一种位置识别系统技术方案

本发明专利技术提供了一种位置识别系统，用于识别晶圆盒载盘的三维坐标信息，晶圆盒载盘为多个并设置于晶圆盒存储架中，位置识别系统包括：对应设置于每个晶圆盒载盘定位标志和识别标志；摄像装置，用于拍摄记载有定位标志的定位图像和记载有识别标志的识别图像；处理器通讯连接摄像装置的处理器，用于：获取定位图像，基于定位图像识别晶圆盒载盘的偏转角度，获取偏转角度小于预设数值的晶圆盒载盘对应的识别图像，根据识别图像确定晶圆盒载盘的编号信息和三维坐标信息。通过判断晶圆盒载盘是否处于水平状态，然后获取水平的晶圆盒载盘的编号信息和三维坐标信息，为后续堆垛作业提供作业参数，保障堆垛作业安全和晶圆盒储存安全。保障堆垛作业安全和晶圆盒储存安全。保障堆垛作业安全和晶圆盒储存安全。

【技术实现步骤摘要】
一种位置识别系统


[0001]本说明书涉及半导体生产中的晶圆传输存储设备，具体涉及一种位置识别系统。

技术介绍

[0002]在晶圆的生产过程中，需要专门的晶圆盒的储存装置，例如在机台附近设置的缓存区域，该些储存区域一般采用晶圆盒储存架来实现储存功能。晶圆盒储存架设置有多个晶圆盒载盘，便于自动堆垛装置放置晶圆盒。
[0003]在使用过程，由于重力沉降、安装或维护、堆垛过程中的碰撞等原因，晶圆盒载盘可能发生歪斜，然而晶圆盒中放置有数十片晶圆，如果发生意外坠落的现象，将会造成重大的损失。因此，需要一种晶圆盒载盘使用的位置识别系统，能够判断晶圆盒载盘是否处于水平状态，并且获取圆盒载盘的三维坐标信息，以便于晶圆盒的自动堆垛作业。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种位置识别系统，能够判断晶圆盒载盘的水平状态，并获取水平的晶圆盒载盘的位置信息和编号信息，为后续堆垛作业提供作业参数，保障堆垛作业安全和储存安全。
[0005]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0006]一种位置识别系统，用于识别晶圆盒载盘的三维坐标信息，所述晶圆盒载盘为多个并设置于晶圆盒存储架中，所述位置识别系统包括：
[0007]多个定位标志和多个识别标志，所述定位标志和所述识别标志对应设置于每个所述晶圆盒载盘；
[0008]摄像装置，用于：
[0009]拍摄所述定位标志以生成定位图像，以及拍摄所述识别标志以生成识别图像；
[0010]处理器，所述处理器通讯连接所述摄像装置，用于：
[0011]获取所述定位图像，基于所述定位图像识别晶圆盒载盘的偏转角度，获取所述偏转角度小于预设数值的所述晶圆盒载盘对应的所述识别图像，根据所述识别图像确定所述晶圆盒载盘的编号信息和三维坐标信息。
[0012]在上述方案中，首先根据摄像装置拍摄的定位图像，由处理器判断晶圆盒载盘的水平状态是否符合预设标准，然后处理器获取摄像装置拍摄的识别图像，确定晶圆盒载盘的编号信息和三维坐标信息，为后续堆垛作业提供作业参数，避免了堆垛作业将晶圆盒放置于歪斜的晶圆盒载盘上的风险，保障堆垛作业安全和晶圆盒储存安全。
[0013]本说明书实施例还提供一种方案，所述定位标志设置于所述晶圆盒载盘的承载面；
[0014]和/或，所述识别标志设置于所述晶圆盒载盘的外侧面。
[0015]本说明书实施例还提供一种方案，所述定位标志包括多条直线段和/或多条曲线段。
[0016]本说明书实施例还提供一种方案，所述摄像装置设置于堆垛机械臂的末端，所述堆垛机械臂用于向所述晶圆盒载盘放置晶圆盒。
[0017]本说明书实施例还提供一种方案，所述摄像装置包括第一摄像装置和第二摄像装置，所述第一摄像装置设置于所述末端的下侧端面，所述第二摄像装置设置于所述末端的上侧端面。
[0018]本说明书实施例还提供一种方案，所述摄像装置包括高速相机。
[0019]本说明书实施例还提供一种方案，所述摄像装置还包括光源，所述光源用于向所述定位标志和/或所述识别标志提供照明。
[0020]本说明书实施例还提供一种方案，所述位置识别系统还包括数据存储模块，所述数据存储模块用于存储所述晶圆盒载盘的偏转角度信息、编号信息和三维坐标信息中的任意一种或组合。
[0021]本说明书实施例还提供一种方案，所述位置识别系统还包括计算模块，所述计算模块用于根据第一晶圆盒载盘和第二晶圆盒载盘的三维坐标信息计算第三晶圆盒载盘的三维坐标数据；
[0022]其中，所述第一晶圆盒载盘、所述第二晶圆盒载盘和所述第三晶圆盒载盘呈直线结构，所述第一晶圆盒载盘位于所述直线结构的起点，所述第二晶圆盒载盘位于所述第一晶圆盒载盘的相邻位置，所述第三晶圆载盘位于所述直线结构的其余位置。
[0023]本说明书实施例还提供一种方案，所述位置识别系统还包括报警模块，所述报警模块用于：
[0024]获取每个晶圆盒载盘的偏转角度；当偏转角度大于等于预设数值时，输出报警信号，其中所述报警信号包括所述晶圆盒载盘的编号信息。
[0025]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：通过在每个晶圆盒载盘设置定位标志和识别标志，采用摄像装置拍摄包含定位标志的人定位图像，以及包含识别标志的识别图像，处理器首先根据定位图像识别晶圆盒载盘的偏转角度，对于偏转角度小于预设数值的晶圆盒载盘，即符合水平状态要求的晶圆盒载盘，处理器获取对应的识别图形，并获取识别图像中的编号信息和三维坐标信息，为后续堆垛作业提供作业参数，避免了堆垛作业将晶圆盒放置于歪斜的晶圆盒载盘上的风险，保障堆垛作业安全和晶圆盒储存安全。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0027]图1是一种晶圆盒储存架内部结构的正视示意图；
[0028]图2是一种晶圆盒储存架内部结构的俯视示意图；
[0029]图3是一种晶圆盒储存架内部结构的立体示意图；
[0030]图4是一种堆垛机械臂结构的立体示意图；
[0031]图5是一种计算模块的晶圆盒载盘编号的示意图；
[0032]图6是一种计算模块的晶圆盒载盘坐标信息的示意图；
[0033]其中，1、晶圆盒储存架，11、晶圆盒载盘，12、定位标志，13、识别标志，2、堆垛机械臂，21、第一摄像装置，22、第二摄像装置。
具体实施方式
[0034]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0035]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0036]需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位置识别系统，用于识别晶圆盒载盘的三维坐标信息，所述晶圆盒载盘为多个并设置于晶圆盒存储架中，其特征在于，所述位置识别系统包括：多个定位标志和多个识别标志，所述定位标志和所述识别标志对应设置于每个所述晶圆盒载盘；摄像装置，用于：拍摄所述定位标志以生成定位图像，以及拍摄所述识别标志以生成识别图像；处理器，所述处理器与所述摄像装置通讯连接，用于：获取所述定位图像，基于所述定位图像识别晶圆盒载盘的偏转角度，获取所述偏转角度小于预设数值的所述晶圆盒载盘对应的所述识别图像，根据所述识别图像确定所述晶圆盒载盘的编号信息和三维坐标信息。2.根据权利要求1所述的位置识别系统，其特征在于，所述定位标志设置于所述晶圆盒载盘的承载面上；和/或，所述识别标志设置于所述晶圆盒载盘的外侧面。3.根据权利要求1所述的位置识别系统，其特征在于，所述定位标志包括多条直线段和/或多条曲线段。4.根据权利要求1所述的位置识别系统，其特征在于，所述摄像装置设置于堆垛机械臂的末端，所述堆垛机械臂用于向所述晶圆盒载盘放置晶圆盒。5.根据权利要求4所述的位置识别系统，其特征在于，所述摄像装置包括第一摄像装置和第二摄像装置，所述第一摄像装置设置于所述末端的下侧端面，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：成龙，祝强强，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：