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存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质制造方法及图纸
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文档序号:34436270
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本发明提供了一种存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质,属于晶圆管理领域,方法包括获取存储仓列表,存储仓列表中存储有多个存储库的存储库标识以及对应的历史工作参数信息;根据属性以及存储容量对存储仓列表中可存储待运输晶圆的所有存储库进行筛选...
该专利属于弥费实业(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过弥费实业(上海)有限公司授权不得商用。
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