化学品装置功能单一，要么是化学品生产企业使用的只有充装功能的充装设备，要么是化学品应用企业使用的只有供应功能的供料设备，两种设备不能兼容替换；另外，化学品装置多为手动操作，自动化程度低、操作流程复杂繁琐，对人员专业素养要求极高，使得化学品装置适用范围窄、自动化程度低；其次，无法根据生产使用需求或工艺生产需求，同时对不同种类、不同规格的化学品进行输入或输出，使得化学品装置适用范围较窄；最后，对原料罐充装或化学品供应时，并未对原料罐连接管路内残留物进行吹扫，也未对充装或供应装置内部气密性进行检测，从而使得充装或供应装置的可靠性较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是克服现有技术中存在的适用范围窄、可靠性低、自动化程度低的缺陷与问题，提供一种适用范围广、可靠性高、自动化程度高的超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法。
[0005]为实现以上目的，本专利技术的技术解决方案是：一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，包括柜体及其内设置的控制箱、多个原料罐；所述控制箱内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器；所述进出料阀组包括多个一号气动阀，多个化学品接口通过多个一号气动阀与多个液相连接接口连通；所述吹扫阀组包括一号单向阀、一号气动微漏阀、二号气动阀与三号气动阀，吹扫气接口依次经一号单向阀、一号气动微漏阀后与二号气动阀的一端连通，二号气动阀的另一端通过多个四号气动阀与多个液相连接接口连通，二号气动阀的另一端通过多个五号气动阀与多个气相连接接口连通，真空泵接口经三号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通；所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口连通，真空发生器的出气口与尾气排
放接口连通，真空发生器的吸气口与六号气动阀的一端连通，六号气动阀的另一端分别与四号气动阀、五号气动阀连通，六号气动阀的另一端与二号气动阀的另一端连通；所述压料阀组包括多个二号单向阀与多个七号气动阀，压料气接口依次经二号单向阀、七号气动阀后分别与五号气动阀、气相连接接口连通，五号气动阀与四号气动阀连通；多个所述液相连接接口通过多根液相连接管路分别与多个原料罐的液相接口连通，多个所述气相连接接口通过多根气相连接管路分别与多个原料罐的气相接口连通。
[0006]所述真空发生器包括文丘里发生器、三号单向阀与二号气动微漏阀，所述文丘里发生器的进气口依次经三号单向阀、二号气动微漏阀后与驱动气输入接口连通，文丘里发生器的出气口与尾气排放接口连通，文丘里发生器的吸气口与六号气动阀连通。
[0007]所述一号单向阀依次经一号减压阀、一号过滤器、一号隔膜阀后与吹扫气接口连通。
[0008]所述二号气动阀与六号气动阀之间的管路上设置有一号压力传感器。
[0009]所述一号气动阀经二号隔膜阀后与化学品接口连通，一号气动阀与液相连接接口之间的管路上设置有二号压力传感器，两个一号气动阀之间通过三号隔膜阀连通。
[0010]所述二号单向阀依次经二号减压阀、二号过滤器、四号隔膜阀后与压料气接口连通，二号单向阀与二号减压阀之间的管路上设置有三号压力传感器。
[0011]所述系统还包括取样容器与八号气动阀，所述取样容器的液相接口依次经一号取样接口、五号隔膜阀、八号气动阀、液相连接接口后与原料罐的液相接口连通，取样容器的气相接口依次经二号取样接口、六号隔膜阀后与尾气排放接口连通，所述八号气动阀与四号气动阀连通。
[0012]所述柜体上设置有毒气侦测器与抽风风阀；所述原料罐的底部设置有磅秤。
[0013]一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统的控制方法，所述控制方法包括以下步骤：S1、先开启一号气动微漏阀与二号气动阀，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，再开启真空发生器与六号气动阀，抽出系统管路内气体，以使系统管路内成为负压，然后检测系统管路内压力，以此判断真空发生器功能是否正常；S2、先开启二号气动阀、四号气动阀与五号气动阀，再将吹扫气充入系统管路，此时，一号气动微漏阀为关闭状态，该状态下会有微流量吹扫气流至液相连接接口与气相连接接口，然后将原料罐的液相接口通过液相连接管路连接至液相连接接口，原料罐的气相接口通过气相连接管路连接至气相连接接口；S3、先开启一号气动微漏阀、二号气动阀、四号气动阀与五号气动阀，再将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，然后对液相连接管路与气相连接管路的气密性进行测试；S4、当原料罐需要进行吹扫置换时，先打开原料罐气液相阀门，再开启一号气动微漏阀、二号气动阀、四号气动阀与五号气动阀，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，然后开启三号气动阀，抽出原料罐内气体，达到预设真空压力后关闭三号气动阀；当原料罐无需进行吹扫置换时，先开启一号气动微漏阀、二号气动阀、四号气动阀
与五号气动阀，再将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，然后开启真空发生器与六号气动阀，抽出系统管路内气体，达到预设真空压力后关闭真空发生器与六号气动阀；S5、打开原料罐气液相阀门，并开启一号气动阀与五号气动阀，化学品进入原料罐开始充装，当原料罐内化学品重量达到预设值时，关闭一号气动阀与五号气动阀；充装过程中，当原料罐内压力上升超过预设值时，开启六号气动阀，通过尾气排放接口进行泄压；当原料罐内压力降低至预设值时，关闭六号气动阀；S6、开启五号气动阀与六号气动阀，通过尾气排放接口泄放原料罐内压力，原料罐内压力达到预设压力后关闭五号气动阀与六号气动阀；开启四号气动阀、五号气动阀与七号气动阀，将气体充入系统管路，以将管路内液体压入原料罐；S7、检测原料罐内压力，当原料罐内压力低于预设值时，开启七号气动阀进行充气；当原料罐内压力高于预设值时，开启五号气动阀与六号气动阀，通过尾气排放接口进行泄压；S8、先关闭原料罐气液相阀门，再开启真空发生器与六号气动阀，抽出系统管路内气体，达到真空压力后关闭真空发生器与六号气动阀，然后对液相连接管路与气相连接管路的气密性进行测试；S9、开启一号气动微漏阀、二号气动阀、四号气动阀与五号气动阀，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气；开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，包括柜体(1)及其内设置的控制箱(2)、多个原料罐(3)，其特征在于：所述控制箱(2)内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器；所述进出料阀组包括多个一号气动阀(4)，多个化学品接口(5)通过多个一号气动阀(4)与多个液相连接接口(6)连通；所述吹扫阀组包括一号单向阀(7)、一号气动微漏阀(8)、二号气动阀(9)与三号气动阀(10)，吹扫气接口(11)依次经一号单向阀(7)、一号气动微漏阀(8)后与二号气动阀(9)的一端连通，二号气动阀(9)的另一端通过多个四号气动阀(12)与多个液相连接接口(6)连通，二号气动阀(9)的另一端通过多个五号气动阀(13)与多个气相连接接口(14)连通，真空泵接口(15)经三号气动阀(10)后分别与四号气动阀(12)、五号气动阀(13)连通；所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口(16)连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口(17)连通，真空发生器的吸气口与六号气动阀(18)的一端连通，六号气动阀(18)的另一端分别与四号气动阀(12)、五号气动阀(13)连通，六号气动阀(18)的另一端与二号气动阀(9)的另一端连通；所述压料阀组包括多个二号单向阀(19)与多个七号气动阀(20)，压料气接口(21)依次经二号单向阀(19)、七号气动阀(20)后分别与五号气动阀(13)、气相连接接口(14)连通，五号气动阀(13)与四号气动阀(12)连通；多个所述液相连接接口(6)通过多根液相连接管路(22)分别与多个原料罐(3)的液相接口连通，多个所述气相连接接口(14)通过多根气相连接管路(23)分别与多个原料罐(3)的气相接口连通。2.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所述真空发生器包括文丘里发生器(24)、三号单向阀(25)与二号气动微漏阀(26)，所述文丘里发生器(24)的进气口依次经三号单向阀(25)、二号气动微漏阀(26)后与驱动气输入接口(16)连通，文丘里发生器(24)的出气口与尾气排放接口(17)连通，文丘里发生器(24)的吸气口与六号气动阀(18)连通。3.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所述一号单向阀(7)依次经一号减压阀(27)、一号过滤器(28)、一号隔膜阀(29)后与吹扫气接口(11)连通。4.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所述二号气动阀(9)与六号气动阀(18)之间的管路上设置有一号压力传感器(30)。5.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所述一号气动阀(4)经二号隔膜阀(31)后与化学品接口(5)连通，一号气动阀(4)与液相连接接口(6)之间的管路上设置有二号压力传感器(32)，两个一号气动阀(4)之间通过三号隔膜阀(33)连通。6.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所述二号单向阀(19)依次经二号减压阀(34)、二号过滤器(35)、四号隔膜阀(36)后与压料气接口(21)连通，二号单向阀(19)与二号减压阀(34)之间的管路上设置有三号压力传感器(37)。7.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所
述系统还包括取样容器(38)与八号气动阀(39)，所述取样容器(38)的液相接口依次经一号取样接口(40)、五号隔膜阀(41)、八号气动阀(39)、液相连接接口(6)后与原料罐(3)的液相接口连通，取样容器(38)的气相接口依次经二号取样接口(42)、六号隔膜阀(43)后与尾气排放接口(17)连通，所述八号气动阀(39)与四号气动阀(12)连通。8.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，其特征在于：所述柜体(1)上设置有毒气侦测器(44)与抽风风阀(45)；所述原料罐(3)的底部设置有磅秤(46)。9.一种权利要求1所述的超净高纯化学品全自动充装与供应系统的控制方法，其特征在于：所述控制方法包括以下步骤：S1、先开启一号气动微漏阀(8)与二号气动阀(9)，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，再开启真空发生...

【专利技术属性】
技术研发人员：李英杰，罗专文，陈涛，李聃，陈迪，
申请(专利权)人：武汉沅净科技有限公司，
类型：发明
国别省市：