空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道制造技术

本申请提供一种空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道，应用于半导体制造设备技术领域，其中组装夹具包括相对设置的两个固定底板、将两个固定底板固定连接的横杆以及对待组装的导轨进行限位的限位机构。通过相对设置两固定底板，并采用横杆加以固定，以及在两固定底板上设置有组装空中运输车行走轨道时的限位机构，保证了利用该组装夹具组装得到的行走轨道，在间距、水平度、断差、间隙、直线度等轨道组装精度要求，而且通过该组装夹具可以快速组装行走轨道，提高了行走轨道的组装效率，缩短了行走轨道的组装周期，有利于在半导体工厂中快速布设行走轨道，进一步的实现对行走轨道的快速运行维护等。走轨道的快速运行维护等。走轨道的快速运行维护等。

【技术实现步骤摘要】
空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道


[0001]本申请涉及半导体制造设备
，具体涉及一种空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，为了提高晶圆加工厂的空间利用率和生产效率，OHT(Overhead Hoist Transfer，空中走行式无人搬送车，简称空中运输车)应运而生。空中运输车行走于被悬挂支承于天花板的行走轨道上，行走轨道根据搬送目标和路线的不同，有不同形状的行走轨道(包括直轨和各种弯轨)。
[0003]鉴于轨道是被悬挂支承于天花板下，通常需要先在地面上组装成一组组轨道，然后再将组装好的轨道吊装到天花板下方进行悬挂安装。目前轨道组装由工人装配，并针对装配轨道进行人工检测和测量，比如组装轨道的水平度、断差、间隙、直线度和轨道间距等，然后工人再根据检测结果进行人工调整，直到符合轨道各项要求。因此，轨道装配效率大大下降，生产周期被延长，且每组装配精度很难统一。
[0004]另外，轨道的组装方式因组装效率低、精度差、周期长等原因，已经成为新一代半导体生产制造工厂在快速投产、运行维护等方面的一大瓶颈。
[0005]因此，需要一种新的轨道组装方案。

技术实现思路

[0006]有鉴于此，本申请提供一种空中运输车行走轨道组装夹具及空中运输车行走轨道，可通过该组装夹具在地面上对行走轨道进行同一规格的组装，可以保证轨道安装精度，如安装间距、水平度、断差、间隙和直线度等，以及可提高轨道安装效率。
[0007]本申请提供以下技术方案：
[0008]一种空中运输车行走轨道组装夹具，包括：
[0009]相对设置的第一固定底板和第二固定底板；
[0010]设置于所述第一固定底板与所述第二固定底板之间的若干横杆，其中所述横杆设置于所述第一固定底板和所述第二固定底板之间，并用于设定所述第一固定底板和所述第二固定底板之间的间距；
[0011]第一限位机构和第二限位机构，所述第一限位机构设置于所述第一固定底板上，所述第二限位机构设置于所述第二固定底板上；
[0012]其中，所述第一限位机构用于在所述第一固定底板上形成预设的第一限位位置，所述第二限位机构用于在所述第二固定底板上形成预设的第二限位位置，以在组装空中运输车的行走轨道时，使得构成所述行走轨道的第一导轨受到所述第一限位位置的限位后置于所述第一固定底板的上表面，构成所述行走轨道的第二导轨受到所述第二限位位置的限位后置于所述第二固定底板的上表面。
[0013]进一步优选的，一种空中运输车行走轨道，包括：
[0014]用于空中运输车行走的第一导轨和第二导轨，其中在地面组装时，所述第一导轨和所述第二导轨通过本说明书中任意一项实施例所述空中运输车行走轨道组装夹具进行相对设置；
[0015]若干吊装件，所述吊装件跨设于所述第一导轨和所述第二导轨之间；
[0016]若干第一连接件和若干第二连接件，其中所述第一连接件设置于所述第一导轨上，所述第二连接件设置于所述第二导轨上。
[0017]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
[0018]通过相对设置两固定底板，并采用横杆加以固定，以及在两固定底板上设置有组装空中运输车行走轨道时的限位机构，保证了利用该组装夹具组装得到的行走轨道，在间距、水平度、断差、间隙、直线度等轨道组装精度要求，从而在将组装的行走轨道吊装于天花板下方时，行走轨道仍能够很好地满足空中运输车搬送晶圆(或者说晶圆盒，Foup)使用要求；进一步，通过组装夹具可以快速地组装满足要求的行走轨道，提高了行走轨道的组装效率，缩短了行走轨道的组装周期，有利于在半导体工厂中快速布设行走轨道，更有利于在半导体工厂中对行走轨道进行快速运行维护等。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0020]图1是本申请中一种空中运输车行走轨道组装夹具的轴侧图的示意图；
[0021]图2是本申请中利用组装夹具组装空中运输车行走轨道时的俯视图示意图；
[0022]图3是本申请中利用组装夹具组装空中运输车行走轨道时的轴侧图示意图；
[0023]图4是本申请中利用组装夹具组装空中运输车行走轨道时的局部视图示意图。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0025]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0026]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除
了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0027]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0028]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
[0029]目前，在半导体工厂中布设空中运输车的行走轨道时，通常先由工人进行地面组装，并通过人工检测符合精度要求后，再将组装的行走轨道吊装悬挂于天花板下方。因没有为工人提供有效的工装，不仅组装效率低、周期长，而且组装的精度很难控制，需要工人反复调整和检测，直到满足精度要求后才能吊装到天花板下方，因而空中运输车的行走轨道在半导体工厂中的布设周期长，不利于半导体工厂快速布设行走轨道，同时也不利于半导体工厂对行走轨道进行快速的运营维护(如更换行走轨道)等。
[0030]有鉴于此，通过对各类空中运输车的行走轨道及对各种工装方案进行深入研究本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空中运输车行走轨道组装夹具，其特征在于，包括：相对设置的第一固定底板和第二固定底板；设置于所述第一固定底板与所述第二固定底板之间的若干横杆，其中所述横杆设置于所述第一固定底板和所述第二固定底板之间，并用于设定所述第一固定底板和所述第二固定底板之间的间距；第一限位机构和第二限位机构，所述第一限位机构设置于所述第一固定底板上，所述第二限位机构设置于所述第二固定底板上；其中，所述第一限位机构用于在所述第一固定底板上形成预设的第一限位位置，所述第二限位机构用于在所述第二固定底板上形成预设的第二限位位置，以在组装空中运输车的行走轨道时，使得构成所述行走轨道的第一导轨受到所述第一限位位置的限位后置于所述第一固定底板的上表面，构成所述行走轨道的第二导轨受到所述第二限位位置的限位后置于所述第二固定底板的上表面。2.根据权利要求1所述的空中运输车行走轨道组装夹具，其特征在于，所述第一限位机构包括若干第一外侧限位板和/或若干第一内侧限位块，其中第一外侧限位板设置于所述第一固定底板的外侧，第一内侧限位块设置于所述第一固定底板的内侧；和/或，所述第二限位机构包括若干第二外侧限位板和/或若干第二内侧限位块，其中第二外侧限位板设置于所述第二固定底板的外侧，所述第二内侧限位块设置于所述第二固定底板的内侧。3.根据权利要求1所述的空中运输车行走轨道组装夹具，其特征在于，所述第一限位机构设置有第一配合部，所述第一配合部用于在组装空中运输车的行走轨道时，与所述第一导轨上设置的第一预设部进行配合；和/或，所述第二限位机构设置有第二配合部，所述第二配合部用于在组装空中运输车的行走轨道时，与所述第二导轨上设置的第二预设部进行配合。4.根据权利要求1所述的空中运输车行走轨道组装夹具，其特征在于，还包括第一挡板，所述第一挡板设置于第一位置，所述第一位置为所述第一固定底板的一端和所述第二固定底板的一端所处位置；其中，所述第一挡板的内侧用于在组装空中运输车的行走轨道时，使得所述第一导轨的一端与所述第二导轨的一端对齐；和/或，还包括第二挡板，所述第二挡板设置于第二位置，所述第二位置为所述第一固定底板的另一端和所述第二固定底板的另一端所处位置；其中，所述第二挡板的内侧用于在组装空中运输车的行走轨道在时，使得所述第一导轨的另一端与所述第二导轨的另一端对齐。5.根据权利要求4所述的空中运输车行走轨道组装夹具，其特征在于，当包括第一挡板时，所述第一挡板的外侧设置有若干第一把手；和/或，当包括第二挡板时，所述第二挡板的外侧设置有若干第二把手。6.根据权利要求1所述的空中运输车行走轨道组装夹具，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝宝，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：新型
国别省市：