本实用新型提供了洁净室用单驱动双向伸缩装置及自动化送料系统，其中，洁净室用单驱动双向伸缩装置包括：固定板、一级伸缩板、二级伸缩板和三级伸缩板驱动组件，设置在一级伸缩板的一侧并与一级伸缩板固定连接，驱动组件能够驱动一级伸缩板相对于固定板移...

本发明提供了一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质，属于晶圆传送控制领域，方法包括制造执行单元生成传输指令，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元接收根据指令序列发送的传输指令；物...

本发明提供一种空中运输车行走轨道及自动物料搬送系统，行走轨道包括若干直轨段、设置在直轨段一侧的岔口段和设置在岔口段上方的导向轨道，直轨段包括平行设置的、用于支撑空中运输车行进的两个直行轨道，直轨段和导向轨道吊装于空中，岔口段包括至少一个...

本申请提供了一种网络通信方法、装置、计算机设备和存储介质，属于网络领域，方法包括通过消息通道接收发送端发送的第一数据信息，第一数据信息携带有发送端信息、主题消息以及对应的消息执行队列；控制接收端通过网络端口对第一数据信息进行侦听并检验，...

本申请提供一种晶圆盒交换传输设备及其驱动装置、存储库，应用于半导体制造设备技术领域，其中驱动装置包括：水平运动机构、垂直运动机构和运动机构底座，水平运动机构中第一动力单元和第一直线运动单元分离布设，水平运动机构和垂直运动机构通过运动机构...

本申请提供一种空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道，应用于半导体制造设备技术领域，其中组装夹具包括相对设置的两个固定底板、将两个固定底板固定连接的横杆以及对待组装的导轨进行限位的限位机构。通过相对设置两固定底板，并采用横杆加以...

本发明提供了一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统，其中晶圆盒存储库坐标数据处理方法，包括以下步骤：采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像；获取目标图像与目标阁位对应的原始图像之间的对比结果；根据对比结果确定目标阁位对应的坐标修正数据...

本发明提供了一种用于半导体物料仓储设备的SECSGEM通讯转换系统及方法，系统包括：仓储系统对接的上位系统层，用于接收仓储系统反馈的搬运信息和状态信息，以及发送业务命令和信息；服务层，所述服务层与所述仓储系统对接的上位系统层通讯连接，用...

本申请提供一种空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道，应用于半导体制造设备技术领域，其中组装夹具包括相对设置的两个固定底板、将两个固定底板固定连接的横杆以及对待组装的导轨进行限位的限位机构。通过相对设置两固定底板，并采用横杆加以...

本实用新型提供了一种集成式氮气净化设备，包括：箱体；若干结构相同的气控模块，气控模块可拆卸固定于箱体内；气控模块连接晶圆装卸机，气控模块用于向晶圆装卸机供应工作气体，以及用于排出从晶圆装卸机回流的工作气体；每个气控模块设置有数显式流量传...

本发明提供一种晶圆盒运输装置和晶圆盒储存库，应用于半导体制造设备技术领域，其中晶圆盒运输装置设置于储存库的人工窗口中，用于在人工窗口与储存库之间传送晶圆盒，所述晶圆盒传输装置包括：传送机台和交互系统，交互系统设置于储存库的外侧，传送机台...

本发明提供了一种天车行走安全监测系统及天车，用于晶圆盒运输，其中天车行走安全监测系统包括：设置于天车行进方向一侧的保护罩外壁的第一图像采集装置，设置于保护罩外壁的下侧端面的第二图像采集装置，以及图像识别系统，第一图像采集装置用于采集包含...

本发明提供了一种位置识别系统，用于识别晶圆盒载盘的三维坐标信息，晶圆盒载盘为多个并设置于晶圆盒存储架中，位置识别系统包括：对应设置于每个晶圆盒载盘定位标志和识别标志；摄像装置，用于拍摄记载有定位标志的定位图像和记载有识别标志的识别图像；...

本发明提供一种晶圆盒移载控制方法，应用于存储系统的移载机构。其中，精准移载控制方法包括：当接收到移载指令时，确定移载指令对应的第一目标位置和第二目标位置；确定第一路程和第一最大速度；根据第一最大速度和第一速度分段控制策略，确定在第一移载...

本申请提供一种传送晶圆盒的驱动机构、装置、方法及存储库，应用于半导体制造设备技术领域，其中传送晶圆盒的驱动机构包括水平运动机构、垂直运动机构和底座，水平运动机构和垂直运动机构在空间上错开布设，以及水平运动机构的动力单元和垂直运动机构的动...

本发明提供一种具有轨道监测功能的晶圆存储库及轨道监测方法，存储库包括：堆垛机；用于堆垛机行走的行走轨道；安装于堆垛机上的九轴陀螺仪组件；其中，九轴陀螺仪组件对堆垛机运行时的状态进行实时监测并将监测结果发送给外部终端以生成监测曲线，通过监...

本发明提供一种空中运输小车的行走状态监测装置和方法，应用于半导体晶圆传送控制技术领域。其中，空中运输小车的行走状态监测装置包括：传感器模块安装在行走基板的上方，用于在空中运输小车的运行过程中，实时获取空中运输小车的运动信息，并根据运动信...

本说明书提供一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法，应用于半导体晶圆传送控制技术领域。其中，空中运输小车的行走定位控制装置包括：标定板和图像采集装置；标定板设置在轨道第一侧的下方，标定板上设置有识别标识，识别标识用于在图像采集装置中形...

本发明提供了一种存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质，属于晶圆管理领域，方法包括获取存储仓列表，存储仓列表中存储有多个存储库的存储库标识以及对应的历史工作参数信息；根据属性以及存储容量对存储仓列表中可存储待运输晶圆的所有存储库进行...

本发明提供了一种移载装置与空中运输车，其中，移载装置包括升降机构和夹持机构，夹持机构通过柔性连接部件活动安装于升降机构下方，移载装置还包括磁共振供电装置和安装于夹持装置的电池，磁共振供电装置包括相互磁耦合的送电线圈和受电线圈，电池分别与...