存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质，属于晶圆管理领域，方法包括获取存储仓列表，存储仓列表中存储有多个存储库的存储库标识以及对应的历史工作参数信息；根据属性以及存储容量对存储仓列表中可存储待运输晶圆的所有存储库进行筛选判断；当判定目标存储仓中不存在空闲存储库时，获取与目标存储库相邻的临时存储仓中的临时存储库，并变更临时存储库的临时状态信息；基于目标晶圆存储请求获取所有临时存储库的历史工作参数信息及对应的存储仓标识。通过本申请的处理方案，平衡各存储仓的存储数量避免晶盘盒/晶圆的存储发生拥堵。盒/晶圆的存储发生拥堵。盒/晶圆的存储发生拥堵。

【技术实现步骤摘要】
存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质


[0001]本专利技术涉及晶圆管理领域，具体涉及一种存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质。

技术介绍

[0002]在晶圆生产过程中，常常采用存储仓对晶盘盒进行存储以便根据工艺可以及时取用。MES系统往MCS发送存储指令有时发送地为STOCKER LIST，也就是以一组存储仓作为它的目的地，此时MCS需要对这一组存储仓指定具体的存储仓，指定的原则按存储仓的平均占有率区分，使其达到一个负载平衡的目的。而且存储仓一般设置有多个存储库，每个存储库均能容纳多个晶盘盒，非常适合大规模工艺上的应用。在生产流程中，会根据工艺流程设置有多个存储仓。每个存储仓上通常会配置多个用于存放晶盘盒或晶圆的存储库。由于工艺取件的随机取用，或者更换工艺流程操作，会造成存储仓中存储库的使用数据不均，容易发生当晶盘盒指定存储仓时，该存储仓由于没有存储空间，无法实现存储。此时需要管理员实时监控各存储库的使用数据节点，而后再移动晶盘盒，才能实现晶盘盒的存储。整个方法操作繁琐，并且会导致存储库节点不可用。
专利
技术实现思路

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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种存储仓选择方法，其特征在于，包括：接收目标晶圆存储请求，所述目标晶圆存储请求至少携带有待运输晶圆的属性以及存储容量；根据所述目标晶圆存储请求获取目标存储仓中所有空闲存储库的历史工作参数信息及对应的存储仓标识；根据平衡规则和所述历史工作参数信息生成与所述空闲存储库对应的存储库权重；基于所述历史工作参数信息和所述存储库权重计算出每个所述空闲存储库的当前度量值；根据所述当前度量值筛选空闲存储库作为存储目标晶圆的目标存储库。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标晶圆存储请求获取所有空闲存储库的历史工作参数信息及对应的存储仓标识，包括：获取存储仓列表，所述存储仓列表中存储有多个存储库的存储库标识以及对应的历史工作参数信息；根据所述目标晶圆存储请求中携带的运输时间、所述属性以及所述存储容量从所述存储仓列表中筛选可存储所述待运输晶圆的所有空闲存储库，并获取所有空闲存储库的历史工作参数信息及对应的存储仓标识。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标晶圆存储请求获取所有空闲存储库的历史工作参数信息及对应的存储仓标识，包括：获取存储仓列表，所述存储仓列表中存储有多个存储库的存储库标识以及对应的历史工作参数信息；根据所述属性以及所述存储容量对所述存储仓列表中可存储所述待运输晶圆的所有存储库进行筛选判断；当判定所述目标存储仓中不存在空闲存储库时，获取与所述目标存储库相邻的临时存储仓中的临时存储库，并变更所述临时存储库...

【专利技术属性】
技术研发人员：申国莉，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：